Ke hobane'ng ha mabota a mahlakoreng a kobeha nakong ea ho hlaba ka omileng?

Ho se tšoane ha libomo tsa ion

E ommeho hlabahangata ke ts'ebetso e kopanyang litlamorao tsa 'mele le tsa lik'hemik'hale, moo ho phatloha ha li-ion e leng mokhoa oa bohlokoa oa ho hlaba 'mele. Nakong eamokhoa oa ho hlaba, sekhutlo sa ketsahalo le kabo ea matla ea li-ion li ka 'na tsa se lekane.

Haeba sekhutlo sa ketsahalo ya ion se fapane maemong a fapaneng leboteng le ka thoko, phello ya ho tjhesa ha di-ion leboteng le yona e tla fapana. Dibakeng tse nang le dikhutlo tse kgolo tsa ketsahalo ya ion, phello ya ho tjhesa ha di-ion leboteng le ka thoko e matla, e leng se tla etsa hore lehlakore la sebaka sena le tjhesehe haholo, e leng se etsang hore lehlakore la lehlakore le kobehe. Ho feta moo, kabo e sa lekanang ya matla a ion le yona e tla hlahisa ditlamorao tse tshwanang. Di-ion tse nang le matla a mangata di ka tlosa thepa ka katleho, e leng se fellang ka ho se tsitseho hlabalikhato tsa lebota le ka thoko maemong a fapaneng, e leng se etsang hore lebota le ka thoko le kobehe.

Tšusumetso ea photoresist

Photoresist e bapala karolo ea maske ho hlaba ho omileng, e sireletsa libaka tse sa hlokeng ho hlaba. Leha ho le joalo, photoresist e boetse e angoa ke ho phatloha ha plasma le liketso tsa lik'hemik'hale nakong ea ts'ebetso ea ho hlaba, 'me ts'ebetso ea eona e ka fetoha.

Haeba botenya ba photoresist bo sa lekana, sekgahla sa tshebediso nakong ya tshebetso ya ho hlaba se sa tsitsane, kapa ho kgomarelana pakeng tsa photoresist le substrate ho fapane dibakeng tse fapaneng, ho ka lebisa tshireletsong e sa lekanang ya mabota a mahlakoreng nakong ya tshebetso ya ho hlaba. Mohlala, dibaka tse nang le photoresist e tshesane kapa kgomarelana e fokolang di ka etsa hore thepa e ka tlase e hlaba habonolo, e leng se etsang hore mabota a mahlakoreng a kobehe dibakeng tsena.

Phapang litšobotsing tsa thepa ea substrate

Thepa ea substrate e betliloeng ka boyona e ka ba le thepa e fapaneng, joalo ka mekhoa e fapaneng ea kristale le mahloriso a doping libakeng tse fapaneng. Liphapang tsena li tla ama sekhahla sa ho betla le khetho ea ho betla.
Mohlala, ho silicon e kristale, tokisetso ea liathomo tsa silicon ka litsela tse fapaneng tsa kristale e fapane, 'me reactivity ea tsona le sekhahla sa ho shapa ka khase e shapang le tsona li tla fapana. Nakong ea ts'ebetso ea ho shapa, sekhahla se fapaneng sa ho shapa se bakoang ke liphapang tsa thepa ea thepa se tla etsa hore botebo ba ho shapa ha mabota a mahlakoreng libakeng tse fapaneng bo se ke ba lumellana, qetellong bo lebisang ho kobeheng ha mabota a mahlakoreng.

Mabaka a amanang le lisebelisoa

Tshebetso le boemo ba disebediswa tsa ho tjhesa le tsona di na le tshusumetso ya bohlokwa diphethong tsa ho tjhesa. Mohlala, mathata a kang kabo e sa lekanang ya plasma ka phapusing ya karabelo le ho senyeha ha electrode e sa lekanang a ka lebisa kabong e sa lekanang ya diparamitha tse kang bongata ba ion le matla hodima bokahodimo ba wafer nakong ya ho tjhesa.

Ho phaella moo, taolo e sa lekanang ya mocheso wa disebediswa le diphetoho tse nyane phallong ya kgase le tsona di ka ama ho tshwana ha ho tjhesa, e leng se lebisang ho kobeheng ha lebota le ka thoko.