Nuqqas ta' uniformità tal-bumbardament tal-joni
Niexefinċiżjoniġeneralment huwa proċess li jikkombina effetti fiżiċi u kimiċi, fejn il-bumbardament tal-joni huwa metodu importanti ta' inċiżjoni fiżika. Matul il-proċess ta' inċiżjoni, l-angolu tal-inċident u d-distribuzzjoni tal-enerġija tal-joni jistgħu jkunu irregolari.
Jekk l-angolu tal-inċident tal-jone huwa differenti f'pożizzjonijiet differenti fuq il-ħajt tal-ġenb, l-effett tal-inċiżjoni tal-joni fuq il-ħajt tal-ġenb ikun ukoll differenti. F'żoni b'angoli ta' inċident tal-joni akbar, l-effett tal-inċiżjoni tal-joni fuq il-ħajt tal-ġenb ikun aktar qawwi, u dan jikkawża li l-ħajt tal-ġenb f'din iż-żona jiġi inċiż aktar, u b'hekk il-ħajt tal-ġenb jitgħawweġ. Barra minn hekk, id-distribuzzjoni irregolari tal-enerġija tal-joni tipproduċi wkoll effetti simili. Joni b'enerġija ogħla jistgħu jneħħu l-materjali b'mod aktar effettiv, u dan jirriżulta f'inkonsistenza.inċiżjonigradi tal-ħajt tal-ġenb f'pożizzjonijiet differenti, li min-naħa tiegħu jikkawża li l-ħajt tal-ġenb jitgħawweġ.
L-influwenza tal-fotoreżist
Il-fotoreżist għandu r-rwol ta' maskra fl-inċiżjoni niexfa, billi jipproteġi żoni li m'għandhomx bżonn jiġu inċiżi. Madankollu, il-fotoreżist huwa affettwat ukoll mill-bumbardament tal-plażma u r-reazzjonijiet kimiċi matul il-proċess tal-inċiżjoni, u l-prestazzjoni tiegħu tista' tinbidel.
Jekk il-ħxuna tal-fotoreżist mhijiex uniformi, ir-rata tal-konsum matul il-proċess tal-inċiżjoni mhijiex konsistenti, jew l-adeżjoni bejn il-fotoreżist u s-sottostrat hija differenti f'postijiet differenti, dan jista' jwassal għal protezzjoni irregolari tal-ħitan tal-ġenb matul il-proċess tal-inċiżjoni. Pereżempju, żoni b'fotoreżist irqaq jew adeżjoni aktar dgħajfa jistgħu jagħmlu l-materjal ta' taħt aktar faċli biex jiġi inċiż, u b'hekk il-ħitan tal-ġenb jitgħawġu f'dawn il-postijiet.
Differenzi fil-proprjetajiet tal-materjal tas-sottostrat
Il-materjal tas-sottostrat imnaqqax innifsu jista' jkollu proprjetajiet differenti, bħal orjentazzjonijiet differenti tal-kristalli u konċentrazzjonijiet ta' doping f'reġjuni differenti. Dawn id-differenzi jaffettwaw ir-rata tal-inċiżjoni u s-selettività tal-inċiżjoni.
Pereżempju, fis-silikon kristallin, l-arranġament tal-atomi tas-silikon f'orjentazzjonijiet differenti tal-kristall huwa differenti, u r-reattività u r-rata ta' inċiżjoni tagħhom mal-gass tal-inċiżjoni se jkunu wkoll differenti. Matul il-proċess tal-inċiżjoni, ir-rati differenti ta' inċiżjoni kkawżati mid-differenzi fil-proprjetajiet tal-materjal se jagħmlu l-fond tal-inċiżjoni tal-ħitan tal-ġenb inkonsistenti f'postijiet differenti, u fl-aħħar mill-aħħar iwassal għal liwi tal-ħitan tal-ġenb.
Fatturi relatati mat-tagħmir
Il-prestazzjoni u l-istatus tat-tagħmir tal-inċiżjoni għandhom ukoll impatt importanti fuq ir-riżultati tal-inċiżjoni. Pereżempju, problemi bħad-distribuzzjoni irregolari tal-plażma fil-kamra tar-reazzjoni u l-użu irregolari tal-elettrodu jistgħu jwasslu għal distribuzzjoni irregolari ta' parametri bħad-densità tal-joni u l-enerġija fuq il-wiċċ tal-wejfer waqt l-inċiżjoni.
Barra minn hekk, kontroll irregolari tat-temperatura tat-tagħmir u varjazzjonijiet żgħar fil-fluss tal-gass jistgħu wkoll jaffettwaw l-uniformità tal-inċiżjoni, u jwasslu għal liwi tal-ħitan tal-ġenb.
Ħin tal-posta: 03 ta' Diċembru 2024