szilícium-karbid kerámia bevonatú fűtőberendezés

Vet-KínaSzilícium-karbid kerámiaA bevonat egy nagy teljesítményű védőbevonat, amely rendkívül kemény és kopásálló anyagból készültszilícium-karbid (SiC)anyag, amely kiváló kémiai korrózióállóságot és magas hőmérsékleti stabilitást biztosít. Ezek a tulajdonságok kulcsfontosságúak a félvezetőgyártásban, ígySzilícium-karbid kerámia bevonatszéles körben használják a félvezetőgyártó berendezések kulcsfontosságú alkatrészeiben.

A Vet-China sajátos szerepeSzilícium-karbid kerámiaA félvezetőgyártásban a bevonatolás a következő:

Növelje a berendezések tartósságát:Szilícium-karbid kerámia bevonat A szilícium-karbid kerámia bevonat kiváló felületvédelmet biztosít a félvezetőgyártó berendezések számára rendkívül nagy keménységével és kopásállóságával. Különösen magas hőmérsékletű és erősen korrozív folyamatkörnyezetekben, mint például a kémiai gőzfázisú leválasztás (CVD) és a plazmamaratás, a bevonat hatékonyan megakadályozza a berendezés felületének kémiai erózió vagy fizikai kopás okozta károsodását, ezáltal jelentősen meghosszabbítva a berendezés élettartamát és csökkentve a gyakori csere és javítás okozta állásidőt.

A folyamat tisztaságának javítása:A félvezetőgyártási folyamat során a legapróbb szennyeződések is termékhibákat okozhatnak. A szilícium-karbid kerámia bevonat kémiai inertsége lehetővé teszi, hogy szélsőséges körülmények között is stabil maradjon, megakadályozva a részecskék vagy szennyeződések kibocsátását az anyagból, ezáltal biztosítva a folyamat környezeti tisztaságát. Ez különösen fontos a nagy pontosságot és tisztaságot igénylő gyártási lépéseknél, mint például a PECVD és az ionimplantáció.

Optimalizálja a hőkezelést:A magas hőmérsékletű félvezető-feldolgozás, például a gyors hőkezelés (RTP) és az oxidációs folyamatok során a szilícium-karbid kerámia bevonat magas hővezető képessége lehetővé teszi az egyenletes hőmérséklet-eloszlást a berendezésen belül. Ez segít csökkenteni a hőmérséklet-ingadozások okozta hőfeszültséget és anyagdeformációt, ezáltal javítva a termékgyártás pontosságát és állandóságát.

Komplex folyamatkörnyezetek támogatása:Az olyan komplex légkörszabályozást igénylő folyamatokban, mint az ICP maratás és a PSS maratás, a szilícium-karbid kerámia bevonat stabilitása és oxidációs ellenállása biztosítja, hogy a berendezés hosszú távú üzemben is stabil teljesítményt nyújtson, csökkentve az anyagromlás vagy a berendezés károsodásának kockázatát a környezeti változások miatt.