Ohřívač s keramickým povlakem z karbidu křemíku

Vet-ChinaKeramika z karbidu křemíkuNátěr je vysoce výkonný ochranný povlak vyrobený z extrémně tvrdého a odolného materiálu proti opotřebení.karbid křemíku (SiC)materiál, který poskytuje vynikající chemickou odolnost proti korozi a stabilitu při vysokých teplotách. Tyto vlastnosti jsou klíčové při výrobě polovodičů, takžeKeramický povlak z karbidu křemíkuse široce používá v klíčových součástech zařízení pro výrobu polovodičů.

Specifická role Vet-ChinaKeramika z karbidu křemíkuPovrchová úprava při výrobě polovodičů probíhá následovně:

Zvyšte odolnost zařízení:Keramický povlak z karbidu křemíku Keramický povlak z karbidu křemíku poskytuje vynikající ochranu povrchu pro zařízení na výrobu polovodičů díky své extrémně vysoké tvrdosti a odolnosti proti opotřebení. Zejména v prostředí s vysokými teplotami a vysokou korozivními procesy, jako je chemické nanášení z plynné fáze (CVD) a plazmové leptání, může povlak účinně zabránit poškození povrchu zařízení chemickou erozí nebo fyzikálním opotřebením, čímž výrazně prodlužuje životnost zařízení a zkracuje prostoje způsobené častou výměnou a opravami.

Zlepšení čistoty procesu:V procesu výroby polovodičů může i drobná kontaminace způsobit vady produktu. Chemická inertnost keramického povlaku z karbidu křemíku mu umožňuje zůstat stabilní i za extrémních podmínek, čímž zabraňuje uvolňování částic nebo nečistot z materiálu, a tím zajišťuje environmentální čistotu procesu. To je obzvláště důležité pro výrobní kroky, které vyžadují vysokou přesnost a čistotu, jako je PECVD a iontová implantace.

Optimalizace tepelného řízení:Při vysokoteplotním zpracování polovodičů, jako je rychlé tepelné zpracování (RTP) a oxidační procesy, umožňuje vysoká tepelná vodivost keramického povlaku z karbidu křemíku rovnoměrné rozložení teploty uvnitř zařízení. To pomáhá snižovat tepelné namáhání a deformaci materiálu způsobenou kolísáním teploty, a tím zlepšuje přesnost a konzistenci výroby produktů.

Podpora komplexních procesních prostředí:V procesech, které vyžadují komplexní regulaci atmosféry, jako jsou leptání ICP a leptání PSS, zajišťuje stabilita a oxidační odolnost keramického povlaku z karbidu křemíku, že zařízení si udrží stabilní výkon i při dlouhodobém provozu, čímž se snižuje riziko degradace materiálu nebo poškození zařízení v důsledku změn prostředí.