සිලිකන් කාබයිඩ් සෙරමික් ආලේපන තාපකය

චීන වෙට්සිලිකන් කාබයිඩ් සෙරමික්ආලේපනය යනු අතිශයින්ම දෘඩ හා ඇඳීමට ඔරොත්තු දෙන ද්‍රව්‍ය වලින් සාදන ලද ඉහළ කාර්යසාධනයක් සහිත ආරක්ෂිත ආලේපනයකි.සිලිකන් කාබයිඩ් (SiC)විශිෂ්ට රසායනික විඛාදන ප්‍රතිරෝධයක් සහ ඉහළ උෂ්ණත්ව ස්ථායිතාවයක් සපයන ද්‍රව්‍ය. අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනයේදී මෙම ලක්ෂණ ඉතා වැදගත් වේ, එබැවින්සිලිකන් කාබයිඩ් සෙරමික් ආලේපනයඅර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදන උපකරණවල ප්‍රධාන සංරචකවල බහුලව භාවිතා වේ.

Vet-China හි නිශ්චිත කාර්යභාරයසිලිකන් කාබයිඩ් සෙරමික්අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනයේ ආලේපනය පහත පරිදි වේ:

උපකරණ කල්පැවැත්ම වැඩි දියුණු කිරීම:සිලිකන් කාබයිඩ් සෙරමික් ආලේපනය සිලිකන් කාබයිඩ් සෙරමික් ආලේපනය එහි අතිශය ඉහළ දෘඪතාව සහ ඇඳුම් ප්‍රතිරෝධය සමඟ අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදන උපකරණ සඳහා විශිෂ්ට මතුපිට ආරක්ෂාවක් සපයයි. විශේෂයෙන් රසායනික වාෂ්ප තැන්පත් වීම (CVD) සහ ප්ලාස්මා කැටයම් කිරීම වැනි ඉහළ උෂ්ණත්ව සහ අධික විඛාදන ක්‍රියාවලි පරිසරයන්හිදී, ආලේපනය රසායනික ඛාදනය හෝ භෞතික ඇඳුම් ඇඳීමෙන් උපකරණවල මතුපිටට හානි වීම ඵලදායී ලෙස වළක්වා ගත හැකි අතර, එමඟින් උපකරණවල සේවා කාලය සැලකිය යුතු ලෙස දීර්ඝ කරන අතර නිතර නිතර ප්‍රතිස්ථාපනය කිරීම සහ අලුත්වැඩියා කිරීම නිසා ඇතිවන අක්‍රිය කාලය අඩු කරයි.

ක්‍රියාවලි සංශුද්ධතාවය වැඩි දියුණු කරන්න:අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදන ක්‍රියාවලියේදී, කුඩා දූෂණයක් නිෂ්පාදන දෝෂ ඇති කළ හැකිය. සිලිකන් කාබයිඩ් සෙරමික් ආලේපනයේ රසායනික නිෂ්ක්‍රීයභාවය නිසා එය ආන්තික තත්වයන් යටතේ ස්ථායීව සිටීමට ඉඩ සලසයි, ද්‍රව්‍ය අංශු හෝ අපද්‍රව්‍ය මුදා හැරීම වළක්වයි, එමඟින් ක්‍රියාවලියේ පාරිසරික සංශුද්ධතාවය සහතික කෙරේ. PECVD සහ අයන බද්ධ කිරීම වැනි ඉහළ නිරවද්‍යතාවයක් සහ ඉහළ පිරිසිදුකමක් අවශ්‍ය වන නිෂ්පාදන පියවර සඳහා මෙය විශේෂයෙන් වැදගත් වේ.

තාප කළමනාකරණය ප්‍රශස්ත කරන්න:වේගවත් තාප සැකසුම් (RTP) සහ ඔක්සිකරණ ක්‍රියාවලීන් වැනි ඉහළ-උෂ්ණත්ව අර්ධ සන්නායක සැකසුම් වලදී, සිලිකන් කාබයිඩ් සෙරමික් ආලේපනයේ ඉහළ තාප සන්නායකතාවය උපකරණ තුළ ඒකාකාර උෂ්ණත්ව ව්‍යාප්තිය සක්‍රීය කරයි. මෙය උෂ්ණත්ව උච්චාවචනයන් නිසා ඇතිවන තාප ආතතිය සහ ද්‍රව්‍ය විරූපණය අඩු කිරීමට උපකාරී වන අතර එමඟින් නිෂ්පාදන නිෂ්පාදන නිරවද්‍යතාවය සහ අනුකූලතාව වැඩි දියුණු කරයි.

සංකීර්ණ ක්‍රියාවලි පරිසරයන්ට සහාය වීම:ICP කැටයම් කිරීම සහ PSS කැටයම් කිරීමේ ක්‍රියාවලීන් වැනි සංකීර්ණ වායුගෝලීය පාලනයක් අවශ්‍ය වන ක්‍රියාවලීන්හිදී, සිලිකන් කාබයිඩ් සෙරමික් ආලේපනයේ ස්ථායිතාව සහ ඔක්සිකරණ ප්‍රතිරෝධය මඟින් උපකරණ දිගුකාලීන ක්‍රියාකාරිත්වයේ දී ස්ථාවර කාර්ය සාධනයක් පවත්වා ගෙන යන බව සහතික කරයි, පාරිසරික වෙනස්කම් හේතුවෙන් ද්‍රව්‍යමය හායනය හෝ උපකරණ හානි වීමේ අවදානම අඩු කරයි.