শুকনো খোদাই করার সময় কেন পাশের দেয়াল বেঁকে যায়?

আয়ন বোমাবর্ষণের অ-অভিন্নতা

শুষ্কখোদাইসাধারণত একটি প্রক্রিয়া যা ভৌত এবং রাসায়নিক প্রভাবকে একত্রিত করে, যেখানে আয়ন বোমাবর্ষণ একটি গুরুত্বপূর্ণ ভৌত খোদাই পদ্ধতি।খোদাই প্রক্রিয়া, আয়নগুলির আপতিত কোণ এবং শক্তি বন্টন অসম হতে পারে।

যদি সাইডওয়ালের বিভিন্ন অবস্থানে আয়ন আপতন কোণ ভিন্ন হয়, তাহলে সাইডওয়ালের উপর আয়নগুলির এচিং প্রভাবও ভিন্ন হবে। বৃহত্তর আয়ন আপতন কোণযুক্ত এলাকায়, সাইডওয়ালের উপর আয়নগুলির এচিং প্রভাব শক্তিশালী হয়, যার ফলে এই এলাকার সাইডওয়ালটি আরও বেশি এচিং হবে, যার ফলে সাইডওয়ালটি বাঁকবে। এছাড়াও, আয়ন শক্তির অসম বন্টনও একই রকম প্রভাব তৈরি করবে। উচ্চ শক্তি সম্পন্ন আয়নগুলি আরও কার্যকরভাবে উপকরণ অপসারণ করতে পারে, যার ফলে অসামঞ্জস্যতা দেখা দেয়খোদাইবিভিন্ন অবস্থানে পার্শ্ব প্রাচীরের ডিগ্রি, যার ফলে পার্শ্ব প্রাচীরটি বাঁকতে থাকে।

ফটোরেজিস্টের প্রভাব

শুষ্ক এচিং-এ ফটোরেজিস্ট একটি মুখোশের ভূমিকা পালন করে, যে জায়গাগুলিতে এচিং করার প্রয়োজন হয় না সেগুলোকে রক্ষা করে। তবে, এচিং প্রক্রিয়া চলাকালীন প্লাজমা বোমাবর্ষণ এবং রাসায়নিক বিক্রিয়ার দ্বারাও ফটোরেজিস্ট প্রভাবিত হয় এবং এর কার্যকারিতা পরিবর্তিত হতে পারে।

যদি ফটোরেজিস্টের পুরুত্ব অসম হয়, এচিং প্রক্রিয়ার সময় ব্যবহারের হার অসামঞ্জস্যপূর্ণ হয়, অথবা বিভিন্ন স্থানে ফটোরেজিস্ট এবং সাবস্ট্রেটের মধ্যে আনুগত্য ভিন্ন হয়, তাহলে এচিং প্রক্রিয়ার সময় পার্শ্ব দেয়ালের অসম সুরক্ষা হতে পারে। উদাহরণস্বরূপ, পাতলা ফটোরেজিস্ট বা দুর্বল আনুগত্যযুক্ত অঞ্চলগুলি অন্তর্নিহিত উপাদানগুলিকে আরও সহজে খোদাই করতে পারে, যার ফলে পার্শ্ব দেয়ালগুলি এই অবস্থানগুলিতে বাঁকতে পারে।

সাবস্ট্রেট উপাদানের বৈশিষ্ট্যের পার্থক্য

খোদাই করা সাবস্ট্রেট উপাদানের নিজস্ব বিভিন্ন বৈশিষ্ট্য থাকতে পারে, যেমন বিভিন্ন অঞ্চলে বিভিন্ন স্ফটিক ওরিয়েন্টেশন এবং ডোপিং ঘনত্ব। এই পার্থক্যগুলি খোদাইয়ের হার এবং খোদাই নির্বাচনকে প্রভাবিত করবে।
উদাহরণস্বরূপ, স্ফটিক সিলিকনে, বিভিন্ন স্ফটিক অভিমুখে সিলিকন পরমাণুর বিন্যাস ভিন্ন হয় এবং এচিং গ্যাসের সাথে তাদের প্রতিক্রিয়াশীলতা এবং এচিং হারও ভিন্ন হবে। এচিং প্রক্রিয়া চলাকালীন, উপাদানের বৈশিষ্ট্যের পার্থক্যের কারণে সৃষ্ট বিভিন্ন এচিং হার বিভিন্ন স্থানে পার্শ্ব দেয়ালের এচিং গভীরতাকে অসামঞ্জস্যপূর্ণ করে তুলবে, যা শেষ পর্যন্ত পার্শ্ব দেয়াল বাঁকানোর দিকে পরিচালিত করবে।

সরঞ্জাম-সম্পর্কিত কারণগুলি

এচিং সরঞ্জামের কর্মক্ষমতা এবং অবস্থাও এচিংয়ের ফলাফলের উপর গুরুত্বপূর্ণ প্রভাব ফেলে। উদাহরণস্বরূপ, বিক্রিয়া চেম্বারে অসম প্লাজমা বিতরণ এবং অসম ইলেকট্রোড পরিধানের মতো সমস্যাগুলি এচিংয়ের সময় ওয়েফার পৃষ্ঠে আয়ন ঘনত্ব এবং শক্তির মতো পরামিতিগুলির অসম বন্টনের কারণ হতে পারে।

এছাড়াও, সরঞ্জামের অসম তাপমাত্রা নিয়ন্ত্রণ এবং গ্যাস প্রবাহে সামান্য ওঠানামাও এচিংয়ের অভিন্নতাকে প্রভাবিত করতে পারে, যার ফলে পার্শ্ব প্রাচীর বাঁকানো হতে পারে।