וטרינר-סיןסיליקון קרביד קרמיציפוי הוא ציפוי מגן בעל ביצועים גבוהים העשוי מחומר קשיח ועמיד במיוחד בפני שחיקהסיליקון קרביד (SiC)חומר, המספק עמידות מעולה בפני קורוזיה כימית ויציבות בטמפרטורה גבוהה. מאפיינים אלה חיוניים בייצור מוליכים למחצה, כךציפוי קרמי מסיליקון קרבידנמצא בשימוש נרחב ברכיבים מרכזיים של ציוד לייצור מוליכים למחצה.
התפקיד הספציפי של Vet-Chinaסיליקון קרביד קרמיציפוי בייצור מוליכים למחצה הוא כדלקמן:
שיפור עמידות הציוד:ציפוי קרמי מסיליקון קרביד ציפוי קרמי מסיליקון קרביד מספק הגנה מצוינת על פני השטח לציוד לייצור מוליכים למחצה בזכות קשיות גבוהה ועמידות בפני שחיקה. במיוחד בסביבות תהליך בטמפרטורה גבוהה ובקורוזיביות גבוהה, כגון שקיעת אדים כימית (CVD) וחריטת פלזמה, הציפוי יכול למנוע ביעילות נזק לפני השטח של הציוד עקב שחיקה כימית או בלאי פיזי, ובכך להאריך משמעותית את חיי הציוד ולהפחית את זמן ההשבתה הנגרם עקב החלפה ותיקון תכופים.
שיפור טוהר התהליך:בתהליך ייצור מוליכים למחצה, זיהום זעיר עלול לגרום לפגמים במוצר. האינרטיות הכימית של ציפוי קרמי סיליקון קרביד מאפשרת לו להישאר יציב בתנאים קיצוניים, ומונע מהחומר לשחרר חלקיקים או זיהומים, ובכך מבטיח את טוהר הסביבה של התהליך. זה חשוב במיוחד עבור שלבי ייצור הדורשים דיוק גבוה וניקיון גבוה, כגון PECVD והשתלת יונים.
אופטימיזציה של ניהול תרמי:בעיבוד מוליכים למחצה בטמפרטורה גבוהה, כגון עיבוד תרמי מהיר (RTP) ותהליכי חמצון, המוליכות התרמית הגבוהה של ציפוי קרמי מסיליקון קרביד מאפשרת פיזור טמפרטורה אחיד בתוך הציוד. זה מסייע בהפחתת מאמץ תרמי ועיוות חומר הנגרמים מתנודות טמפרטורה, ובכך משפר את דיוק ועקביות ייצור המוצר.
תמיכה בסביבות תהליכים מורכבות:בתהליכים הדורשים בקרת אטמוספרה מורכבת, כגון תהליכי איכול ICP ואיטוב PSS, היציבות ועמידות החמצון של ציפוי קרמי סיליקון קרביד מבטיחים שהציוד ישמור על ביצועים יציבים בפעולה ארוכת טווח, ומפחיתים את הסיכון להידרדרות חומרים או נזק לציוד עקב שינויים סביבתיים.
| מחלות לב וכלי דם SiC薄膜基本物理性能 תכונות פיזיקליות בסיסיות של CVD SiCשִׁכבָה | |
| 性质 / נכס | 典型数值 / ערך טיפוסי |
| 晶体结构 מבנה גבישי | שלב β של FCC多晶，主要为（111）取向 |
| 密度 צפיפות | 3.21 גרם/סמ"ק |
| 硬度 קשיות | 2500 维氏硬度（עומס של 500 גרם） |
| 晶粒大小 גודל גרגרים | 2~10 מיקרומטר |
| 纯度 טוהר כימי | 99.99995% |
| 热容 קיבולת חום | 640 ג'ול·ק"ג-1·K-1 |
| 升华温度 טמפרטורת סובלימציה | 2700 ℃ |
| 抗弯强度 חוזק כיפוף | 415 מגה פסקל RT 4 נקודות |
| 杨氏模量 מודול יאנג | כיפוף 430 Gpa 4pt, 1300℃ |
| 导热系数 / תרמהלמוֹלִיכוּת | 300 וואט·מטר-1·K-1 |
| 热膨胀系数 התפשטות תרמית (CTE) | 4.5×10-6K-1 |
מברכים אותך בחום לבקר במפעל שלנו, בואו נדבר עוד!
