ਸੁੱਕੀ ਐਚਿੰਗ ਦੌਰਾਨ ਸਾਈਡਵਾਲ ਕਿਉਂ ਮੁੜਦੇ ਹਨ?

ਆਇਨ ਬੰਬਾਰੀ ਦੀ ਗੈਰ-ਇਕਸਾਰਤਾ

ਸੁੱਕਾਐਚਿੰਗਇਹ ਆਮ ਤੌਰ 'ਤੇ ਇੱਕ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਹੈ ਜੋ ਭੌਤਿਕ ਅਤੇ ਰਸਾਇਣਕ ਪ੍ਰਭਾਵਾਂ ਨੂੰ ਜੋੜਦੀ ਹੈ, ਜਿਸ ਵਿੱਚ ਆਇਨ ਬੰਬਾਰੀ ਇੱਕ ਮਹੱਤਵਪੂਰਨ ਭੌਤਿਕ ਐਚਿੰਗ ਵਿਧੀ ਹੈ। ਦੌਰਾਨਐਚਿੰਗ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ, ਆਇਨਾਂ ਦਾ ਘਟਨਾ ਕੋਣ ਅਤੇ ਊਰਜਾ ਵੰਡ ਅਸਮਾਨ ਹੋ ਸਕਦੀ ਹੈ।

ਜੇਕਰ ਸਾਈਡਵਾਲ 'ਤੇ ਵੱਖ-ਵੱਖ ਸਥਿਤੀਆਂ 'ਤੇ ਆਇਨ ਘਟਨਾ ਕੋਣ ਵੱਖਰਾ ਹੈ, ਤਾਂ ਸਾਈਡਵਾਲ 'ਤੇ ਆਇਨਾਂ ਦਾ ਐਚਿੰਗ ਪ੍ਰਭਾਵ ਵੀ ਵੱਖਰਾ ਹੋਵੇਗਾ। ਵੱਡੇ ਆਇਨ ਘਟਨਾ ਕੋਣਾਂ ਵਾਲੇ ਖੇਤਰਾਂ ਵਿੱਚ, ਸਾਈਡਵਾਲ 'ਤੇ ਆਇਨਾਂ ਦਾ ਐਚਿੰਗ ਪ੍ਰਭਾਵ ਵਧੇਰੇ ਮਜ਼ਬੂਤ ​​ਹੁੰਦਾ ਹੈ, ਜਿਸ ਕਾਰਨ ਇਸ ਖੇਤਰ ਵਿੱਚ ਸਾਈਡਵਾਲ ਨੂੰ ਵਧੇਰੇ ਨੱਕਾਸ਼ੀ ਕੀਤੀ ਜਾਵੇਗੀ, ਜਿਸ ਨਾਲ ਸਾਈਡਵਾਲ ਮੁੜ ਜਾਵੇਗਾ। ਇਸ ਤੋਂ ਇਲਾਵਾ, ਆਇਨ ਊਰਜਾ ਦੀ ਅਸਮਾਨ ਵੰਡ ਵੀ ਸਮਾਨ ਪ੍ਰਭਾਵ ਪੈਦਾ ਕਰੇਗੀ। ਉੱਚ ਊਰਜਾ ਵਾਲੇ ਆਇਨ ਸਮੱਗਰੀ ਨੂੰ ਵਧੇਰੇ ਪ੍ਰਭਾਵਸ਼ਾਲੀ ਢੰਗ ਨਾਲ ਹਟਾ ਸਕਦੇ ਹਨ, ਜਿਸਦੇ ਨਤੀਜੇ ਵਜੋਂ ਅਸੰਗਤਤਾ ਹੁੰਦੀ ਹੈ।ਐਚਿੰਗਵੱਖ-ਵੱਖ ਸਥਿਤੀਆਂ 'ਤੇ ਸਾਈਡਵਾਲ ਦੀਆਂ ਡਿਗਰੀਆਂ, ਜਿਸ ਕਾਰਨ ਸਾਈਡਵਾਲ ਮੁੜ ਜਾਂਦੀ ਹੈ।

ਫੋਟੋਰੇਸਿਸਟ ਦਾ ਪ੍ਰਭਾਵ

ਫੋਟੋਰੇਸਿਸਟ ਸੁੱਕੀ ਐਚਿੰਗ ਵਿੱਚ ਇੱਕ ਮਾਸਕ ਦੀ ਭੂਮਿਕਾ ਨਿਭਾਉਂਦਾ ਹੈ, ਉਹਨਾਂ ਖੇਤਰਾਂ ਦੀ ਰੱਖਿਆ ਕਰਦਾ ਹੈ ਜਿਨ੍ਹਾਂ ਨੂੰ ਐਚਿੰਗ ਕਰਨ ਦੀ ਜ਼ਰੂਰਤ ਨਹੀਂ ਹੁੰਦੀ। ਹਾਲਾਂਕਿ, ਫੋਟੋਰੇਸਿਸਟ ਐਚਿੰਗ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਦੌਰਾਨ ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਬੰਬਾਰੀ ਅਤੇ ਰਸਾਇਣਕ ਪ੍ਰਤੀਕ੍ਰਿਆਵਾਂ ਦੁਆਰਾ ਵੀ ਪ੍ਰਭਾਵਿਤ ਹੁੰਦਾ ਹੈ, ਅਤੇ ਇਸਦਾ ਪ੍ਰਦਰਸ਼ਨ ਬਦਲ ਸਕਦਾ ਹੈ।

ਜੇਕਰ ਫੋਟੋਰੇਸਿਸਟ ਦੀ ਮੋਟਾਈ ਅਸਮਾਨ ਹੈ, ਐਚਿੰਗ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਦੌਰਾਨ ਖਪਤ ਦਰ ਅਸੰਗਤ ਹੈ, ਜਾਂ ਫੋਟੋਰੇਸਿਸਟ ਅਤੇ ਸਬਸਟਰੇਟ ਵਿਚਕਾਰ ਅਡੈਸ਼ਨ ਵੱਖ-ਵੱਖ ਸਥਾਨਾਂ 'ਤੇ ਵੱਖਰਾ ਹੈ, ਤਾਂ ਇਸ ਨਾਲ ਐਚਿੰਗ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਦੌਰਾਨ ਸਾਈਡਵਾਲਾਂ ਦੀ ਅਸਮਾਨ ਸੁਰੱਖਿਆ ਹੋ ਸਕਦੀ ਹੈ। ਉਦਾਹਰਨ ਲਈ, ਪਤਲੇ ਫੋਟੋਰੇਸਿਸਟ ਜਾਂ ਕਮਜ਼ੋਰ ਅਡੈਸ਼ਨ ਵਾਲੇ ਖੇਤਰ ਅੰਡਰਲਾਈੰਗ ਸਮੱਗਰੀ ਨੂੰ ਵਧੇਰੇ ਆਸਾਨੀ ਨਾਲ ਨੱਕਾਸ਼ੀ ਕਰ ਸਕਦੇ ਹਨ, ਜਿਸ ਨਾਲ ਸਾਈਡਵਾਲਾਂ ਇਹਨਾਂ ਸਥਾਨਾਂ 'ਤੇ ਮੋੜ ਸਕਦੀਆਂ ਹਨ।

ਸਬਸਟਰੇਟ ਸਮੱਗਰੀ ਦੇ ਗੁਣਾਂ ਵਿੱਚ ਅੰਤਰ

ਐਚਡ ਸਬਸਟਰੇਟ ਸਮੱਗਰੀ ਵਿੱਚ ਆਪਣੇ ਆਪ ਵਿੱਚ ਵੱਖ-ਵੱਖ ਗੁਣ ਹੋ ਸਕਦੇ ਹਨ, ਜਿਵੇਂ ਕਿ ਵੱਖ-ਵੱਖ ਖੇਤਰਾਂ ਵਿੱਚ ਵੱਖ-ਵੱਖ ਕ੍ਰਿਸਟਲ ਸਥਿਤੀਆਂ ਅਤੇ ਡੋਪਿੰਗ ਗਾੜ੍ਹਾਪਣ। ਇਹ ਅੰਤਰ ਐਚਿੰਗ ਦਰ ਅਤੇ ਐਚਿੰਗ ਚੋਣ ਨੂੰ ਪ੍ਰਭਾਵਤ ਕਰਨਗੇ।
ਉਦਾਹਰਨ ਲਈ, ਕ੍ਰਿਸਟਲਿਨ ਸਿਲੀਕਾਨ ਵਿੱਚ, ਵੱਖ-ਵੱਖ ਕ੍ਰਿਸਟਲ ਸਥਿਤੀਆਂ ਵਿੱਚ ਸਿਲੀਕਾਨ ਪਰਮਾਣੂਆਂ ਦਾ ਪ੍ਰਬੰਧ ਵੱਖਰਾ ਹੁੰਦਾ ਹੈ, ਅਤੇ ਐਚਿੰਗ ਗੈਸ ਨਾਲ ਉਹਨਾਂ ਦੀ ਪ੍ਰਤੀਕਿਰਿਆਸ਼ੀਲਤਾ ਅਤੇ ਐਚਿੰਗ ਦਰ ਵੀ ਵੱਖਰੀ ਹੋਵੇਗੀ। ਐਚਿੰਗ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਦੇ ਦੌਰਾਨ, ਭੌਤਿਕ ਗੁਣਾਂ ਵਿੱਚ ਅੰਤਰ ਦੇ ਕਾਰਨ ਵੱਖ-ਵੱਖ ਐਚਿੰਗ ਦਰਾਂ ਵੱਖ-ਵੱਖ ਸਥਾਨਾਂ 'ਤੇ ਸਾਈਡਵਾਲਾਂ ਦੀ ਐਚਿੰਗ ਡੂੰਘਾਈ ਨੂੰ ਅਸੰਗਤ ਬਣਾ ਦੇਣਗੀਆਂ, ਅੰਤ ਵਿੱਚ ਸਾਈਡਵਾਲ ਮੋੜਨ ਦਾ ਕਾਰਨ ਬਣਦੀਆਂ ਹਨ।

ਉਪਕਰਣ-ਸਬੰਧਤ ਕਾਰਕ

ਐਚਿੰਗ ਉਪਕਰਣਾਂ ਦੀ ਕਾਰਗੁਜ਼ਾਰੀ ਅਤੇ ਸਥਿਤੀ ਦਾ ਵੀ ਐਚਿੰਗ ਦੇ ਨਤੀਜਿਆਂ 'ਤੇ ਮਹੱਤਵਪੂਰਨ ਪ੍ਰਭਾਵ ਪੈਂਦਾ ਹੈ। ਉਦਾਹਰਣ ਵਜੋਂ, ਪ੍ਰਤੀਕ੍ਰਿਆ ਚੈਂਬਰ ਵਿੱਚ ਅਸਮਾਨ ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਵੰਡ ਅਤੇ ਅਸਮਾਨ ਇਲੈਕਟ੍ਰੋਡ ਪਹਿਨਣ ਵਰਗੀਆਂ ਸਮੱਸਿਆਵਾਂ ਐਚਿੰਗ ਦੌਰਾਨ ਵੇਫਰ ਸਤਹ 'ਤੇ ਆਇਨ ਘਣਤਾ ਅਤੇ ਊਰਜਾ ਵਰਗੇ ਮਾਪਦੰਡਾਂ ਦੀ ਅਸਮਾਨ ਵੰਡ ਦਾ ਕਾਰਨ ਬਣ ਸਕਦੀਆਂ ਹਨ।

ਇਸ ਤੋਂ ਇਲਾਵਾ, ਉਪਕਰਣਾਂ ਦਾ ਅਸਮਾਨ ਤਾਪਮਾਨ ਨਿਯੰਤਰਣ ਅਤੇ ਗੈਸ ਦੇ ਪ੍ਰਵਾਹ ਵਿੱਚ ਮਾਮੂਲੀ ਉਤਰਾਅ-ਚੜ੍ਹਾਅ ਵੀ ਐਚਿੰਗ ਦੀ ਇਕਸਾਰਤਾ ਨੂੰ ਪ੍ਰਭਾਵਿਤ ਕਰ ਸਕਦੇ ਹਨ, ਜਿਸ ਨਾਲ ਸਾਈਡਵਾਲ ਮੋੜ ਸਕਦੀ ਹੈ।