අයන බෝම්බ හෙලීමේ ඒකාකාරී නොවීම
වියළිකැටයම් කිරීමසාමාන්යයෙන් භෞතික හා රසායනික බලපෑම් ඒකාබද්ධ කරන ක්රියාවලියක් වන අතර, අයන බෝම්බ හෙලීම වැදගත් භෞතික කැටයම් ක්රමයකි.කැටයම් කිරීමේ ක්රියාවලිය, අයනවල සිදුවීම් කෝණය සහ ශක්ති ව්යාප්තිය අසමාන විය හැකිය.
පැති බිත්තියේ විවිධ ස්ථානවල අයන පතන කෝණය වෙනස් නම්, පැති බිත්තියේ අයනවල කැටයම් කිරීමේ බලපෑම ද වෙනස් වේ. විශාල අයන පතන කෝණ ඇති ප්රදේශවල, පැති බිත්තියේ අයනවල කැටයම් කිරීමේ බලපෑම වඩාත් ප්රබල වන අතර, එමඟින් මෙම ප්රදේශයේ පැති බිත්තිය වැඩිපුර කැටයම් කර, පැති බිත්තිය නැමීමට හේතු වේ. ඊට අමතරව, අයන ශක්තියේ අසමාන ව්යාප්තිය ද සමාන බලපෑම් ඇති කරයි. වැඩි ශක්තියක් ඇති අයනවලට ද්රව්ය වඩාත් ඵලදායී ලෙස ඉවත් කළ හැකි අතර, එහි ප්රතිඵලයක් ලෙස නොගැලපේකැටයම් කිරීමවිවිධ ස්ථානවල පැති බැම්මේ අංශක, එමඟින් පැති බැම්මේ නැමීමට හේතු වේ.
ප්රභා ප්රතිරෝධකයේ බලපෑම
වියළි කැටයම් කිරීමේදී වෙස් මුහුණක කාර්යභාරය ෆොටෝරෙසිස්ට් විසින් ඉටු කරනු ලබන අතර, කැටයම් කිරීමට අවශ්ය නොවන ප්රදේශ ආරක්ෂා කරයි. කෙසේ වෙතත්, කැටයම් කිරීමේ ක්රියාවලියේදී ප්ලාස්මා බෝම්බ හෙලීම සහ රසායනික ප්රතික්රියා මගින් ද ෆොටෝරෙසිස්ට් බලපෑමට ලක් වන අතර එහි ක්රියාකාරිත්වය වෙනස් විය හැකිය.
ප්රභා ප්රතිරෝධකයේ ඝණකම අසමාන නම්, කැටයම් කිරීමේ ක්රියාවලියේදී පරිභෝජන අනුපාතය නොගැලපේ නම්, හෝ විවිධ ස්ථානවල ප්රභා ප්රතිරෝධකය සහ උපස්ථරය අතර ඇලවීම වෙනස් නම්, එය කැටයම් කිරීමේ ක්රියාවලියේදී පැති බිත්තිවල අසමාන ආරක්ෂාවට හේතු විය හැක. නිදසුනක් ලෙස, තුනී ප්රභා ප්රතිරෝධකයක් හෝ දුර්වල ඇලවීමක් ඇති ප්රදේශ යටින් පවතින ද්රව්ය වඩාත් පහසුවෙන් කැටයම් කළ හැකි අතර, මෙම ස්ථානවල පැති බිත්ති නැමීමට හේතු වේ.
උපස්ථර ද්රව්ය ගුණාංගවල වෙනස්කම්
කැටයම් කරන ලද උපස්ථර ද්රව්යයටම විවිධ ගුණාංග තිබිය හැකිය, එනම් විවිධ කලාපවල විවිධ ස්ඵටික දිශානති සහ මාත්රණ සාන්ද්රණයන් වැනි. මෙම වෙනස්කම් කැටයම් අනුපාතයට සහ කැටයම් තේරීමට බලපානු ඇත.
උදාහරණයක් ලෙස, ස්ඵටිකරූපී සිලිකන් වල, විවිධ ස්ඵටික දිශානතියන්හි සිලිකන් පරමාණුවල සැකැස්ම වෙනස් වන අතර, කැටයම් වායුව සමඟ ඒවායේ ප්රතික්රියාශීලීත්වය සහ කැටයම් අනුපාතය ද වෙනස් වේ. කැටයම් කිරීමේ ක්රියාවලියේදී, ද්රව්ය ගුණාංගවල වෙනස්කම් නිසා ඇතිවන විවිධ කැටයම් අනුපාත විවිධ ස්ථානවල පැති බිත්තිවල කැටයම් ගැඹුර නොගැලපෙන අතර, අවසානයේ පැති බිත්ති නැමීමට හේතු වේ.
උපකරණ ආශ්රිත සාධක
කැටයම් කිරීමේ උපකරණවල ක්රියාකාරිත්වය සහ තත්ත්වය ද කැටයම් ප්රතිඵල කෙරෙහි වැදගත් බලපෑමක් ඇති කරයි. නිදසුනක් ලෙස, ප්රතික්රියා කුටියේ අසමාන ප්ලාස්මා ව්යාප්තිය සහ අසමාන ඉලෙක්ට්රෝඩ ඇඳීම වැනි ගැටළු කැටයම් කිරීමේදී වේෆර් මතුපිට අයන ඝනත්වය සහ ශක්තිය වැනි පරාමිතීන් අසමාන ලෙස බෙදා හැරීමට හේතු විය හැක.
ඊට අමතරව, උපකරණවල අසමාන උෂ්ණත්ව පාලනය සහ වායු ප්රවාහයේ සුළු උච්චාවචනයන් ද කැටයම් කිරීමේ ඒකාකාරිත්වයට බලපෑ හැකි අතර, එය පැති බිත්ති නැමීමට හේතු වේ.
පළ කිරීමේ කාලය: දෙසැම්බර්-03-2024