Neyekrengiya bombebarana îyonê
Zûhagravurkirinbi gelemperî pêvajoyek e ku bandorên fîzîkî û kîmyewî li hev dicivîne, ku tê de bombebarana îyonan rêbazek girîng a gravkirina fîzîkî ye. Di demapêvajoya gravurkirinê, goşeya ketinê û belavkirina enerjiyê ya iyonan dibe ku ne yeksan bin.
Eger goşeya ketina iyonan li cihên cuda yên li ser dîwarê alî cuda be, bandora gravkirina iyonan li ser dîwarê alî jî dê cuda be. Li deverên ku goşeyên ketina iyonan mezintir in, bandora gravkirina iyonan li ser dîwarê alî xurttir e, ku ev yek dê bibe sedema gravkirina dîwarê alî yê vê deverê bêtir, û dibe sedema xwarbûna dîwarê alî. Wekî din, belavkirina neyeksan a enerjiya iyonan jî dê bandorên wekhev çêbike. Iyonên bi enerjiya bilindtir dikarin materyalan bi bandortir rakin, ku di encamê de nelihevhatî çêdibe.gravurkirinpileya dîwarê alî li pozîsyonên cûda, ku ev jî dibe sedema xwarbûna dîwarê alî.
Bandora fotoresîstê
Fotorezîst di gravkirina hişk de rola maskekê dilîze, deverên ku ne hewceyî gravkirinê ne diparêze. Lêbelê, fotorezîst di dema pêvajoya gravkirinê de ji hêla bombebarana plazmayê û reaksiyonên kîmyewî ve jî bandor dibe, û performansa wê dibe ku biguhere.
Eger qalindahiya fotoresîstê ne yekreng be, rêjeya xerckirinê di dema pêvajoya gravkirinê de ne yekreng be, an jî girêdana di navbera fotoresîst û substratê de li deverên cuda cuda be, ev dikare bibe sedema parastina ne yekreng a dîwarên alî di dema pêvajoya gravkirinê de. Mînakî, deverên bi fotoresîstek ziravtir an girêdana qelstir dikarin materyalê bingehîn hêsantir grav bikin, û bibin sedema ku dîwarên alî li van deveran bitewin.
Cûdahiyên di taybetmendiyên materyalê substratê de
Materyalê substratê yê gravkirî bi xwe dibe ku xwedî taybetmendiyên cûda be, wek mînak arasteyên krîstalên cûda û rêjeyên dopîngê li herêmên cûda. Ev cûdahî dê bandorê li rêjeya gravkirinê û selektîvîteya gravkirinê bike.
Bo nimûne, di silîkona krîstalî de, rêzkirina atomên silîkonê di arasteyên krîstal ên cuda de cuda ye, û reaktîvîteya wan û rêjeya gravkirinê bi gaza gravkirinê re jî dê cuda be. Di dema pêvajoya gravkirinê de, rêjeyên gravkirinê yên cuda yên ji ber cudahiyên di taybetmendiyên materyalê de çêdibin dê kûrahiya gravkirinê ya dîwarên alî li deverên cuda ne lihevhatî bike, ku di dawiyê de dibe sedema xwarbûna dîwarên alî.
Faktorên têkildarî alavan
Performans û rewşa alavên gravkirinê jî bandorek girîng li ser encamên gravkirinê dikin. Bo nimûne, pirsgirêkên wekî belavbûna neyeksan a plazmayê di odeya reaksiyonê de û xirabûna neyeksan a elektrodê dibe ku di dema gravkirinê de bibe sedema belavbûna neyeksan a parametreyên wekî dendika îyonê û enerjiyê li ser rûyê waferê.
Wekî din, kontrola germahiya neyeksan a alavan û guherînên sivik ên di herikîna gazê de jî dikarin bandorê li yekrengiya gravurkirinê bikin, û bibin sedema xwarbûna dîwarên kêlekê.
Dema şandinê: Kanûn-03-2024