ceramika tegaĵa hejtilo de siliciokarbido

Vet-ĈinioSilicia Karbido CeramikaTegaĵo estas alt-efikeca protekta tegaĵo farita el ekstreme malmola kaj eluziĝ-rezistasiliciokarbido (SiC)materialo, kiu provizas bonegan kemian korodreziston kaj alttemperaturan stabilecon. Ĉi tiuj karakterizaĵoj estas esencaj en duonkonduktaĵa produktado, doSiliciokarbida Ceramika Tegaĵoestas vaste uzata en ŝlosilaj komponantoj de semikonduktaĵaj fabrikadekipaĵoj.

La specifa rolo de Vet-ChinaSilicia Karbido CeramikaTegaĵo en duonkonduktaĵa produktado estas jena:

Plibonigu la daŭripovon de ekipaĵo:Siliciokarbida Ceramika Tegaĵo Siliciokarbida Ceramika Tegaĵo provizas bonegan surfacan protekton por semikonduktaĵaj fabrikadaj ekipaĵoj pro sia ekstreme alta malmoleco kaj eluziĝrezisto. Precipe en alttemperaturaj kaj tre korodaj procezmedioj, kiel kemia vapora deponado (CVD) kaj plasma gravurado, la tegaĵo povas efike malhelpi la surfacon de la ekipaĵo difektiĝi per kemia erozio aŭ fizika eluziĝo, tiel signife plilongigante la servodaŭron de la ekipaĵo kaj reduktante la malfunkcitempon kaŭzitan de oftaj anstataŭigoj kaj riparoj.

Plibonigu la purecon de la procezo:En la fabrikada procezo de duonkonduktaĵoj, eta poluado povas kaŭzi produktajn difektojn. La kemia inerteco de la ceramika tegaĵo el silicikarbido permesas al ĝi resti stabila sub ekstremaj kondiĉoj, malhelpante la materialon liberigi partiklojn aŭ malpuraĵojn, tiel certigante la median purecon de la procezo. Ĉi tio estas precipe grava por fabrikadaj paŝoj, kiuj postulas altan precizecon kaj altan purecon, kiel ekzemple PECVD kaj jona implantado.

Optimumigu termikan administradon:En alt-temperaturaj duonkonduktaĵaj prilaboradoj, kiel ekzemple rapida termika prilaborado (RTP) kaj oksidigaj procezoj, la alta termika konduktiveco de siliciokarbida ceramika tegaĵo ebligas unuforman temperaturdistribuon ene de la ekipaĵo. Ĉi tio helpas redukti termikan streĉon kaj materialan deformadon kaŭzitan de temperaturfluktuoj, tiel plibonigante la precizecon kaj konsistencon de produktofabrikado.

Subtenu kompleksajn procezajn mediojn:En procezoj kiuj postulas kompleksan atmosfero-kontrolon, kiel ekzemple ICP-gravurado kaj PSS-gravurado, la stabileco kaj oksidiĝrezisto de Silicio-Karbida Ceramika Tegaĵo certigas, ke la ekipaĵo konservas stabilan funkciadon dum longdaŭra funkciado, reduktante la riskon de materiala degenero aŭ ekipaĵa difekto pro mediaj ŝanĝoj.