Нобаробарии бомбаборони ионӣ
Хушккандакорӣодатан равандест, ки таъсири физикӣ ва химиявиро муттаҳид мекунад, ки дар он бомбаборони ионӣ усули муҳими кандакории физикӣ мебошад. Дар давомираванди кандакорӣ, кунҷи афтидан ва тақсимоти энергияи ионҳо метавонад нобаробар бошад.
Агар кунҷи афтиши ионҳо дар мавқеъҳои гуногуни девори паҳлӯӣ фарқ кунад, таъсири кандакории ионҳо ба девори паҳлӯӣ низ фарқ хоҳад кард. Дар минтақаҳое, ки кунҷҳои афтиши ионҳо калонтаранд, таъсири кандакории ионҳо ба девори паҳлӯӣ қавитар аст, ки боиси бештар канда шудани девори паҳлӯӣ дар ин минтақа мегардад ва боиси хам шудани девори паҳлӯӣ мегардад. Илова бар ин, тақсимоти нобаробари энергияи ионҳо низ таъсири монандро ба вуҷуд меорад. Ионҳои дорои энергияи баландтар метавонанд маводҳоро самараноктар тоза кунанд, ки боиси номувофиқӣ мегардад.кандакорӣдараҷаҳои девори паҳлӯӣ дар мавқеъҳои гуногун, ки боиси хам шудани девори паҳлӯӣ мегардад.
Таъсири фоторезист
Фоторезист дар кандакории хушк нақши ниқобро мебозад ва минтақаҳоеро, ки ба кандакорӣ ниёз надоранд, муҳофизат мекунад. Аммо, фоторезист инчунин аз бомбаборди плазма ва аксуламалҳои кимиёвӣ дар раванди кандакорӣ таъсир мегирад ва кори он метавонад тағйир ёбад.
Агар ғафсии фоторезист нобаробар бошад, суръати истеъмол ҳангоми раванди кандакорӣ номувофиқ бошад, ё часпидан байни фоторезист ва субстрат дар ҷойҳои гуногун гуногун бошад, ин метавонад боиси нобаробарии муҳофизати деворҳои паҳлӯӣ ҳангоми раванди кандакорӣ гардад. Масалан, минтақаҳое, ки фоторезисти тунуктар ё часпиданашон заифтар аст, метавонанд маводи зеризаминиро осонтар кандакорӣ кунанд ва боиси хам шудани деворҳои паҳлӯӣ дар ин ҷойҳо шаванд.
Тафовутҳо дар хосиятҳои маводи субстрат
Худи маводи зеризаминии кандакорӣ метавонад хосиятҳои гуногун дошта бошад, ба монанди самтҳои гуногуни кристалл ва консентратсияи легиркунӣ дар минтақаҳои гуногун. Ин фарқиятҳо ба суръати кандакорӣ ва интихобии кандакорӣ таъсир мерасонанд.
Масалан, дар кремнийи кристаллӣ, ҷойгиршавии атомҳои кремний дар самтҳои гуногуни кристаллӣ гуногун аст ва реактивӣ ва суръати кандакории онҳо бо гази кандакорӣ низ гуногун хоҳад буд. Дар раванди кандакорӣ, суръати гуногуни кандакорӣ, ки аз сабаби фарқияти хосиятҳои мавод ба вуҷуд меояд, умқи кандакории деворҳои паҳлӯиро дар ҷойҳои гуногун номувофиқ мегардонад ва дар ниҳоят ба хам шудани девори паҳлӯӣ оварда мерасонад.
Омилҳои марбут ба таҷҳизот
Кор ва ҳолати таҷҳизоти кандакорӣ низ ба натиҷаҳои кандакорӣ таъсири муҳим мерасонад. Масалан, мушкилот ба монанди тақсимоти нобаробари плазма дар камераи реаксия ва фарсудашавии нобаробари электрод метавонанд боиси тақсимоти нобаробари параметрҳо ба монанди зичии ион ва энергия дар сатҳи пластина ҳангоми кандакорӣ шаванд.
Илова бар ин, назорати нобаробари ҳарорати таҷҳизот ва ноустувории ночизи ҷараёни газ низ метавонад ба якрангии кандакорӣ таъсир расонад, ки боиси хам шудани девори паҳлӯ мегардад.
Вақти нашр: 03 декабри соли 2024