Γιατί τα πλευρικά τοιχώματα κάμπτονται κατά την ξηρή χάραξη;

Μη ομοιομορφία του βομβαρδισμού με ιόντα

Ξηρόςχαλκογραφίαείναι συνήθως μια διαδικασία που συνδυάζει φυσικές και χημικές επιδράσεις, στην οποία ο βομβαρδισμός με ιόντα είναι μια σημαντική μέθοδος φυσικής χάραξης. Κατά τη διάρκειαδιαδικασία χάραξης, η γωνία πρόσπτωσης και η κατανομή ενέργειας των ιόντων μπορεί να είναι ανομοιόμορφες.

Εάν η γωνία πρόσπτωσης ιόντων είναι διαφορετική σε διαφορετικές θέσεις στο πλευρικό τοίχωμα, η επίδραση χάραξης των ιόντων στο πλευρικό τοίχωμα θα είναι επίσης διαφορετική. Σε περιοχές με μεγαλύτερες γωνίες πρόσπτωσης ιόντων, η επίδραση χάραξης των ιόντων στο πλευρικό τοίχωμα είναι ισχυρότερη, γεγονός που θα προκαλέσει μεγαλύτερη χάραξη του πλευρικού τοιχώματος σε αυτήν την περιοχή, προκαλώντας κάμψη του πλευρικού τοιχώματος. Επιπλέον, η ανομοιόμορφη κατανομή της ενέργειας των ιόντων θα παράγει επίσης παρόμοια αποτελέσματα. Τα ιόντα με υψηλότερη ενέργεια μπορούν να αφαιρέσουν υλικά πιο αποτελεσματικά, με αποτέλεσμα ασυνεπήχαλκογραφίαμοίρες του πλευρικού τοιχώματος σε διαφορετικές θέσεις, γεγονός που με τη σειρά του προκαλεί κάμψη του πλευρικού τοιχώματος.

Η επίδραση του φωτοευαίσθητου υλικού

Το φωτοευαίσθητο υλικό παίζει τον ρόλο μάσκας στην ξηρή χάραξη, προστατεύοντας περιοχές που δεν χρειάζονται χάραξη. Ωστόσο, το φωτοευαίσθητο υλικό επηρεάζεται επίσης από τον βομβαρδισμό με πλάσμα και τις χημικές αντιδράσεις κατά τη διάρκεια της διαδικασίας χάραξης, και η απόδοσή του μπορεί να αλλάξει.

Εάν το πάχος του φωτοευαίσθητου υλικού είναι ανομοιόμορφο, ο ρυθμός κατανάλωσης κατά τη διάρκεια της διαδικασίας χάραξης είναι ασυνεπής ή η πρόσφυση μεταξύ του φωτοευαίσθητου υλικού και του υποστρώματος είναι διαφορετική σε διαφορετικά σημεία, αυτό μπορεί να οδηγήσει σε ανομοιόμορφη προστασία των πλευρικών τοιχωμάτων κατά τη διάρκεια της διαδικασίας χάραξης. Για παράδειγμα, περιοχές με λεπτότερο φωτοευαίσθητο υλικό ή ασθενέστερη πρόσφυση μπορεί να κάνουν το υποκείμενο υλικό πιο εύκολο στη χάραξη, προκαλώντας κάμψη των πλευρικών τοιχωμάτων σε αυτά τα σημεία.

Διαφορές στις ιδιότητες του υλικού υποστρώματος

Το ίδιο το υλικό του χαραγμένου υποστρώματος μπορεί να έχει διαφορετικές ιδιότητες, όπως διαφορετικούς προσανατολισμούς κρυστάλλων και συγκεντρώσεις προσμίξεων σε διαφορετικές περιοχές. Αυτές οι διαφορές θα επηρεάσουν τον ρυθμό χάραξης και την επιλεκτικότητα χάραξης.
Για παράδειγμα, στο κρυσταλλικό πυρίτιο, η διάταξη των ατόμων πυριτίου σε διαφορετικούς προσανατολισμούς κρυστάλλων είναι διαφορετική, όπως και η αντιδραστικότητά τους και ο ρυθμός χάραξης με το αέριο χάραξης θα είναι επίσης διαφορετικοί. Κατά τη διάρκεια της διαδικασίας χάραξης, οι διαφορετικοί ρυθμοί χάραξης που προκαλούνται από τις διαφορές στις ιδιότητες των υλικών θα κάνουν το βάθος χάραξης των πλευρικών τοιχωμάτων σε διαφορετικές θέσεις ασυνεπές, οδηγώντας τελικά σε κάμψη των πλευρικών τοιχωμάτων.

Παράγοντες που σχετίζονται με τον εξοπλισμό

Η απόδοση και η κατάσταση του εξοπλισμού χάραξης έχουν επίσης σημαντικό αντίκτυπο στα αποτελέσματα της χάραξης. Για παράδειγμα, προβλήματα όπως η ανομοιόμορφη κατανομή του πλάσματος στον θάλαμο αντίδρασης και η ανομοιόμορφη φθορά των ηλεκτροδίων μπορεί να οδηγήσουν σε ανομοιόμορφη κατανομή παραμέτρων όπως η πυκνότητα ιόντων και η ενέργεια στην επιφάνεια του πλακιδίου κατά τη χάραξη.

Επιπλέον, ο ανομοιόμορφος έλεγχος της θερμοκρασίας του εξοπλισμού και οι μικρές διακυμάνσεις στη ροή του αερίου ενδέχεται επίσης να επηρεάσουν την ομοιομορφία της χάραξης, οδηγώντας σε κάμψη των πλευρικών τοιχωμάτων.