fa'avevela ufiufi seramika silicon carbide

Fa'amatalaga Pupuu:

I le avea ai ma se kamupani gaosi ma se fa'atau'oloa fa'apolofesa o le Silicon Carbide Ceramic Coating i Saina, o le Vet-China's Silicon Carbide Ceramic Coating e fa'aaogaina lautele i vaega autu o masini gaosi semiconductor, aemaise lava pe a aofia ai faiga CVD ma PECVD. E fa'apitoa le Vet-China i le gaosiga ma le sapalaiina o le Silicon Carbide Ceramic Coating e maualuga le fa'atinoga, ma ua tautino atu e tu'uina atu tekonolosi fa'aonaponei ma fofo oloa mo le alamanuia semiconductor. Talia au fesili.


Fa'amatalaga o le oloa

Fa'ailoga o Oloa

Foma'i manu SainaSeramika Silicon CarbideO le ufiufi o se ufiufi puipui maualuga le faatinoga e faia i mea e matua malo ma e tete'e atu i le ofuina.silicon carbide (SiC)meafaitino, lea e maua ai le tete'e lelei tele i le 'ele o vaila'au ma le mautu i le vevela maualuga. O nei uiga e taua tele i le gaosiga o semiconductor, o leaUfiufi Seramika Silicon Carbidee faʻaaogaina lautele i vaega autū o masini gaosi semiconductor.

O le matafaioi patino a Vet-ChinaSeramika Silicon CarbideO le ufiufi i le gaosiga o semiconductor e faʻapea:

Fa'aleleia le tumau o meafaigaluega:Ufiufi Seramika Silicon Carbide E maua ai e le Ufiufi Seramika Silicon Carbide le puipuiga sili ona lelei mo masini gaosi semiconductor ona o lona malosi tele ma le tete'e atu i le ofuina. Aemaise lava i siosiomaga o faiga e maualuga le vevela ma le 'ele'elea, e pei o le fa'aputuina o le ausa kemikolo (CVD) ma le etching plasma, e mafai e le ufiufi ona puipuia lelei le fa'aleagaina o le luga o le masini ona o le soloia o vaila'au po'o le ofuina fa'aletino, ma fa'alauteleina ai le umi o le tautua o le masini ma fa'aitiitia ai le taimi e le toe fa'aaogaina ona o le sui soo ma le toe fa'aleleia.

Fa'aleleia le mama o le fa'agasologa:I le faagasologa o le gaosiga o semiconductor, o mea leaga laiti e ono mafua ai ni faaletonu o oloa. O le le gaoioi o vailaʻau o le Silicon Carbide Ceramic Coating e mafai ai ona tumau le mautu i lalo o tulaga faigata, e taofia ai le meafaitino mai le faʻasaʻolotoina o ni vaega poʻo ni mea leaga, ma faʻamautinoa ai le mama o le siosiomaga o le faagasologa. E taua tele lenei mea mo laʻasaga gaosiga e manaʻomia ai le saʻo ma le mama maualuga, e pei o le PECVD ma le faʻapipiʻiina o le ion.

Fa'aleleia le pulega o le vevela:I le fa'agasologa o semiconductor i le vevela maualuga, e pei o le fa'agasologa vave o le vevela (RTP) ma fa'agasologa o le oxidation, o le maualuga o le thermal conductivity o le Silicon Carbide Ceramic Coating e mafai ai ona tufatufaina tutusa le vevela i totonu o le masini. E fesoasoani lea e fa'aitiitia ai le atuatuvale o le vevela ma le fa'aleagaina o meafaitino e mafua mai i le fesuisuia'i o le vevela, ma fa'aleleia atili ai le sa'o ma le tutusa o le gaosiga o oloa.

Lagolagoina siosiomaga faigata o faiga:I faiga e manaʻomia ai le puleaina faigata o le ea, e pei o le ICP etching ma le PSS etching processes, o le mautu ma le teteʻe atu i le oxidation o le Silicon Carbide Ceramic Coating e faʻamautinoa ai o loʻo faʻatumauina e le masini le mautu o lana faʻatinoga i le faʻagaioiga mo se taimi umi, ma faʻaitiitia ai le lamatiaga o le faʻaleagaina o meafaitino poʻo le faʻaleagaina o masini ona o suiga i le siosiomaga.

ufiufi seramika silicon carbide
Fa'avevela kalafi (4)

CVD SiC薄膜基本物理性能

Uiga faaletino faavae o le CVD SiCufiufi

性质 / Meatotino

典型数值 / Taua Masani

晶体结构 / Fausaga o le Kilisitala

Vaega β o le FCC多晶,主要为(111)取向

密度 / Mafiafia

3.21 kalama/cm³

硬度 / Faigata

2500 维氏硬度(500g uta)

晶粒大小 / Tele o le saito

2~10μm

纯度 / Mamā Fa'akemikolo

99.99995%

热容 / Malosiaga o le Vevela

640 J·kg-1·K-1

升华温度 / Vevela o le Sublimation

2700℃

抗弯强度 / Malosiaga Fa'alava

415 MPa RT 4-point

杨氏模量 / Modulus a Young

430 Gpa 4pt pi'o, 1300℃

导热系数 / ThermalAmioga

300W·m-1·K-1

热膨胀系数 / Fa'alauteleina o le Vevela (CTE)

4.5×10-6K-1

1

2

Faafeiloa'i atu ma le agalelei oe e asiasi mai i la matou fale gaosimea, se'i o tatou faia nisi talanoaga!

 

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