Dokter Hewan-CinaKeramik Silikon KarbidaPalapis nyaéta palapis pelindung kinerja tinggi anu didamel tina bahan anu atos pisan sareng tahan aussilikon karbida (SiC)bahan, anu nyayogikeun résistansi korosi kimia anu saé sareng stabilitas suhu luhur. Ciri-ciri ieu penting pisan dina produksi semikonduktor, jantenLapisan Keramik Silikon Karbidaloba dipaké dina komponén konci alat manufaktur semikonduktor.
Peran khusus Vet-ChinaKeramik Silikon KarbidaPalapis dina produksi semikonduktor nyaéta sapertos kieu:
Ningkatkeun daya tahan alat:Lapisan Keramik Silikon Karbida Lapisan Keramik Silikon Karbida nyayogikeun panyalindungan permukaan anu saé pisan pikeun peralatan manufaktur semikonduktor kalayan karasana sareng résistansi aus anu luhur pisan. Utamana dina lingkungan prosés suhu luhur sareng korosif anu luhur, sapertos déposisi uap kimia (CVD) sareng etsa plasma, lapisan ieu tiasa sacara efektif nyegah permukaan peralatan tina karusakan ku erosi kimia atanapi aus fisik, sahingga sacara signifikan manjangkeun umur layanan peralatan sareng ngirangan downtime anu disababkeun ku sering ngaganti sareng ngalereskeun.
Ningkatkeun kamurnian prosés:Dina prosés manufaktur semikonduktor, kontaminasi leutik tiasa nyababkeun cacad produk. Inertitas kimiawi Lapisan Keramik Silikon Karbida ngamungkinkeun éta tetep stabil dina kaayaan ekstrim, nyegah bahan ngaleupaskeun partikel atanapi kokotor, sahingga mastikeun kamurnian lingkungan tina prosés éta. Ieu penting pisan pikeun léngkah-léngkah manufaktur anu meryogikeun presisi anu luhur sareng kabersihan anu luhur, sapertos PECVD sareng implantasi ion.
Optimalkeun manajemen termal:Dina pamrosésan semikonduktor suhu luhur, sapertos pamrosésan termal gancang (RTP) sareng prosés oksidasi, konduktivitas termal anu luhur tina Lapisan Keramik Silikon Karbida ngamungkinkeun distribusi suhu anu seragam di jero alat. Ieu ngabantosan ngirangan setrés termal sareng deformasi bahan anu disababkeun ku fluktuasi suhu, sahingga ningkatkeun akurasi sareng konsistensi manufaktur produk.
Ngarojong lingkungan prosés anu rumit:Dina prosés anu meryogikeun kontrol atmosfir anu rumit, sapertos prosés étsa ICP sareng étsa PSS, stabilitas sareng résistansi oksidasi Lapisan Keramik Silikon Karbida mastikeun yén alat-alat ngajaga kinerja anu stabil dina operasi jangka panjang, ngirangan résiko degradasi bahan atanapi karusakan alat kusabab parobahan lingkungan.
| CVD (Panyakit Jantung jeung Lambung) SiC薄膜基本物理性能 Sipat fisik dasar CVD SiCpalapis | |
| 性质 / Harta | 典型数值 / Nilai Khas |
| 晶体结构 / Struktur Kristal | Fase β FCC多晶，主要为（111）取向 |
| 密度 / Kapadetan | 3,21 g/cm³ |
| 硬度 / Karasa | 2500 维氏硬度（500g beban） |
| 晶粒大小 / Ukuran Gandum | 2 ~ 10μm |
| 纯度 / Kamurnian Kimia | 99.99995% |
| 热容 / Kapasitas Panas | 640 J·kg-1·K-1 |
| 升华温度 / Suhu Sublimasi | 2700℃ |
| 抗弯强度 / Kakuatan Fleksibel | 415 MPa RT 4-titik |
| 杨氏模量 / Modulus Young | 430 Gpa 4pt tikungan, 1300℃ |
| 导热系数 / TermalKonduktivitas | 300W·m-1·K-1 |
| 热膨胀系数 / Ékspansi Termal (CTE) | 4.5×10-6K-1 |
Wilujeng sumping ka pabrik kami, hayu urang diskusi salajengna!
