ohun elo itutu ti a bo silikoni carbide

Àpèjúwe Kúkúrú:

Gẹ́gẹ́ bí olùpèsè àti olùpèsè ìbòrí ...


Àlàyé Ọjà

Àwọn àmì ọjà

Vet-ChinaSẹ́rámíkì Silikoni CarbideÀbò jẹ́ àbò ààbò tó lágbára tí a fi agbára líle àti ìdènà ìwúlò ṣe.silikoni carbide (SiC)ohun èlò náà, èyí tí ó pèsè ìdènà ìbàjẹ́ kẹ́míkà tí ó dára àti ìdúróṣinṣin ní iwọ̀n otútù gíga. Àwọn ànímọ́ wọ̀nyí ṣe pàtàkì nínú iṣẹ́ àgbékalẹ̀ semiconductor, nítorí náà,Àwọ̀ Seramiki Silikoni Carbideni a lo ni ibigbogbo ninu awọn paati pataki ti ẹrọ iṣelọpọ semiconductor.

Ipa pataki ti Vet-ChinaSẹ́rámíkì Silikoni CarbideAṣọ ti a fi bo ni iṣelọpọ semiconductor jẹ bi atẹle:

Mu agbara ẹrọ pọ si:Àwọ̀ Silikoni Carbide Aṣọ Silikoni Carbide Aṣọ Silikoni Carbide pese aabo oju ilẹ ti o tayọ fun awọn ẹrọ iṣelọpọ semiconductor pẹlu agbara giga ati resistance yiya rẹ. Paapa ni awọn agbegbe ilana ti o gbona ati ibajẹ pupọ, gẹgẹbi idabobo eefin kemikali (CVD) ati fifọ plasma, ideri naa le ṣe idiwọ oju ẹrọ naa lati bajẹ nipasẹ iparun kemikali tabi ibajẹ ti ara, nitorinaa o mu igbesi aye iṣẹ ti ẹrọ naa pọ si ati dinku akoko isinmi ti rirọpo ati atunṣe loorekoore fa.

Mu mimọ ilana dara si:Nínú iṣẹ́ ṣíṣe semiconductor, ìbàjẹ́ díẹ̀ lè fa àbùkù ọjà. Àìlera kẹ́míkà ti Silicon Carbide Ceramic Coating jẹ́ kí ó dúró ṣinṣin lábẹ́ àwọn ipò tó le koko, ó ń dènà ohun èlò náà láti tú àwọn èròjà tàbí àwọn ohun ìdọ̀tí jáde, èyí sì ń rí i dájú pé àyíká ni iṣẹ́ náà mọ́ tónítóní. Èyí ṣe pàtàkì gan-an fún ṣíṣe àwọn ìgbésẹ̀ tí ó nílò ìṣètò gíga àti ìmọ́tótó gíga, bíi PECVD àti ion implantation.

Mu iṣakoso ooru dara si:Nínú iṣẹ́ àgbékalẹ̀ semikondokito oníwọ̀n otútù gíga, bíi iṣẹ́ àgbékalẹ̀ ooru kíákíá (RTP) àti iṣẹ́ ìfọ́mọ́, agbára ìfọ́mọ́ ooru gíga ti Silicon Carbide Ceramic Coating ń jẹ́ kí ìpínkiri iwọn otutu kan náà wà nínú ẹ̀rọ náà. Èyí ń ran lọ́wọ́ láti dín wahala ooru àti ìyípadà ohun èlò tí ó ń fa ìyípadà iwọn otutu kù, èyí sì ń mú kí iṣẹ́ àgbékalẹ̀ ọjà dára síi àti ìdúróṣinṣin.

Ṣe atilẹyin awọn agbegbe ilana ti o nira:Nínú àwọn ìlànà tí ó nílò ìṣàkóso afẹ́fẹ́ líle koko, bí i ìfọ́ ICP àti àwọn ìlànà ìfọ́ PSS, ìdúróṣinṣin àti ìdènà oxidation ti Silicon Carbide Ceramic Coating rí i dájú pé ohun èlò náà ń ṣiṣẹ́ dáadáa nígbà tí ó bá ń ṣiṣẹ́ fún ìgbà pípẹ́, èyí tí ó ń dín ewu ìbàjẹ́ ohun èlò tàbí ìbàjẹ́ ohun èlò kù nítorí àwọn àyípadà àyíká.

Ibora seramiki silikoni carbide
Ohun èlò ìgbóná graphite (4)

CVD SiC薄膜基本物理性能

Awọn ohun-ini ti ara ipilẹ ti CVD SiCibora

性质 / Ohun-ini

典型数值 / Iye deede

晶体结构 / Ìṣètò Kírísítà

Ìpele FCC β多晶,主要为(111)取向

密度 / Ìwọ̀n

3.21 g/cm³

硬度 / Líle

2500 维氏硬度 (ẹrù 500g)

晶粒大小 / Iwọn ọkà

2 ~ 10μm

纯度 / Ìmọ́tótó Kẹ́míkà

99.99995%

热容 / Agbara Ooru

640 J·kg-1·K-1

升华温度 / Iwọn otutu sublimation

2700℃

抗弯强度 / Agbára Rírọ̀

415 MPa RT 4-point

杨氏模量 / Modulu Young

430 GPA 4pt tẹ, 1300℃

导热系数 / ThermalÌgbékalẹ̀ ìṣiṣẹ́

300W·m-1·K-1

热膨胀系数 / Ìfàsẹ́yìn Ooru (CTE)

4.5×10-6K-1

1

2

Ẹ kí yin káàbọ̀ pẹ̀lú ayọ̀ láti wá sí ilé iṣẹ́ wa, ẹ jẹ́ kí a tún jíròrò rẹ̀!

 

生产设备

 

公司客户

 


  • Ti tẹlẹ:
  • Itele:

  • Iwiregbe lori ayelujara WhatsApp!