خشڪ ايچنگ دوران پاسي جون ڀتيون ڇو مڙي وينديون آهن؟

آئن بمباري جي غير یکسانيت

سڪلنقاشيعام طور تي هڪ اهڙو عمل آهي جيڪو جسماني ۽ ڪيميائي اثرن کي گڏ ڪري ٿو، جنهن ۾ آئن بمباري هڪ اهم جسماني نقاشي جو طريقو آهي.نقاشي جو عمل، آئنن جي واقعن جو زاويه ۽ توانائي جي ورڇ غير مساوي ٿي سگهي ٿي.

جيڪڏهن آئن جي واقعي جو زاويه سائڊ وال تي مختلف پوزيشنن تي مختلف آهي، ته سائڊ وال تي آئنن جو ايچنگ اثر پڻ مختلف هوندو. وڏن آئن جي واقعن جي زاوين وارن علائقن ۾، سائڊ وال تي آئنن جو ايچنگ اثر وڌيڪ مضبوط هوندو آهي، جنهن جي ڪري هن علائقي ۾ سائڊ وال وڌيڪ ايچنگ ٿيندي، جنهن جي ڪري سائڊ وال موڙيندو. ان کان علاوه، آئن توانائي جي غير مساوي ورڇ پڻ ساڳيا اثر پيدا ڪندي. وڌيڪ توانائي وارا آئن مواد کي وڌيڪ اثرائتي طريقي سان هٽائي سگهن ٿا، جنهن جي نتيجي ۾ غير مطابقت پيدا ٿيندي.نقاشيمختلف پوزيشنن تي پاسي واري ڀت جا درجا، جنهن جي نتيجي ۾ پاسي واري ڀت موڙي ٿي.

فوٽو ريسسٽ جو اثر

فوٽو ريزسٽ خشڪ ايچنگ ۾ ماسڪ جو ڪردار ادا ڪري ٿو، انهن علائقن جي حفاظت ڪري ٿو جن کي ايچنگ جي ضرورت ناهي. بهرحال، فوٽو ريزسٽ ايچنگ جي عمل دوران پلازما بمباري ۽ ڪيميائي رد عمل کان پڻ متاثر ٿئي ٿو، ۽ ان جي ڪارڪردگي تبديل ٿي سگهي ٿي.

جيڪڏهن فوٽو ريزسٽ جي ٿلهي غير مساوي آهي، ايچنگ جي عمل دوران استعمال جي شرح غير مطابقت رکي ٿي، يا فوٽو ريزسٽ ۽ سبسٽريٽ جي وچ ۾ چپڪ مختلف هنڌن تي مختلف آهي، ته اهو ايچنگ جي عمل دوران سائڊ والز جي غير مساوي تحفظ جو سبب بڻجي سگهي ٿو. مثال طور، پتلي فوٽو ريزسٽ يا ڪمزور چپڪندڙ علائقن ۾ هيٺيون مواد وڌيڪ آساني سان ايچنگ ٿي سگهي ٿو، جنهن جي ڪري سائڊ والز انهن هنڌن تي موڙي سگهن ٿا.

سبسٽريٽ مواد جي خاصيتن ۾ فرق

ايچ ٿيل سبسٽريٽ مواد ۾ پاڻ ۾ مختلف خاصيتون ٿي سگهن ٿيون، جهڙوڪ مختلف علائقن ۾ مختلف ڪرسٽل اورينٽيشن ۽ ڊوپنگ ڪنسنٽريشن. اهي فرق ايچنگ جي شرح ۽ ايچنگ جي چونڊ کي متاثر ڪندا.
مثال طور، ڪرسٽل لائن سلڪون ۾، مختلف ڪرسٽل رخن ۾ سلڪون ايٽم جي ترتيب مختلف هوندي آهي، ۽ انهن جي رد عمل ۽ ايچنگ گيس سان ايچنگ جي شرح پڻ مختلف هوندي. ايچنگ جي عمل دوران، مادي خاصيتن ۾ فرق جي ڪري مختلف ايچنگ جي شرح مختلف هنڌن تي سائڊ والز جي ايچنگ جي کوٽائي کي متضاد بڻائيندي، آخرڪار سائڊ وال موڙڻ جو سبب بڻجندي.

سامان سان لاڳاپيل عنصر

ايچنگ سامان جي ڪارڪردگي ۽ حيثيت پڻ ايچنگ جي نتيجن تي اهم اثر وجهن ٿا. مثال طور، رد عمل چيمبر ۾ غير مساوي پلازما ورڇ ۽ غير مساوي اليڪٽرروڊ وير جهڙا مسئلا ايچنگ دوران ويفر جي مٿاڇري تي آئن کثافت ۽ توانائي جهڙن پيرا ميٽرز جي غير مساوي ورڇ جو سبب بڻجي سگهن ٿا.

ان کان علاوه، سامان جي غير مساوي گرمي پد ڪنٽرول ۽ گئس جي وهڪري ۾ معمولي اتار چڙهاؤ پڻ ايچنگ جي هڪجهڙائي کي متاثر ڪري سگهن ٿا، جنهن جي ڪري سائڊ وال موڙي سگهي ٿي.