Grijač sa keramičkim premazom od silicijum karbida

Vet-KinaSilicijum karbidna keramikaPremaz je visokoefikasan zaštitni premaz napravljen od izuzetno tvrdog i otpornog na habanje materijala.silicijum karbid (SiC)materijal, koji pruža odličnu otpornost na hemijsku koroziju i stabilnost na visokim temperaturama. Ove karakteristike su ključne u proizvodnji poluprovodnika, tako daKeramički premaz od silicijum karbidaŠiroko se koristi u ključnim komponentama opreme za proizvodnju poluprovodnika.

Specifična uloga Vet-China-aSilicijum karbidna keramikaPremazivanje u proizvodnji poluprovodnika je sljedeće:

Poboljšajte izdržljivost opreme:Keramički premaz od silicijum karbida Keramički premaz od silicijum karbida pruža odličnu zaštitu površine opreme za proizvodnju poluprovodnika zahvaljujući izuzetno visokoj tvrdoći i otpornosti na habanje. Posebno u okruženjima sa visokim temperaturama i visoko korozivnim procesima, kao što su hemijsko taloženje iz pare (CVD) i plazma nagrizanje, premaz može efikasno spriječiti oštećenje površine opreme hemijskom erozijom ili fizičkim habanjem, čime se značajno produžava vijek trajanja opreme i smanjuje vrijeme zastoja uzrokovano čestim zamjenama i popravkama.

Poboljšajte čistoću procesa:U procesu proizvodnje poluprovodnika, i najmanja kontaminacija može uzrokovati nedostatke proizvoda. Hemijska inertnost keramičkog premaza od silicijum karbida omogućava mu da ostane stabilan u ekstremnim uslovima, sprečavajući materijal da oslobađa čestice ili nečistoće, čime se osigurava ekološka čistoća procesa. Ovo je posebno važno za proizvodne korake koji zahtijevaju visoku preciznost i visoku čistoću, kao što su PECVD i implantacija jona.

Optimizirajte upravljanje temperaturom:U visokotemperaturnoj obradi poluprovodnika, kao što su brza termička obrada (RTP) i procesi oksidacije, visoka toplotna provodljivost keramičkog premaza od silicijum karbida omogućava ravnomjernu raspodjelu temperature unutar opreme. To pomaže u smanjenju termičkog naprezanja i deformacije materijala uzrokovane temperaturnim fluktuacijama, čime se poboljšava tačnost i konzistentnost proizvodnje proizvoda.

Podrška kompleksnim procesnim okruženjima:U procesima koji zahtijevaju složenu kontrolu atmosfere, kao što su ICP i PSS procesi nagrizanja, stabilnost i otpornost na oksidaciju silicijum-karbidnog keramičkog premaza osiguravaju da oprema održava stabilne performanse u dugotrajnom radu, smanjujući rizik od degradacije materijala ili oštećenja opreme zbog promjena u okolini.