Zakaj se stranske stene med suhim jedkanjem upognejo?

Neenakomernost ionskega bombardiranja

Suhojedkanjeje običajno postopek, ki združuje fizikalne in kemične učinke, pri katerem je ionsko bombardiranje pomembna metoda fizikalnega jedkanja. Medpostopek jedkanja, vpadni kot in porazdelitev energije ionov sta lahko neenakomerna.

Če je kot vpada ionov na različnih mestih na stranski steni različen, bo tudi jedkalni učinek ionov na stranski steni različen. Na območjih z večjimi koti vpada ionov je jedkalni učinek ionov na stranski steni močnejši, zaradi česar se bo stranska stena na tem območju bolj jedkala in se bo upogibala. Poleg tega bo podobne učinke povzročila tudi neenakomerna porazdelitev ionske energije. Ioni z višjo energijo lahko učinkoviteje odstranjujejo materiale, kar ima za posledico nedoslednost.jedkanjestopinje stranske stene na različnih položajih, kar posledično povzroči upogibanje stranske stene.

Vpliv fotorezista

Fotorezist pri suhem jedkanju igra vlogo maske, ki ščiti območja, ki jih ni treba jedkati. Vendar pa na fotorezist vpliva tudi plazemsko bombardiranje in kemične reakcije med postopkom jedkanja, zato se lahko njegova učinkovitost spremeni.

Če je debelina fotorezista neenakomerna, je poraba med postopkom jedkanja nedosledna ali pa je oprijem med fotorezistom in podlago na različnih mestih različen, lahko to povzroči neenakomerno zaščito stranskih sten med postopkom jedkanja. Na primer, območja s tanjšim fotorezistom ali šibkejšim oprijemom lahko olajšajo jedkanje osnovnega materiala, zaradi česar se stranske stene na teh mestih upognejo.

Razlike v lastnostih substratnega materiala

Jedkani substrat ima lahko različne lastnosti, kot so različne kristalne orientacije in koncentracije dopinga v različnih območjih. Te razlike bodo vplivale na hitrost jedkanja in selektivnost jedkanja.
Na primer, v kristalnem siliciju je razporeditev silicijevih atomov v različnih kristalnih orientacijah različna, zato se razlikujeta tudi njihova reaktivnost in hitrost jedkanja z jedkalnim plinom. Med postopkom jedkanja bodo različne hitrosti jedkanja, ki jih povzročajo razlike v lastnostih materiala, povzročile neskladno globino jedkanja stranskih sten na različnih mestih, kar bo na koncu povzročilo upogibanje stranskih sten.

Dejavniki, povezani z opremo

Zmogljivost in stanje opreme za jedkanje imata prav tako pomemben vpliv na rezultate jedkanja. Na primer, težave, kot sta neenakomerna porazdelitev plazme v reakcijski komori in neenakomerna obraba elektrod, lahko povzročijo neenakomerno porazdelitev parametrov, kot sta gostota ionov in energija, na površini rezine med jedkanjem.

Poleg tega lahko neenakomerna regulacija temperature opreme in rahla nihanja pretoka plina vplivajo tudi na enakomernost jedkanja, kar vodi do upogibanja stranskih sten.