грејач са силицијум карбидним керамичким премазом

Вет-КинаСилицијум карбид керамикаПремаз је висококвалитетни заштитни премаз направљен од изузетно тврдог и отпорног на хабањесилицијум карбид (SiC)материјал, који пружа одличну отпорност на хемијску корозију и стабилност на високим температурама. Ове карактеристике су кључне у производњи полупроводника, тако даКерамички премаз од силицијум-карбидасе широко користи у кључним компонентама опреме за производњу полупроводника.

Посебна улога Vet-China-аСилицијум карбид керамикаПремазивање у производњи полупроводника је следеће:

Повећајте издржљивост опреме:Керамички премаз од силицијум-карбида Керамички премаз од силицијум-карбида пружа одличну заштиту површине опреме за производњу полупроводника захваљујући изузетно високој тврдоћи и отпорности на хабање. Посебно у процесним окружењима са високим температурама и високом корозивношћу, као што су хемијско таложење из паре (CVD) и плазма нагризање, премаз може ефикасно спречити оштећење површине опреме хемијском ерозијом или физичким хабањем, чиме се значајно продужава век трајања опреме и смањује време застоја узроковано честим заменама и поправкама.

Побољшајте чистоћу процеса:У процесу производње полупроводника, ситна контаминација може проузроковати дефекте производа. Хемијска инертност силицијум-карбидног керамичког премаза омогућава му да остане стабилан у екстремним условима, спречавајући материјал да ослобађа честице или нечистоће, чиме се обезбеђује еколошка чистоћа процеса. Ово је посебно важно за производне кораке који захтевају високу прецизност и високу чистоћу, као што су PECVD и јонска имплантација.

Оптимизујте управљање температуром:У обради полупроводника на високим температурама, као што су брза термичка обрада (RTP) и процеси оксидације, висока топлотна проводљивост силицијум-карбидног керамичког премаза омогућава равномерну расподелу температуре унутар опреме. Ово помаже у смањењу термичког напрезања и деформације материјала изазване температурним флуктуацијама, чиме се побољшава тачност и конзистентност производње.

Подршка сложеним процесним окружењима:У процесима који захтевају сложену контролу атмосфере, као што су ICP процеси нагризања и PSS процеси нагризања, стабилност и отпорност на оксидацију силицијум-карбидног керамичког премаза осигуравају да опрема одржава стабилне перформансе у дугорочном раду, смањујући ризик од деградације материјала или оштећења опреме услед промена у окружењу.