ເປັນຫຍັງຝາຂ້າງຈຶ່ງງໍໃນລະຫວ່າງການແກະສະຫຼັກແຫ້ງ?

ຄວາມບໍ່ສະໝໍ່າສະເໝີຂອງການຖິ້ມລະເບີດໄອອອນ

ແຫ້ງການແກະສະຫຼັກໂດຍປົກກະຕິແລ້ວແມ່ນຂະບວນການທີ່ລວມເອົາຜົນກະທົບທາງດ້ານຮ່າງກາຍ ແລະ ເຄມີເຂົ້າກັນ, ເຊິ່ງການຖິ້ມລະເບີດໄອອອນເປັນວິທີການແກະສະຫຼັກທາງກາຍະພາບທີ່ສຳຄັນ. ໃນລະຫວ່າງຂະບວນການແກະສະຫຼັກ, ມຸມຕົກกระทบ ແລະ ການແຈກຢາຍພະລັງງານຂອງໄອອອນອາດຈະບໍ່ສະໝໍ່າສະເໝີ.

ຖ້າມຸມຕົກຂອງໄອອອນແຕກຕ່າງກັນໃນຕຳແໜ່ງທີ່ແຕກຕ່າງກັນຢູ່ເທິງຝາຂ້າງ, ຜົນກະທົບຂອງການກັດຂອງໄອອອນຢູ່ເທິງຝາຂ້າງກໍ່ຈະແຕກຕ່າງກັນ. ໃນພື້ນທີ່ທີ່ມີມຸມຕົກຂອງໄອອອນໃຫຍ່ກວ່າ, ຜົນກະທົບຂອງການກັດຂອງໄອອອນຢູ່ເທິງຝາຂ້າງຈະແຮງກວ່າ, ເຊິ່ງຈະເຮັດໃຫ້ຝາຂ້າງໃນພື້ນທີ່ນີ້ຖືກກັດຫຼາຍຂຶ້ນ, ເຮັດໃຫ້ຝາຂ້າງງໍ. ນອກຈາກນັ້ນ, ການແຈກຢາຍພະລັງງານໄອອອນທີ່ບໍ່ສະເໝີພາບຍັງຈະສ້າງຜົນກະທົບທີ່ຄ້າຍຄືກັນ. ໄອອອນທີ່ມີພະລັງງານສູງກວ່າສາມາດກຳຈັດວັດສະດຸໄດ້ຢ່າງມີປະສິດທິພາບຫຼາຍຂຶ້ນ, ເຊິ່ງສົ່ງຜົນໃຫ້ເກີດຄວາມບໍ່ສອດຄ່ອງ.ການແກະສະຫຼັກອົງສາຂອງຝາຂ້າງໃນຕຳແໜ່ງທີ່ແຕກຕ່າງກັນ, ເຊິ່ງເຮັດໃຫ້ຝາຂ້າງງໍ.

ອິດທິພົນຂອງ photoresist

ສານໂຟໂຕຣີຊິດມີບົດບາດເປັນໜ້າກາກໃນການແກະສະຫຼັກແບບແຫ້ງ, ປົກປ້ອງພື້ນທີ່ທີ່ບໍ່ຈຳເປັນຕ້ອງແກະສະຫຼັກ. ຢ່າງໃດກໍຕາມ, ສານໂຟໂຕຣີຊິດຍັງໄດ້ຮັບຜົນກະທົບຈາກການລະເບີດຂອງພລາສມາ ແລະ ປະຕິກິລິຍາເຄມີໃນລະຫວ່າງຂະບວນການແກະສະຫຼັກ, ແລະ ປະສິດທິພາບຂອງມັນອາດມີການປ່ຽນແປງ.

ຖ້າຄວາມໜາຂອງໂຟໂຕຣີຊິດບໍ່ສະເໝີກັນ, ອັດຕາການໃຊ້ໃນລະຫວ່າງຂະບວນການແກະສະຫຼັກບໍ່ສອດຄ່ອງກັນ, ຫຼື ການຍຶດຕິດລະຫວ່າງໂຟໂຕຣີຊິດ ແລະ ຊັ້ນຮອງພື້ນແຕກຕ່າງກັນຢູ່ສະຖານທີ່ຕ່າງໆ, ມັນອາດຈະນໍາໄປສູ່ການປົກປ້ອງຝາຂ້າງທີ່ບໍ່ສະເໝີກັນໃນລະຫວ່າງຂະບວນການແກະສະຫຼັກ. ຕົວຢ່າງ, ພື້ນທີ່ທີ່ມີໂຟໂຕຣີຊິດບາງກວ່າ ຫຼື ການຍຶດຕິດທີ່ອ່ອນແອກວ່າອາດເຮັດໃຫ້ວັດສະດຸພື້ນຖານແກະສະຫຼັກໄດ້ງ່າຍຂຶ້ນ, ເຮັດໃຫ້ຝາຂ້າງງໍຢູ່ສະຖານທີ່ເຫຼົ່ານີ້.

ຄວາມແຕກຕ່າງໃນຄຸນສົມບັດຂອງວັດສະດຸພື້ນຖານ

ວັດສະດຸພື້ນຖານທີ່ຖືກແກະສະຫຼັກອາດມີຄຸນສົມບັດທີ່ແຕກຕ່າງກັນ, ເຊັ່ນ: ທິດທາງຂອງຜລຶກທີ່ແຕກຕ່າງກັນ ແລະ ຄວາມເຂັ້ມຂຸ້ນຂອງສານເສີມໃນພາກພື້ນຕ່າງໆ. ຄວາມແຕກຕ່າງເຫຼົ່ານີ້ຈະສົ່ງຜົນກະທົບຕໍ່ອັດຕາການແກະສະຫຼັກ ແລະ ການເລືອກເຟັ້ນຂອງການແກະສະຫຼັກ.
ຕົວຢ່າງ, ໃນຊິລິກອນຜລຶກ, ການຈັດລຽງຂອງອະຕອມຊິລິກອນໃນທິດທາງຜລຶກທີ່ແຕກຕ່າງກັນແມ່ນແຕກຕ່າງກັນ, ແລະ ປະຕິກິລິຍາ ແລະ ອັດຕາການກັດກ່ອນຂອງມັນກັບອາຍແກັສກັດກ່ອນກໍ່ຈະແຕກຕ່າງກັນ. ໃນລະຫວ່າງຂະບວນການກັດກ່ອນ, ອັດຕາການກັດກ່ອນທີ່ແຕກຕ່າງກັນທີ່ເກີດຈາກຄວາມແຕກຕ່າງຂອງຄຸນສົມບັດຂອງວັດສະດຸຈະເຮັດໃຫ້ຄວາມເລິກຂອງການກັດກ່ອນຂອງຝາຂ້າງຢູ່ຈຸດຕ່າງໆບໍ່ສອດຄ່ອງກັນ, ໃນທີ່ສຸດກໍ່ນຳໄປສູ່ການງໍຂອງຝາຂ້າງ.

ປັດໄຈທີ່ກ່ຽວຂ້ອງກັບອຸປະກອນ

ປະສິດທິພາບ ແລະ ສະຖານະພາບຂອງອຸປະກອນແກະສະຫຼັກຍັງມີຜົນກະທົບທີ່ສຳຄັນຕໍ່ຜົນຂອງການແກະສະຫຼັກ. ຕົວຢ່າງ, ບັນຫາຕ່າງໆເຊັ່ນ: ການແຈກຢາຍຂອງພລາສມາທີ່ບໍ່ສະເໝີພາບໃນຫ້ອງປະຕິກິລິຍາ ແລະ ການສວມໃສ່ຂອງເອເລັກໂຕຣດທີ່ບໍ່ສະເໝີພາບອາດຈະນຳໄປສູ່ການແຈກຢາຍພາລາມິເຕີທີ່ບໍ່ສະເໝີພາບເຊັ່ນ: ຄວາມໜາແໜ້ນຂອງໄອອອນ ແລະ ພະລັງງານເທິງໜ້າດິນເວເຟີໃນລະຫວ່າງການແກະສະຫຼັກ.

ນອກຈາກນັ້ນ, ການຄວບຄຸມອຸນຫະພູມທີ່ບໍ່ສະໝໍ່າສະເໝີຂອງອຸປະກອນ ແລະ ການປ່ຽນແປງເລັກນ້ອຍໃນການໄຫຼຂອງອາຍແກັສອາດຈະສົ່ງຜົນກະທົບຕໍ່ຄວາມເປັນເອກະພາບຂອງການແກະສະຫຼັກ, ເຊິ່ງນຳໄປສູ່ການບິດງໍຂອງຝາຂ້າງ.