ಒಣ ಎಚ್ಚಣೆಯ ಸಮಯದಲ್ಲಿ ಪಕ್ಕದ ಗೋಡೆಗಳು ಏಕೆ ಬಾಗುತ್ತವೆ?

ಅಯಾನು ಬಾಂಬ್ ದಾಳಿಯ ಏಕರೂಪತೆಯ ಕೊರತೆ

ಒಣಎಚ್ಚಣೆಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಭೌತಿಕ ಮತ್ತು ರಾಸಾಯನಿಕ ಪರಿಣಾಮಗಳನ್ನು ಸಂಯೋಜಿಸುವ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಾಗಿದ್ದು, ಇದರಲ್ಲಿ ಅಯಾನು ಬಾಂಬ್‌ಬಾರ್ಡ್‌ಮೆಂಟ್ ಒಂದು ಪ್ರಮುಖ ಭೌತಿಕ ಎಚ್ಚಣೆ ವಿಧಾನವಾಗಿದೆ.ಎಚ್ಚಣೆ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆ, ಅಯಾನುಗಳ ಪತನ ಕೋನ ಮತ್ತು ಶಕ್ತಿ ವಿತರಣೆಯು ಅಸಮಾನವಾಗಿರಬಹುದು.

ಪಾರ್ಶ್ವಗೋಡೆಯ ವಿವಿಧ ಸ್ಥಾನಗಳಲ್ಲಿ ಅಯಾನು ಪತನ ಕೋನವು ವಿಭಿನ್ನವಾಗಿದ್ದರೆ, ಪಾರ್ಶ್ವಗೋಡೆಯ ಮೇಲೆ ಅಯಾನುಗಳ ಎಚ್ಚಣೆ ಪರಿಣಾಮವು ಸಹ ವಿಭಿನ್ನವಾಗಿರುತ್ತದೆ. ದೊಡ್ಡ ಅಯಾನು ಪತನ ಕೋನಗಳನ್ನು ಹೊಂದಿರುವ ಪ್ರದೇಶಗಳಲ್ಲಿ, ಪಾರ್ಶ್ವಗೋಡೆಯ ಮೇಲೆ ಅಯಾನುಗಳ ಎಚ್ಚಣೆ ಪರಿಣಾಮವು ಬಲವಾಗಿರುತ್ತದೆ, ಇದು ಈ ಪ್ರದೇಶದಲ್ಲಿ ಪಾರ್ಶ್ವಗೋಡೆಯನ್ನು ಹೆಚ್ಚು ಕೆತ್ತಲು ಕಾರಣವಾಗುತ್ತದೆ, ಇದರಿಂದಾಗಿ ಪಾರ್ಶ್ವಗೋಡೆ ಬಾಗುತ್ತದೆ. ಇದರ ಜೊತೆಗೆ, ಅಯಾನು ಶಕ್ತಿಯ ಅಸಮಾನ ವಿತರಣೆಯು ಸಹ ಇದೇ ರೀತಿಯ ಪರಿಣಾಮಗಳನ್ನು ಉಂಟುಮಾಡುತ್ತದೆ. ಹೆಚ್ಚಿನ ಶಕ್ತಿಯನ್ನು ಹೊಂದಿರುವ ಅಯಾನುಗಳು ವಸ್ತುಗಳನ್ನು ಹೆಚ್ಚು ಪರಿಣಾಮಕಾರಿಯಾಗಿ ತೆಗೆದುಹಾಕಬಹುದು, ಇದರ ಪರಿಣಾಮವಾಗಿ ಅಸಮಂಜಸಎಚ್ಚಣೆವಿಭಿನ್ನ ಸ್ಥಾನಗಳಲ್ಲಿ ಪಾರ್ಶ್ವಗೋಡೆಯ ಡಿಗ್ರಿಗಳು, ಇದು ಪಾರ್ಶ್ವಗೋಡೆಯನ್ನು ಬಾಗಿಸಲು ಕಾರಣವಾಗುತ್ತದೆ.

ಫೋಟೊರೆಸಿಸ್ಟ್‌ನ ಪ್ರಭಾವ

ಒಣ ಎಚ್ಚಣೆಯಲ್ಲಿ ಫೋಟೊರೆಸಿಸ್ಟ್ ಮುಖವಾಡದ ಪಾತ್ರವನ್ನು ವಹಿಸುತ್ತದೆ, ಎಚ್ಚಣೆ ಅಗತ್ಯವಿಲ್ಲದ ಪ್ರದೇಶಗಳನ್ನು ರಕ್ಷಿಸುತ್ತದೆ. ಆದಾಗ್ಯೂ, ಎಚ್ಚಣೆ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ಸಮಯದಲ್ಲಿ ಪ್ಲಾಸ್ಮಾ ಬಾಂಬ್ ದಾಳಿ ಮತ್ತು ರಾಸಾಯನಿಕ ಕ್ರಿಯೆಗಳಿಂದ ಫೋಟೊರೆಸಿಸ್ಟ್ ಪ್ರಭಾವಿತವಾಗಿರುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಅದರ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆ ಬದಲಾಗಬಹುದು.

ಫೋಟೊರೆಸಿಸ್ಟ್‌ನ ದಪ್ಪವು ಅಸಮವಾಗಿದ್ದರೆ, ಎಚ್ಚಣೆ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ಸಮಯದಲ್ಲಿ ಬಳಕೆಯ ದರವು ಅಸಮಂಜಸವಾಗಿದ್ದರೆ, ಅಥವಾ ಫೋಟೊರೆಸಿಸ್ಟ್ ಮತ್ತು ತಲಾಧಾರದ ನಡುವಿನ ಅಂಟಿಕೊಳ್ಳುವಿಕೆಯು ವಿಭಿನ್ನ ಸ್ಥಳಗಳಲ್ಲಿ ವಿಭಿನ್ನವಾಗಿದ್ದರೆ, ಎಚ್ಚಣೆ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ಸಮಯದಲ್ಲಿ ಪಕ್ಕದ ಗೋಡೆಗಳ ಅಸಮ ರಕ್ಷಣೆಗೆ ಕಾರಣವಾಗಬಹುದು. ಉದಾಹರಣೆಗೆ, ತೆಳುವಾದ ಫೋಟೊರೆಸಿಸ್ಟ್ ಅಥವಾ ದುರ್ಬಲ ಅಂಟಿಕೊಳ್ಳುವಿಕೆಯನ್ನು ಹೊಂದಿರುವ ಪ್ರದೇಶಗಳು ಆಧಾರವಾಗಿರುವ ವಸ್ತುವನ್ನು ಹೆಚ್ಚು ಸುಲಭವಾಗಿ ಎಚ್ಚಣೆ ಮಾಡಬಹುದು, ಇದರಿಂದಾಗಿ ಪಕ್ಕದ ಗೋಡೆಗಳು ಈ ಸ್ಥಳಗಳಲ್ಲಿ ಬಾಗುತ್ತವೆ.

ತಲಾಧಾರದ ವಸ್ತು ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳಲ್ಲಿನ ವ್ಯತ್ಯಾಸಗಳು

ಎಚ್ಚಣೆ ಮಾಡಿದ ತಲಾಧಾರ ವಸ್ತುವು ವಿಭಿನ್ನ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳನ್ನು ಹೊಂದಿರಬಹುದು, ಉದಾಹರಣೆಗೆ ವಿಭಿನ್ನ ಪ್ರದೇಶಗಳಲ್ಲಿ ವಿಭಿನ್ನ ಸ್ಫಟಿಕ ದೃಷ್ಟಿಕೋನಗಳು ಮತ್ತು ಡೋಪಿಂಗ್ ಸಾಂದ್ರತೆಗಳು. ಈ ವ್ಯತ್ಯಾಸಗಳು ಎಚ್ಚಣೆ ದರ ಮತ್ತು ಎಚ್ಚಣೆ ಆಯ್ಕೆಯ ಮೇಲೆ ಪರಿಣಾಮ ಬೀರುತ್ತವೆ.
ಉದಾಹರಣೆಗೆ, ಸ್ಫಟಿಕದಂತಹ ಸಿಲಿಕಾನ್‌ನಲ್ಲಿ, ವಿಭಿನ್ನ ಸ್ಫಟಿಕ ದೃಷ್ಟಿಕೋನಗಳಲ್ಲಿ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಪರಮಾಣುಗಳ ಜೋಡಣೆ ವಿಭಿನ್ನವಾಗಿರುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಎಚ್ಚಣೆ ಅನಿಲದೊಂದಿಗೆ ಅವುಗಳ ಪ್ರತಿಕ್ರಿಯಾತ್ಮಕತೆ ಮತ್ತು ಎಚ್ಚಣೆ ದರವು ಸಹ ವಿಭಿನ್ನವಾಗಿರುತ್ತದೆ. ಎಚ್ಚಣೆ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ಸಮಯದಲ್ಲಿ, ವಸ್ತು ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳಲ್ಲಿನ ವ್ಯತ್ಯಾಸಗಳಿಂದ ಉಂಟಾಗುವ ವಿಭಿನ್ನ ಎಚ್ಚಣೆ ದರಗಳು ವಿಭಿನ್ನ ಸ್ಥಳಗಳಲ್ಲಿನ ಪಾರ್ಶ್ವಗೋಡೆಗಳ ಎಚ್ಚಣೆ ಆಳವನ್ನು ಅಸಮಂಜಸವಾಗಿಸುತ್ತದೆ, ಅಂತಿಮವಾಗಿ ಪಾರ್ಶ್ವಗೋಡೆಯ ಬಾಗುವಿಕೆಗೆ ಕಾರಣವಾಗುತ್ತದೆ.

ಸಲಕರಣೆ-ಸಂಬಂಧಿತ ಅಂಶಗಳು

ಎಚ್ಚಣೆ ಉಪಕರಣಗಳ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆ ಮತ್ತು ಸ್ಥಿತಿಯು ಎಚ್ಚಣೆ ಫಲಿತಾಂಶಗಳ ಮೇಲೆ ಪ್ರಮುಖ ಪರಿಣಾಮ ಬೀರುತ್ತದೆ. ಉದಾಹರಣೆಗೆ, ಪ್ರತಿಕ್ರಿಯಾ ಕೊಠಡಿಯಲ್ಲಿ ಅಸಮ ಪ್ಲಾಸ್ಮಾ ವಿತರಣೆ ಮತ್ತು ಅಸಮ ಎಲೆಕ್ಟ್ರೋಡ್ ಉಡುಗೆಯಂತಹ ಸಮಸ್ಯೆಗಳು ಎಚ್ಚಣೆ ಸಮಯದಲ್ಲಿ ವೇಫರ್ ಮೇಲ್ಮೈಯಲ್ಲಿ ಅಯಾನು ಸಾಂದ್ರತೆ ಮತ್ತು ಶಕ್ತಿಯಂತಹ ನಿಯತಾಂಕಗಳ ಅಸಮ ವಿತರಣೆಗೆ ಕಾರಣವಾಗಬಹುದು.

ಇದರ ಜೊತೆಗೆ, ಉಪಕರಣದ ಅಸಮಾನ ತಾಪಮಾನ ನಿಯಂತ್ರಣ ಮತ್ತು ಅನಿಲ ಹರಿವಿನಲ್ಲಿನ ಸ್ವಲ್ಪ ಏರಿಳಿತಗಳು ಎಚ್ಚಣೆಯ ಏಕರೂಪತೆಯ ಮೇಲೆ ಪರಿಣಾಮ ಬೀರಬಹುದು, ಇದು ಪಕ್ಕದ ಗೋಡೆ ಬಾಗುವಿಕೆಗೆ ಕಾರಣವಾಗಬಹುದು.