Nerovnomernosť iónového bombardovania
Suchýleptanieje zvyčajne proces, ktorý kombinuje fyzikálne a chemické účinky, pričom iónové bombardovanie je dôležitou metódou fyzikálneho leptania. Počasproces leptania, uhol dopadu a rozloženie energie iónov môžu byť nerovnomerné.
Ak je uhol dopadu iónov na rôznych miestach bočnej steny rôzny, leptací účinok iónov na bočnú stenu bude tiež odlišný. V oblastiach s väčšími uhlami dopadu iónov je leptací účinok iónov na bočnú stenu silnejší, čo spôsobí, že bočná stena v tejto oblasti bude viac leptaná a následne sa ohne. Okrem toho nerovnomerné rozloženie energie iónov bude mať podobné účinky. Ióny s vyššou energiou dokážu odstraňovať materiály efektívnejšie, čo vedie k nekonzistentnému...leptaniestupne bočnej steny v rôznych polohách, čo následne spôsobuje ohnutie bočnej steny.
Vplyv fotorezistu
Fotorezist zohráva pri suchom leptaní úlohu masky, ktorá chráni oblasti, ktoré nie je potrebné leptať. Fotorezist je však počas procesu leptania ovplyvnený aj plazmovým bombardovaním a chemickými reakciami a jeho výkon sa môže zmeniť.
Ak je hrúbka fotorezistu nerovnomerná, spotreba počas procesu leptania je nekonzistentná alebo je adhézia medzi fotorezistom a substrátom na rôznych miestach odlišná, môže to viesť k nerovnomernej ochrane bočných stien počas procesu leptania. Napríklad oblasti s tenším fotorezistom alebo slabšou adhéziou môžu spôsobiť ľahšie leptanie podkladového materiálu, čo môže spôsobiť ohnutie bočných stien na týchto miestach.
Rozdiely vo vlastnostiach substrátového materiálu
Samotný leptaný substrátový materiál môže mať rôzne vlastnosti, ako napríklad rôzne orientácie kryštálov a koncentrácie dopovania v rôznych oblastiach. Tieto rozdiely ovplyvnia rýchlosť leptania a selektivitu leptania.
Napríklad v kryštalickom kremíku je usporiadanie atómov kremíka v rôznych kryštálových orientáciách odlišné a ich reaktivita a rýchlosť leptania s leptacím plynom sa tiež líšia. Počas procesu leptania spôsobia rôzne rýchlosti leptania v dôsledku rozdielov vo vlastnostiach materiálu nekonzistentnosť hĺbky leptania bočných stien na rôznych miestach, čo nakoniec vedie k ohnutiu bočných stien.
Faktory súvisiace so zariadením
Výkon a stav leptacieho zariadenia majú tiež dôležitý vplyv na výsledky leptania. Napríklad problémy, ako je nerovnomerné rozloženie plazmy v reakčnej komore a nerovnomerné opotrebovanie elektród, môžu viesť k nerovnomernému rozloženiu parametrov, ako je hustota iónov a energia, na povrchu doštičky počas leptania.
Okrem toho, nerovnomerná regulácia teploty zariadenia a mierne kolísanie prietoku plynu môžu tiež ovplyvniť rovnomernosť leptania, čo vedie k ohýbaniu bočných stien.
Čas uverejnenia: 3. decembra 2024