Kwa nini kuta za pembeni hupinda wakati wa kung'oa kavu?

Kutolingana kwa mlipuko wa ioni

Kavukung'oaKwa kawaida ni mchakato unaochanganya athari za kimwili na kemikali, ambapo ufyatuaji wa ioni ni njia muhimu ya uchongaji kimwili.mchakato wa kung'oa, pembe ya tukio na usambazaji wa nishati wa ioni huenda usiwe sawa.

Ikiwa pembe ya tukio la ioni ni tofauti katika nafasi tofauti kwenye ukuta wa pembeni, athari ya kuchomoa ya ioni kwenye ukuta wa pembeni pia itakuwa tofauti. Katika maeneo yenye pembe kubwa za tukio la ioni, athari ya kuchomoa ya ioni kwenye ukuta wa pembeni ni kubwa zaidi, ambayo itasababisha ukuta wa pembeni katika eneo hili kuchomoa zaidi, na kusababisha ukuta wa pembeni kupinda. Zaidi ya hayo, usambazaji usio sawa wa nishati ya ioni pia utaleta athari sawa. Ioni zenye nishati ya juu zinaweza kuondoa vifaa kwa ufanisi zaidi, na kusababisha kutofautianakung'oadigrii za ukuta wa pembeni katika nafasi tofauti, ambazo husababisha ukuta wa pembeni kupinda.

Ushawishi wa upingaji mwanga

Kinga mwanga hucheza jukumu la barakoa katika uchomaji mkavu, na kulinda maeneo ambayo hayahitaji kuchomwa. Hata hivyo, kinga mwanga pia huathiriwa na mlipuko wa plasma na athari za kemikali wakati wa mchakato wa uchomaji, na utendaji wake unaweza kubadilika.

Ikiwa unene wa kipingamizi cha mwanga hauna usawa, kiwango cha matumizi wakati wa mchakato wa kung'oa si sawa, au mshikamano kati ya kipingamizi cha mwanga na sehemu ya chini ni tofauti katika maeneo tofauti, inaweza kusababisha ulinzi usio sawa wa kuta za pembeni wakati wa mchakato wa kung'oa. Kwa mfano, maeneo yenye kipingamizi cha mwanga chembamba au mshikamano dhaifu yanaweza kufanya nyenzo ya chini iwe rahisi zaidi kung'oa, na kusababisha kuta za pembeni kupinda katika maeneo haya.

Tofauti katika sifa za nyenzo za substrate

Nyenzo ya msingi iliyochongwa yenyewe inaweza kuwa na sifa tofauti, kama vile mwelekeo tofauti wa fuwele na viwango vya doping katika maeneo tofauti. Tofauti hizi zitaathiri kiwango cha kuchongwa na uteuzi wa kuchongwa.
Kwa mfano, katika silicon ya fuwele, mpangilio wa atomi za silicon katika mwelekeo tofauti wa fuwele ni tofauti, na mvuto wao na kiwango cha uchomaji na gesi ya uchomaji pia vitakuwa tofauti. Wakati wa mchakato wa uchomaji, viwango tofauti vya uchomaji vinavyosababishwa na tofauti katika sifa za nyenzo vitafanya kina cha uchomaji wa kuta za pembeni katika maeneo tofauti kisilingane, na hatimaye kusababisha kupinda kwa kuta za pembeni.

Vipengele vinavyohusiana na vifaa

Utendaji na hali ya vifaa vya kuchomea pia vina athari kubwa kwenye matokeo ya kuchomea. Kwa mfano, matatizo kama vile usambazaji usio sawa wa plasma katika chumba cha mmenyuko na uchakavu usio sawa wa elektrodi yanaweza kusababisha usambazaji usio sawa wa vigezo kama vile msongamano wa ioni na nishati kwenye uso wa wafer wakati wa kuchomea.

Kwa kuongezea, udhibiti usio sawa wa halijoto ya vifaa na mabadiliko madogo katika mtiririko wa gesi pia vinaweza kuathiri usawa wa uchongaji, na kusababisha kupinda kwa ukuta wa pembeni.