Ион бомбардированиесенең тигез булмавы
Корыгравюрагадәттә физик һәм химик эффектларны берләштерә торган процесс, анда ион бомбардированиесе мөһим физик гравюра ысулы булып тора.гравюра процессы, ионнарның төшү почмагы һәм энергия бүленеше тигез булмаска мөмкин.
Әгәр ион төшү почмагы ян стенаның төрле урыннарында төрле булса, ионнарның ян стенага йому эффекты да төрле булачак. Ион төшү почмаклары зуррак булган өлкәләрдә ионнарның ян стенага йому эффекты көчлерәк, бу бу өлкәдәге ян стенаның күбрәк йомшаруына китерәчәк, бу ян стенаның бөгелүенә китерә. Моннан тыш, ион энергиясенең тигез булмаган бүленеше дә охшаш эффектлар тудырачак. Югарырак энергияле ионнар материалларны нәтиҗәлерәк бетерә ала, нәтиҗәдә тотрыксызлык барлыкка килә.гравюратөрле позицияләрдә ян стенаның градуслары, бу үз чиратында ян стенаның бөгелүенә китерә.
Фоторезистның йогынтысы
Фоторезист коры гравюрада битлек ролен уйный, гравюра кирәк булмаган урыннарны саклый. Шулай да, фоторезистка плазма бомбардированиесе һәм гравюра процессы вакытында химик реакцияләр дә тәэсир итә, һәм аның эшчәнлеге үзгәрергә мөмкин.
Әгәр фоторезистның калынлыгы тигез булмаса, гравировка процессында куллану тизлеге тотрыксыз булса, яки фоторезист һәм субстрат арасындагы адгезия төрле урыннарда төрлечә булса, бу гравировка процессында ян стеналарның тигез булмаган саклануына китерергә мөмкин. Мәсәлән, фоторезист нечкәрәк яки адгезиясе зәгыйфьрәк булган урыннар астындагы материалны җиңелрәк гравировкаларга, бу урыннарда ян стеналарның бөгелүенә китерергә мөмкин.
Субстрат материалы үзенчәлекләрендәге аермалар
Уеп ясалган субстрат материалы үзе төрле үзенчәлекләргә ия булырга мөмкин, мәсәлән, төрле өлкәләрдә төрле кристалл ориентацияләре һәм легирлау концентрацияләре. Бу аермалар уеп чыгару тизлегенә һәм уеп чыгару сайлап алучанлыгына тәэсир итәчәк.
Мәсәлән, кристалл кремнийда кремний атомнарының төрле кристалл ориентацияләрендә урнашуы төрлечә, һәм аларның реактивлыгы һәм эшкәртү газы белән эшкәртү тизлеге дә төрлечә булачак. Эшкәртү процессында, материал үзенчәлекләрендәге аермалар аркасында килеп чыккан эшкәртү тизлегенең төрле булуы, төрле урыннардагы ян диварларның эшкәртү тирәнлеген тотрыксыз итәчәк, нәтиҗәдә ян диварларның бөгелүенә китерәчәк.
Җиһазларга бәйле факторлар
Гравировка җиһазларының эшләве һәм торышы да гравировка нәтиҗәләренә мөһим йогынты ясый. Мәсәлән, реакция камерасында плазманың тигез булмавы һәм электродның тигез булмавы кебек проблемалар гравировка вакытында пластина өслегендә ион тыгызлыгы һәм энергия кебек параметрларның тигез булмавына китерергә мөмкин.
Моннан тыш, җиһазларның температура контроле тигез булмау һәм газ агымындагы бераз тирбәнешләр дә эшкәртүнең тигезлегенә тәэсир итә ала, бу исә ян стеналарның бөгелүенә китерергә мөмкин.
Бастырылган вакыты: 2024 елның 3 декабре