Dlaczego ścianki boczne wyginają się podczas trawienia na sucho?

Nierównomierność bombardowania jonami

Suchyakwafortato proces łączący w sobie efekty fizyczne i chemiczne, w którym bombardowanie jonami stanowi ważną metodę trawienia fizycznego. Podczasproces trawienia, kąt padania i rozkład energii jonów mogą być nierównomierne.

Jeśli kąt padania jonów jest różny w różnych miejscach na ścianie bocznej, efekt trawienia jonów na ścianie bocznej również będzie różny. W obszarach o większych kątach padania jonów efekt trawienia jonów na ścianie bocznej jest silniejszy, co spowoduje, że ściana boczna w tym miejscu będzie bardziej trawiona, powodując jej wygięcie. Ponadto, nierównomierny rozkład energii jonów również wywoła podobne efekty. Jony o wyższej energii mogą skuteczniej usuwać materiały, co prowadzi do niespójności.akwafortakąty nachylenia ściany bocznej w różnych pozycjach, co z kolei powoduje jej wygięcie.

Wpływ fotorezystu

Fotorezyst pełni rolę maski w procesie trawienia na sucho, chroniąc obszary, które nie wymagają trawienia. Jednak fotorezyst jest również podatny na bombardowanie plazmą i reakcje chemiczne zachodzące podczas procesu trawienia, a jego właściwości mogą ulec zmianie.

Jeśli grubość fotorezystu jest nierównomierna, tempo zużycia podczas trawienia jest nierównomierne lub przyczepność fotorezystu do podłoża jest różna w różnych miejscach, może to prowadzić do nierównomiernej ochrony ścianek bocznych podczas trawienia. Na przykład, obszary o cieńszej warstwie fotorezystu lub słabszej przyczepności mogą ułatwiać trawienie materiału znajdującego się pod spodem, powodując wyginanie się ścianek bocznych w tych miejscach.

Różnice we właściwościach materiału podłoża

Sam wytrawiony materiał podłoża może mieć różne właściwości, takie jak różna orientacja kryształów i stężenie domieszek w różnych obszarach. Różnice te wpływają na szybkość i selektywność trawienia.
Na przykład w krzemie krystalicznym rozmieszczenie atomów krzemu w różnych orientacjach krystalicznych jest różne, a ich reaktywność i szybkość trawienia gazem trawiącym również będą różne. Podczas procesu trawienia, różnice w szybkości trawienia spowodowane różnicami we właściwościach materiału powodują, że głębokość trawienia ścianek bocznych w różnych miejscach jest nierównomierna, co ostatecznie prowadzi do ich wygięcia.

Czynniki związane ze sprzętem

Wydajność i stan urządzeń trawiących również mają istotny wpływ na rezultaty trawienia. Na przykład problemy takie jak nierównomierny rozkład plazmy w komorze reakcyjnej i nierównomierne zużycie elektrod mogą prowadzić do nierównomiernego rozkładu parametrów, takich jak gęstość jonów i energia, na powierzchni płytki podczas trawienia.

Ponadto nierównomierna kontrola temperatury urządzenia i niewielkie wahania przepływu gazu mogą również wpływać na równomierność trawienia, co może prowadzić do wygięcia ścianek bocznych.