Enweghị otu ụdị nke bọmbụ ion
Akọrọịkụ iheỌ na-abụkarị usoro nke na-ejikọta mmetụta anụ ahụ na nke kemịkalụ, ebe bọmbụ ion bụ usoro dị mkpa maka ịkpụcha anụ ahụ.usoro ịcha ihe, akụkụ ihe merenụ na nkesa ike nke ions nwere ike ịbụ ihe na-adịghị nhata.
Ọ bụrụ na akụkụ ihe mberede ion dị iche na ọnọdụ dị iche iche na mgbidi, mmetụta ihe mgbawa nke ion na mgbidi akụkụ ga-adịkwa iche. N'ebe nwere nnukwu akụkụ ihe mberede ion, mmetụta ihe mgbawa nke ion na mgbidi akụkụ siri ike karị, nke ga-eme ka akụkụ akụkụ dị na mpaghara a kpụọ karịa, na-eme ka akụkụ akụkụ gbagọrọ agbagọ. Na mgbakwunye, nkesa na-adịghị mma nke ike ion ga-emepụtakwa mmetụta yiri ya. Ion nwere ike dị elu nwere ike iwepụ ihe ndị dị irè karịa, na-ebute enweghị nkwekọrịta.ịkụ iheogo nke akụkụ mgbidi ahụ n'ọnọdụ dị iche iche, nke na-eme ka akụkụ mgbidi ahụ gbagọọ agbagọ.
Mmetụta nke photoresist
Photoresist na-arụ ọrụ dị ka ihe mkpuchi ihu n'ịkpụcha ihe akọrọ, na-echebe ebe ndị na-adịghị mkpa ka a kpụcha ihe. Agbanyeghị, ihe na-egbochi ...
Ọ bụrụ na ọkpụrụkpụ nke fotoresist ahụ adịghị nhata, ọnụego oriri n'oge usoro ịkpụcha ihe anaghị adabara, ma ọ bụ njikọta dị n'etiti photoresist na substrate ahụ dị iche na ebe dị iche iche, ọ nwere ike ibute nchebe na-adịghị mma nke akụkụ akụkụ n'oge usoro ịkpụcha ihe ahụ. Dịka ọmụmaatụ, ebe nwere photoresist dị gịrịgịrị ma ọ bụ njikọ na-adịghị ike nwere ike ime ka ihe dị n'okpuru ya dịkwuo mfe ịkpụcha ihe ahụ, na-eme ka akụkụ akụkụ ahụ gbagọọ agbagọ n'ebe ndị a.
Ihe dị iche na ihe ndị dị na substrate
Ihe e ji ihe e ji ihe e ji ihe mee nke a kpụchara akpụ nwere ike inwe ihe dị iche iche, dịka nhazi kristal dị iche iche na ntinye doping n'ebe dị iche iche. Ọdịiche ndị a ga-emetụta ọsọ e ji ihe mee na nhọrọ e ji ihe mee.
Dịka ọmụmaatụ, na kristal silicon, nhazi nke atọm silicon n'ebe dị iche iche nke kristal dị iche iche dị iche, mmeghachi omume ha na ọsọ etching ha na gas etching ga-adịkwa iche. N'oge usoro etching, ọnụego etching dị iche iche nke ọdịiche dị na ihe onwunwe kpatara ga-eme ka omimi etching nke akụkụ dị iche iche na-adịghị agbanwe agbanwe, nke na-eduga na mgbagọ akụkụ.
Ihe ndị metụtara akụrụngwa
Arụmọrụ na ọnọdụ nke ngwa e ji eme ihe na-emetụtakwa nsonaazụ e ji eme ihe. Dịka ọmụmaatụ, nsogbu dịka nkesa plasma na-adịghị mma na ụlọ mmeghachi omume na iyi elektrọd na-adịghị mma nwere ike ibute nkesa paramita na-adịghị mma dịka njupụta ion na ike na elu wafer n'oge e ji eme ihe.
Tinyere nke ahụ, njikwa okpomọkụ na-adịghị mma nke akụrụngwa na obere mgbanwe na mmiri gas nwekwara ike imetụta otu esi ewepụ ihe, na-eduga na mgbagọ akụkụ mgbidi.
Oge ozi: Disemba-03-2024

