Kí ló dé tí àwọn ògiri ẹ̀gbẹ́ fi máa ń tẹ̀ nígbà tí wọ́n bá ń fi ewé gbígbẹ rẹ́?

Àìbáramu ìbọn ion tí kò báramu mu

Gbẹìfọ́mọ́lẹ̀jẹ́ ìlànà kan tí ó máa ń so àwọn ipa ti ara àti ti kẹ́míkà pọ̀, nínú èyí tí ìbọn ion jẹ́ ọ̀nà ìfọ́ ara pàtàkì.ilana fifin, igun iṣẹlẹ ati pinpin agbara ti awọn ions le jẹ aiṣedeede.

Tí igun ìṣẹ̀lẹ̀ ion bá yàtọ̀ síra ní àwọn ipò ọ̀tọ̀ọ̀tọ̀ lórí ògiri ẹ̀gbẹ́, ipa ìfọ́ àwọn ion lórí ògiri ẹ̀gbẹ́ náà yóò yàtọ̀ síra pẹ̀lú. Ní àwọn agbègbè tí àwọn igun ìṣẹ̀lẹ̀ ion tóbi jù, ipa ìfọ́ àwọn ion lórí ògiri ẹ̀gbẹ́ náà lágbára síi, èyí tí yóò mú kí a fi ìfọ́ àwọn ẹ̀gbẹ́ ní agbègbè yìí síi, tí yóò sì mú kí ògiri ẹ̀gbẹ́ náà tẹ̀. Ní àfikún, ìpínkiri àìdọ́gba ti agbára ion náà yóò mú àwọn ipa kan náà jáde. Àwọn ion tí ó ní agbára gíga lè mú àwọn ohun èlò kúrò lọ́nà tí ó dára jù, èyí tí yóò yọrí sí àìdọ́gbaìfọ́mọ́lẹ̀awọn iwọn ti ogiri ẹgbẹ ni awọn ipo oriṣiriṣi, eyiti o fa ki ogiri ẹgbẹ tẹ.

Ipa ti awọn photoresist

Fọ́tòrésíst ń ṣe ipa bí ìbòjú nínú ìfọ́ gbígbẹ, ó ń dáàbò bo àwọn ibi tí kò nílò láti gé e. Síbẹ̀síbẹ̀, ìbúgbàù plasma àti àwọn ìṣe kẹ́míkà ní ipa lórí fọ́tòrésíst náà nígbà tí a bá ń gé e, iṣẹ́ rẹ̀ sì lè yípadà.

Tí sisanra photoresist náà kò bá dọ́gba, tí ìwọ̀n lílo rẹ̀ nígbà tí a bá ń fi ewé gé e kò bá dọ́gba, tàbí tí ìsopọ̀ láàárín photoresist àti substrate náà yàtọ̀ síra ní àwọn ibi ọ̀tọ̀ọ̀tọ̀, ó lè yọrí sí ààbò tí kò dọ́gba fún àwọn ògiri ẹ̀gbẹ́ nígbà tí a bá ń fi ewé gé e. Fún àpẹẹrẹ, àwọn agbègbè tí photoresist tinrin tàbí ìsopọ̀ tí kò lágbára lè mú kí ohun èlò ìsàlẹ̀ náà rọrùn láti fi ewé gé e, èyí sì lè mú kí àwọn ògiri ẹ̀gbẹ́ tẹ̀ ní àwọn ibi wọ̀nyí.

Awọn iyatọ ninu awọn ohun-ini ti ohun elo substrate

Ohun èlò ìpìlẹ̀ tí a fi gé e sílẹ̀ fúnra rẹ̀ lè ní àwọn ànímọ́ ọ̀tọ̀ọ̀tọ̀, bí oríṣiríṣi ìtọ́sọ́nà kírísítàlì àti ìpele ìdókòwò ní àwọn agbègbè ọ̀tọ̀ọ̀tọ̀. Àwọn ìyàtọ̀ wọ̀nyí yóò ní ipa lórí ìwọ̀n ìdè etching àti yíyàn ìdè etching.
Fún àpẹẹrẹ, nínú silikoni crystalline, ìṣètò àwọn átọ̀mù silikoni ní oríṣiríṣi ìtọ́sọ́nà sílikoni yàtọ̀ síra, àti pé ìṣiṣẹ́ wọn àti ìwọ̀n ìfọ́ pẹ̀lú gaasi ìfọ́ náà yóò yàtọ̀ síra pẹ̀lú. Nígbà ìlànà ìfọ́ náà, àwọn ìwọ̀n ìfọ́ tí ó yàtọ̀ tí àwọn ìyàtọ̀ nínú àwọn ohun-ìní ohun-ìní ohun-ìní máa ń fà yóò mú kí ìjìnlẹ̀ ìfọ́ ti àwọn ẹ̀gbẹ́ ní àwọn ibi ọ̀tọ̀ọ̀tọ̀ má ṣe dọ́gba, ní ìkẹyìn, yóò yọrí sí títẹ̀ sí ẹ̀gbẹ́.

Àwọn okùnfà tó ní í ṣe pẹ̀lú ohun èlò

Iṣẹ́ àti ipò àwọn ohun èlò ìfọṣọ náà tún ní ipa pàtàkì lórí àwọn àbájáde ìfọṣọ náà. Fún àpẹẹrẹ, àwọn ìṣòro bíi ìpínkiri plasma tí kò dọ́gba nínú yàrá ìfàsẹ́yìn àti ìfàsẹ́yìn elekitirodu tí kò dọ́gba lè yọrí sí ìpínkiri tí kò dọ́gba ti àwọn paramita bíi ìwọ̀n ion àti agbára lórí ojú wafer nígbà ìfọṣọ náà.

Ni afikun, iṣakoso iwọn otutu ti ko tọ si awọn ohun elo ati awọn iyipada diẹ ninu sisan gaasi tun le ni ipa lori iṣọkan ti fifọ awọn ohun elo, eyiti o yori si titẹ si ẹgbẹ ogiri.