Neujednačenost bombardovanja ionima
Suhograviranjeje obično proces koji kombinuje fizičke i hemijske efekte, u kojem je bombardovanje jonima važna metoda fizičkog nagrizanja. Tokomproces jetkanja, upadni ugao i energetska raspodjela jona mogu biti neravnomjerni.
Ako je ugao upada jona različit na različitim pozicijama na bočnoj strani, efekat nagrizanja jona na bočnoj strani će takođe biti različit. U područjima sa većim uglovima upada jona, efekat nagrizanja jona na bočnoj strani je jači, što će uzrokovati da bočna strana u ovom području bude više nagrizena, uzrokujući savijanje bočne strane. Pored toga, neravnomjerna raspodjela energije jona će takođe proizvesti slične efekte. Joni sa većom energijom mogu efikasnije uklanjati materijale, što rezultira nekonzistentnim...graviranjestepeni bočne stijenke na različitim položajima, što zauzvrat uzrokuje savijanje bočne stijenke.
Utjecaj fotorezista
Fotorezist igra ulogu maske kod suhog nagrizanja, štiteći područja koja ne trebaju biti nagrizena. Međutim, na fotorezist također utječu bombardiranje plazmom i hemijske reakcije tokom procesa nagrizanja, te se njegove performanse mogu promijeniti.
Ako je debljina fotorezista neravnomjerna, brzina potrošnje tokom procesa nagrizanja je nekonzistentna ili je prianjanje između fotorezista i podloge različito na različitim mjestima, to može dovesti do neravnomjerne zaštite bočnih zidova tokom procesa nagrizanja. Na primjer, područja s tanjim fotorezistom ili slabijom prianjanjem mogu učiniti podložni materijal lakšim za nagrizanje, uzrokujući savijanje bočnih zidova na tim mjestima.
Razlike u svojstvima materijala podloge
Sam materijal nagrizane podloge može imati različita svojstva, kao što su različite orijentacije kristala i koncentracije dopiranja u različitim regijama. Ove razlike će utjecati na brzinu nagrizanja i selektivnost nagrizanja.
Na primjer, u kristalnom silicijumu, raspored atoma silicija u različitim kristalnim orijentacijama je različit, a njihova reaktivnost i brzina nagrizanja s plinom za nagrizanje također će biti različite. Tokom procesa nagrizanja, različite brzine nagrizanja uzrokovane razlikama u svojstvima materijala učinit će dubinu nagrizanja bočnih zidova na različitim mjestima nekonzistentnom, što će na kraju dovesti do savijanja bočnih zidova.
Faktori povezani s opremom
Performanse i status opreme za nagrizanje također imaju važan utjecaj na rezultate nagrizanja. Na primjer, problemi poput neravnomjerne distribucije plazme u reakcijskoj komori i neravnomjernog trošenja elektroda mogu dovesti do neravnomjerne distribucije parametara kao što su gustoća iona i energija na površini pločice tokom nagrizanja.
Osim toga, neujednačena kontrola temperature opreme i male fluktuacije u protoku plina također mogu utjecati na ujednačenost nagrizanja, što dovodi do savijanja bočnih stijenki.
Vrijeme objave: 03.12.2024.