Me yasa bangon gefe ke lanƙwasawa yayin aikin gogewa?

Rashin daidaiton fashewar ion

Busassheƙerayawanci tsari ne da ke haɗa tasirin jiki da sinadarai, wanda fashewar ion muhimmin hanyar ƙwanƙwasa jiki ne. A lokacintsarin ƙwanƙwasa, kusurwar abin da ya faru da kuma rarrabawar makamashi na ions na iya zama marasa daidaito.

Idan kusurwar abin da ya faru na ion ya bambanta a wurare daban-daban a kan bangon gefe, tasirin abin da ions ke haifarwa a kan bangon gefe zai kuma bambanta. A yankunan da ke da manyan kusurwoyin abin da ya faru na ion, tasirin abin da ions ke haifarwa a kan bangon gefe ya fi ƙarfi, wanda zai sa bangon gefe a wannan yanki ya fi lalacewa, wanda hakan zai sa bangon gefe ya lanƙwasa. Bugu da ƙari, rarraba makamashin ion mara daidaito zai haifar da irin wannan tasirin. Ions masu ƙarfi sosai za su iya cire kayan aiki yadda ya kamata, wanda hakan zai haifar da rashin daidaito.ƙeramatakan bangon gefe a wurare daban-daban, wanda hakan ke sa bangon gefe ya lanƙwasa.

Tasirin masu amfani da hasken rana (photoresist)

Mai hana ɗaukar hoto yana taka rawar abin rufe fuska a cikin busasshen gogewa, yana kare wuraren da ba sa buƙatar a goge su. Duk da haka, mai hana ɗaukar hoto yana shafar fashewar bam ɗin jini da halayen sinadarai yayin aikin gogewa, kuma aikinsa na iya canzawa.

Idan kauri na na'urar daukar hoton bai daidaita ba, yawan amfani da na'urar yayin aikin cire hoton bai daidaita ba, ko kuma mannewar da ke tsakanin na'urar daukar hoton da kuma na'urar ta bambanta a wurare daban-daban, hakan na iya haifar da rashin daidaiton kariya daga bangon gefe yayin aikin cire hoton. Misali, wuraren da ke da siririn na'urar daukar hoton ko kuma mannewa mai rauni na iya sa kayan da ke ƙarƙashinsu su fi sauƙin sassaka su, wanda hakan ke sa bangon gefe ya lankwasa a waɗannan wurare.

Bambance-bambance a cikin kaddarorin kayan substrate

Kayan da aka yi wa fenti da kansa yana iya samun halaye daban-daban, kamar yanayin lu'ulu'u daban-daban da kuma yawan amfani da doping a yankuna daban-daban. Waɗannan bambance-bambancen za su shafi saurin etching da zaɓin etching.
Misali, a cikin silicon mai lu'ulu'u, tsarin ƙwayoyin silicon a cikin yanayin lu'ulu'u daban-daban ya bambanta, kuma amsawarsu da saurin etching tare da iskar etching suma za su bambanta. A lokacin aikin etching, bambancin saurin etching da bambance-bambancen halayen kayan aiki ke haifarwa zai sa zurfin etching na gefen bangon a wurare daban-daban ya zama ba daidai ba, wanda a ƙarshe zai haifar da lanƙwasa gefen bangon.

Abubuwan da suka shafi kayan aiki

Aikin da matsayin kayan aikin gyaran fuska suma suna da tasiri mai mahimmanci akan sakamakon gyaran fuska. Misali, matsaloli kamar rarrabawar plasma mara daidaituwa a cikin ɗakin amsawa da lalacewar lantarki mara daidaituwa na iya haifar da rarraba sigogi marasa daidaituwa kamar yawan ion da kuzari akan saman wafer yayin gyaran fuska.

Bugu da ƙari, rashin daidaiton sarrafa zafin jiki na kayan aiki da ƙananan canje-canje a kwararar iskar gas suma na iya shafar daidaiton aikin ƙwanƙwasa, wanda ke haifar da lanƙwasa gefen bango.