Af hverju beygjast hliðarveggir við þurretsun?

Ójöfnuður í jónaárásum

Þurrtetsuner venjulega ferli sem sameinar eðlisfræðileg og efnafræðileg áhrif, þar sem jónasprengja er mikilvæg eðlisfræðileg etsunaraðferð. Á meðanetsunarferli, innfallshorn og orkudreifing jóna geta verið ójöfn.

Ef innfallshorn jónanna er mismunandi á mismunandi stöðum á hliðarveggnum, verða etsáhrif jónanna á hliðarvegginn einnig mismunandi. Á svæðum með stærri innfallshorn jónanna eru etsáhrif jónanna á hliðarvegginn sterkari, sem veldur því að hliðarveggurinn á þessu svæði etsast meira og veldur því að hliðarveggurinn beygist. Að auki mun ójöfn dreifing jónaorku einnig hafa svipuð áhrif. Jónir með meiri orku geta fjarlægt efni á skilvirkari hátt, sem leiðir til ósamræmis.etsungráður hliðarveggsins á mismunandi stöðum, sem aftur veldur því að hliðarveggurinn beygist.

Áhrif ljósþols

Ljósþol gegnir hlutverki grímu í þurretsun og verndar svæði sem ekki þarf að etsa. Hins vegar verður ljósþolið einnig fyrir áhrifum af plasmaárásum og efnahvörfum við etsunina og virkni þess getur breyst.

Ef þykkt ljósþolsins er ójöfn, notkunarhraðinn við etsunarferlið er ósamræmdur eða viðloðunin milli ljósþolsins og undirlagsins er mismunandi á mismunandi stöðum, getur það leitt til ójafnrar verndar hliðarveggjanna við etsunarferlið. Til dæmis geta svæði með þynnri ljósþol eða veikari viðloðun gert undirliggjandi efnið auðveldara að etsa, sem veldur því að hliðarveggirnir beygjast á þessum stöðum.

Mismunur á eiginleikum undirlagsefnis

Etsað undirlagsefni sjálft getur haft mismunandi eiginleika, svo sem mismunandi kristalstefnur og mismunandi styrk lyfjablöndunnar á mismunandi svæðum. Þessir munir munu hafa áhrif á etshraða og etsunartækni.
Til dæmis, í kristölluðu sílikoni er uppröðun kísilatóma í mismunandi kristalstefnum mismunandi, og hvarfgirni þeirra og etshraði með etsgasinu verður einnig mismunandi. Í etsferlinu mun mismunandi etshraði, sem stafar af mismunandi efniseiginleikum, gera etsdýpt hliðarveggjanna á mismunandi stöðum ósamræmanleg, sem að lokum leiðir til beygju hliðarveggjanna.

Þættir sem tengjast búnaði

Afköst og ástand etsbúnaðarins hafa einnig mikilvæg áhrif á etsniðurstöðurnar. Til dæmis geta vandamál eins og ójöfn plasmadreifing í hvarfklefanum og ójafn slit á rafskautum leitt til ójafnrar dreifingar breytna eins og jónþéttleika og orku á yfirborði skífunnar við etsun.

Að auki getur ójöfn hitastýring búnaðarins og smávægilegar sveiflur í gasflæði einnig haft áhrif á einsleitni etsunarinnar, sem leiðir til beygju á hliðarveggjum.