De ce se îndoaie pereții laterali în timpul gravării uscate?

Neuniformitatea bombardamentului cu ioni

Uscatgravareeste de obicei un proces care combină efecte fizice și chimice, în care bombardamentul cu ioni este o metodă importantă de gravare fizică. În timpulprocesul de gravare, unghiul de incidență și distribuția energiei ionilor pot fi inegale.

Dacă unghiul de incidență al ionilor este diferit în diferite poziții pe peretele lateral, efectul de corodare al ionilor pe peretele lateral va fi, de asemenea, diferit. În zonele cu unghiuri de incidență ale ionilor mai mari, efectul de corodare al ionilor pe peretele lateral este mai puternic, ceea ce va determina corodarea mai accentuată a peretelui lateral din această zonă, provocând îndoirea acestuia. În plus, distribuția inegală a energiei ionilor va produce, de asemenea, efecte similare. Ionii cu energie mai mare pot îndepărta materialele mai eficient, rezultând o eroare inconsistentă.gravaregrade ale peretelui lateral în diferite poziții, ceea ce la rândul său determină îndoirea peretelui lateral.

Influența fotorezistului

Fotorezistul joacă rolul unei măști în gravarea uscată, protejând zonele care nu necesită gravare. Cu toate acestea, fotorezistul este afectat și de bombardamentul cu plasmă și de reacțiile chimice din timpul procesului de gravare, iar performanța sa se poate modifica.

Dacă grosimea fotorezistului este neuniformă, rata de consum în timpul procesului de gravare este inconsistentă sau aderența dintre fotorezist și substrat este diferită în locații diferite, acest lucru poate duce la o protecție neuniformă a pereților laterali în timpul procesului de gravare. De exemplu, zonele cu fotorezist mai subțire sau o aderență mai slabă pot face ca materialul de bază să fie mai ușor de gravat, provocând îndoirea pereților laterali în aceste locații.

Diferențe în proprietățile materialului substratului

Materialul substrat gravat în sine poate avea proprietăți diferite, cum ar fi orientări cristaline diferite și concentrații de dopare diferite în diferite regiuni. Aceste diferențe vor afecta rata de gravare și selectivitatea de gravare.
De exemplu, în siliciul cristalin, aranjamentul atomilor de siliciu în diferite orientări cristaline este diferit, iar reactivitatea și rata lor de gravare cu gazul de gravare vor fi, de asemenea, diferite. În timpul procesului de gravare, diferitele rate de gravare cauzate de diferențele de proprietăți ale materialului vor face ca adâncimea de gravare a pereților laterali în diferite locații să fie inconsistentă, ducând în cele din urmă la îndoirea pereților laterali.

Factori legați de echipament

Performanța și starea echipamentului de gravare au, de asemenea, un impact important asupra rezultatelor gravării. De exemplu, probleme precum distribuția neuniformă a plasmei în camera de reacție și uzura neuniformă a electrodului pot duce la o distribuție neuniformă a parametrilor precum densitatea ionilor și energia pe suprafața plachetei în timpul gravării.

În plus, controlul neuniform al temperaturii echipamentului și fluctuațiile ușoare ale debitului de gaz pot afecta, de asemenea, uniformitatea gravării, ducând la îndoirea pereților laterali.