সিলিকন কার্বাইড সিরামিক লেপ হিটার

ভেট-চায়নাসিলিকন কার্বাইড সিরামিকআবরণ হল একটি উচ্চ-কার্যক্ষমতাসম্পন্ন প্রতিরক্ষামূলক আবরণ যা অত্যন্ত শক্ত এবং পরিধান-প্রতিরোধী দিয়ে তৈরিসিলিকন কার্বাইড (SiC)উপাদান, যা চমৎকার রাসায়নিক জারা প্রতিরোধ ক্ষমতা এবং উচ্চ-তাপমাত্রার স্থিতিশীলতা প্রদান করে। এই বৈশিষ্ট্যগুলি অর্ধপরিবাহী উৎপাদনে অত্যন্ত গুরুত্বপূর্ণ, তাইসিলিকন কার্বাইড সিরামিক আবরণসেমিকন্ডাক্টর উৎপাদন সরঞ্জামের মূল উপাদানগুলিতে ব্যাপকভাবে ব্যবহৃত হয়।

ভেট-চায়নার নির্দিষ্ট ভূমিকাসিলিকন কার্বাইড সিরামিকঅর্ধপরিবাহী উৎপাদনে আবরণ নিম্নরূপ:

সরঞ্জামের স্থায়িত্ব বৃদ্ধি করুন:সিলিকন কার্বাইড সিরামিক আবরণ সিলিকন কার্বাইড সিরামিক আবরণ তার অত্যন্ত উচ্চ কঠোরতা এবং পরিধান প্রতিরোধের সাথে সেমিকন্ডাক্টর উত্পাদন সরঞ্জামের জন্য চমৎকার পৃষ্ঠ সুরক্ষা প্রদান করে। বিশেষ করে উচ্চ-তাপমাত্রা এবং অত্যন্ত ক্ষয়কারী প্রক্রিয়া পরিবেশে, যেমন রাসায়নিক বাষ্প জমা (CVD) এবং প্লাজমা এচিং, আবরণ কার্যকরভাবে রাসায়নিক ক্ষয় বা শারীরিক পরিধান দ্বারা সরঞ্জামের পৃষ্ঠকে ক্ষতিগ্রস্ত হওয়া থেকে রোধ করতে পারে, যার ফলে সরঞ্জামের পরিষেবা জীবন উল্লেখযোগ্যভাবে প্রসারিত হয় এবং ঘন ঘন প্রতিস্থাপন এবং মেরামতের কারণে ডাউনটাইম হ্রাস পায়।

প্রক্রিয়া বিশুদ্ধতা উন্নত করুন:সেমিকন্ডাক্টর উৎপাদন প্রক্রিয়ায়, ক্ষুদ্র দূষণ পণ্যের ত্রুটি সৃষ্টি করতে পারে। সিলিকন কার্বাইড সিরামিক আবরণের রাসায়নিক জড়তা এটিকে চরম পরিস্থিতিতে স্থিতিশীল রাখতে সাহায্য করে, উপাদানটিকে কণা বা অমেধ্য নির্গত হতে বাধা দেয়, যার ফলে প্রক্রিয়াটির পরিবেশগত বিশুদ্ধতা নিশ্চিত হয়। এটি বিশেষ করে PECVD এবং আয়ন ইমপ্লান্টেশনের মতো উচ্চ নির্ভুলতা এবং উচ্চ পরিচ্ছন্নতার প্রয়োজন এমন উৎপাদন পদক্ষেপগুলির জন্য গুরুত্বপূর্ণ।

তাপ ব্যবস্থাপনা অপ্টিমাইজ করুন:উচ্চ-তাপমাত্রার অর্ধপরিবাহী প্রক্রিয়াকরণে, যেমন দ্রুত তাপ প্রক্রিয়াকরণ (RTP) এবং জারণ প্রক্রিয়া, সিলিকন কার্বাইড সিরামিক আবরণের উচ্চ তাপ পরিবাহিতা সরঞ্জামের ভিতরে অভিন্ন তাপমাত্রা বিতরণ সক্ষম করে। এটি তাপমাত্রার ওঠানামার কারণে তাপীয় চাপ এবং উপাদানের বিকৃতি হ্রাস করতে সহায়তা করে, যার ফলে পণ্য উৎপাদনের নির্ভুলতা এবং ধারাবাহিকতা উন্নত হয়।

জটিল প্রক্রিয়া পরিবেশ সমর্থন করে:ICP এচিং এবং PSS এচিং প্রক্রিয়ার মতো জটিল বায়ুমণ্ডল নিয়ন্ত্রণের প্রয়োজন হয় এমন প্রক্রিয়াগুলিতে, সিলিকন কার্বাইড সিরামিক আবরণের স্থায়িত্ব এবং জারণ প্রতিরোধ ক্ষমতা নিশ্চিত করে যে দীর্ঘমেয়াদী অপারেশনে সরঞ্জামগুলি স্থিতিশীল কর্মক্ষমতা বজায় রাখে, পরিবেশগত পরিবর্তনের কারণে উপাদানের অবক্ষয় বা সরঞ্জামের ক্ষতির ঝুঁকি হ্রাস করে।