Neujednačenost ionskog bombardiranja
Suhojetkanjeobično je proces koji kombinira fizičke i kemijske učinke, u kojem je bombardiranje ionima važna metoda fizičkog jetkanja. Tijekomproces jetkanja, kut upada i raspodjela energije iona mogu biti neravnomjerni.
Ako je kut upada iona različit na različitim položajima na bočnoj stijenci, učinak jetkanja iona na bočnoj stijenci također će biti različit. U područjima s većim kutovima upada iona, učinak jetkanja iona na bočnoj stijenci je jači, što će uzrokovati da se bočna stijenka u tom području više jetka, uzrokujući savijanje bočne stijenke. Osim toga, neravnomjerna raspodjela energije iona također će proizvesti slične učinke. Ioni s većom energijom mogu učinkovitije uklanjati materijale, što rezultira nedosljednim...jetkanjestupnjeva bočne stijenke na različitim položajima, što zauzvrat uzrokuje savijanje bočne stijenke.
Utjecaj fotorezista
Fotorezist igra ulogu maske u suhom jetkanju, štiteći područja koja ne treba jetkati. Međutim, na fotorezist utječu i bombardiranje plazmom i kemijske reakcije tijekom procesa jetkanja, te se njegove performanse mogu promijeniti.
Ako je debljina fotorezista neravnomjerna, brzina potrošnje tijekom procesa jetkanja je nekonzistentna ili je prianjanje između fotorezista i podloge različito na različitim mjestima, to može dovesti do neravnomjerne zaštite bočnih stijenki tijekom procesa jetkanja. Na primjer, područja s tanjim fotorezistom ili slabijom prianjanjem mogu olakšati jetkanje temeljnog materijala, uzrokujući savijanje bočnih stijenki na tim mjestima.
Razlike u svojstvima materijala podloge
Sam materijal jetkane podloge može imati različita svojstva, kao što su različite orijentacije kristala i koncentracije dopiranja u različitim područjima. Te razlike utjecat će na brzinu jetkanja i selektivnost jetkanja.
Na primjer, u kristalnom siliciju, raspored atoma silicija u različitim kristalnim orijentacijama je različit, a njihova reaktivnost i brzina jetkanja s plinom za jetkanje također će biti različite. Tijekom procesa jetkanja, različite brzine jetkanja uzrokovane razlikama u svojstvima materijala učinit će dubinu jetkanja bočnih stijenki na različitim mjestima nekonzistentnom, što će u konačnici dovesti do savijanja bočnih stijenki.
Faktori povezani s opremom
Performanse i stanje opreme za jetkanje također imaju važan utjecaj na rezultate jetkanja. Na primjer, problemi poput neravnomjerne raspodjele plazme u reakcijskoj komori i neravnomjernog trošenja elektroda mogu dovesti do neravnomjerne raspodjele parametara kao što su gustoća iona i energija na površini pločice tijekom jetkanja.
Osim toga, neravnomjerna kontrola temperature opreme i male fluktuacije u protoku plina također mogu utjecati na ujednačenost jetkanja, što dovodi do savijanja bočnih stijenki.
Vrijeme objave: 03.12.2024.