ហេតុអ្វីបានជាជញ្ជាំងចំហៀងកោងក្នុងពេលឆ្លាក់ស្ងួត?

ភាពមិនស្មើគ្នានៃការទម្លាក់គ្រាប់បែកអ៊ីយ៉ុង

ស្ងួតការឆ្លាក់ជាធម្មតាគឺជាដំណើរការមួយដែលរួមបញ្ចូលគ្នានូវផលប៉ះពាល់រូបវន្ត និងគីមី ដែលក្នុងនោះការទម្លាក់គ្រាប់បែកអ៊ីយ៉ុងគឺជាវិធីសាស្ត្រឆ្លាក់រូបវន្តដ៏សំខាន់មួយ។ ក្នុងអំឡុងពេលដំណើរការឆ្លាក់មុំនៃឧបទ្ទវហេតុ និងការចែកចាយថាមពលរបស់អ៊ីយ៉ុងអាចមិនស្មើគ្នា។

ប្រសិនបើមុំនៃឧបទ្ទវហេតុអ៊ីយ៉ុងខុសគ្នានៅទីតាំងផ្សេងៗគ្នានៅលើជញ្ជាំងចំហៀង ឥទ្ធិពលឆ្លាក់របស់អ៊ីយ៉ុងនៅលើជញ្ជាំងចំហៀងក៏នឹងខុសគ្នាដែរ។ នៅក្នុងតំបន់ដែលមានមុំនៃឧបទ្ទវហេតុអ៊ីយ៉ុងធំជាង ឥទ្ធិពលឆ្លាក់របស់អ៊ីយ៉ុងនៅលើជញ្ជាំងចំហៀងគឺខ្លាំងជាង ដែលនឹងបណ្តាលឱ្យជញ្ជាំងចំហៀងនៅក្នុងតំបន់នេះត្រូវបានឆ្លាក់កាន់តែច្រើន ដែលបណ្តាលឱ្យជញ្ជាំងចំហៀងពត់។ លើសពីនេះ ការចែកចាយថាមពលអ៊ីយ៉ុងមិនស្មើគ្នាក៏នឹងបង្កើតផលប៉ះពាល់ស្រដៀងគ្នាផងដែរ។ អ៊ីយ៉ុងដែលមានថាមពលខ្ពស់ជាងអាចយកសម្ភារៈចេញបានកាន់តែមានប្រសិទ្ធភាព ដែលបណ្តាលឱ្យមានភាពមិនស៊ីសង្វាក់គ្នាការឆ្លាក់ដឺក្រេនៃជញ្ជាំងចំហៀងនៅទីតាំងផ្សេងៗគ្នា ដែលបណ្តាលឱ្យជញ្ជាំងចំហៀងកោង។

ឥទ្ធិពលនៃសារធាតុ photoresist

សារធាតុ Photoresist ដើរតួនាទីជារបាំងមុខក្នុងការឆ្លាក់ស្ងួត ដោយការពារតំបន់ដែលមិនចាំបាច់ឆ្លាក់។ ទោះជាយ៉ាងណាក៏ដោយ សារធាតុ Photoresist ក៏រងផលប៉ះពាល់ដោយការទម្លាក់គ្រាប់បែកប្លាស្មា និងប្រតិកម្មគីមីក្នុងអំឡុងពេលដំណើរការឆ្លាក់ ហើយដំណើរការរបស់វាអាចផ្លាស់ប្តូរ។

ប្រសិនបើកម្រាស់របស់សារធាតុ photoresist មិនស្មើគ្នា អត្រាប្រើប្រាស់កំឡុងពេលដំណើរការឆ្លាក់មិនស៊ីសង្វាក់គ្នា ឬការស្អិតជាប់រវាងសារធាតុ photoresist និងស្រទាប់ខាងក្រោមគឺខុសគ្នានៅទីតាំងផ្សេងៗគ្នា វាអាចនាំឱ្យមានការការពារមិនស្មើគ្នានៃជញ្ជាំងចំហៀងក្នុងអំឡុងពេលដំណើរការឆ្លាក់។ ឧទាហរណ៍ តំបន់ដែលមានសារធាតុ photoresist ស្តើងជាង ឬភាពស្អិតជាប់ខ្សោយជាងអាចធ្វើឱ្យសម្ភារៈខាងក្រោមងាយឆ្លាក់ ដែលបណ្តាលឱ្យជញ្ជាំងចំហៀងកោងនៅទីតាំងទាំងនេះ។

ភាពខុសគ្នានៃលក្ខណៈសម្បត្តិសម្ភារៈស្រទាប់ខាងក្រោម

សម្ភារៈស្រទាប់ខាងក្រោមឆ្លាក់ខ្លួនវាអាចមានលក្ខណៈសម្បត្តិខុសៗគ្នា ដូចជាទិសដៅគ្រីស្តាល់ខុសៗគ្នា និងកំហាប់ដូពីងនៅក្នុងតំបន់ផ្សេងៗគ្នា។ ភាពខុសគ្នាទាំងនេះនឹងប៉ះពាល់ដល់អត្រាឆ្លាក់ និងការជ្រើសរើសឆ្លាក់។
ឧទាហរណ៍ នៅក្នុងស៊ីលីកុនគ្រីស្តាល់ ការរៀបចំអាតូមស៊ីលីកុនក្នុងទិសដៅគ្រីស្តាល់ផ្សេងៗគ្នាគឺខុសគ្នា ហើយប្រតិកម្ម និងអត្រាឆ្លាក់របស់វាជាមួយនឹងឧស្ម័នឆ្លាក់ក៏នឹងខុសគ្នាដែរ។ ក្នុងអំឡុងពេលដំណើរការឆ្លាក់ អត្រាឆ្លាក់ផ្សេងៗគ្នាដែលបណ្តាលមកពីភាពខុសគ្នានៃលក្ខណៈសម្បត្តិនៃសម្ភារៈនឹងធ្វើឱ្យជម្រៅឆ្លាក់នៃជញ្ជាំងចំហៀងនៅទីតាំងផ្សេងៗគ្នាមិនស៊ីសង្វាក់គ្នា ដែលនៅទីបំផុតនាំឱ្យជញ្ជាំងចំហៀងកោង។

កត្តាទាក់ទងនឹងឧបករណ៍

ដំណើរការ និងស្ថានភាពនៃឧបករណ៍ឆ្លាក់ក៏មានផលប៉ះពាល់យ៉ាងសំខាន់ទៅលើលទ្ធផលនៃការឆ្លាក់ផងដែរ។ ឧទាហរណ៍ បញ្ហាដូចជាការចែកចាយប្លាស្មាមិនស្មើគ្នានៅក្នុងបន្ទប់ប្រតិកម្ម និងការពាក់អេឡិចត្រូតមិនស្មើគ្នា អាចនាំឱ្យមានការចែកចាយមិនស្មើគ្នានៃប៉ារ៉ាម៉ែត្រដូចជាដង់ស៊ីតេអ៊ីយ៉ុង និងថាមពលនៅលើផ្ទៃបន្ទះសៀគ្វីកំឡុងពេលឆ្លាក់។

លើសពីនេះ ការគ្រប់គ្រងសីតុណ្ហភាពមិនស្មើគ្នានៃឧបករណ៍ និងការប្រែប្រួលបន្តិចបន្តួចនៃលំហូរឧស្ម័នក៏អាចប៉ះពាល់ដល់ឯកសណ្ឋាននៃការឆ្លាក់ផងដែរ ដែលនាំឱ្យជញ្ជាំងចំហៀងកោង។