סיליקאָן קאַרבייד קעראַמיק קאָוטינג כיטער

וועטערינאַר-כינעסיליקאָן קאַרבייד קעראַמיקקאָוטינג איז אַ הויך-פאָרשטעלונג פּראַטעקטיוו קאָוטינג געמאכט פון גאָר שווער און טראָגן-קעגנשטעליקסיליקאָן קאַרבייד (SiC)מאַטעריאַל, וואָס גיט אַן אויסגעצייכנטע כעמישער קעראָוזשאַן קעגנשטעל און הויך-טעמפּעראַטור פעסטקייט. די קעראַקטעריסטיקס זענען קריטיש אין האַלב-קאָנדוקטאָר פּראָדוקציע, אַזויסיליקאָן קאַרבייד קעראַמיש קאָוטינגאיז וויידלי געניצט אין שליסל קאַמפּאָונאַנץ פון האַלב-קאָנדוקטאָר מאַנופאַקטורינג עקוויפּמענט.

די ספּעציפֿישע ראָלע פֿון וועט-טשינעסיליקאָן קאַרבייד קעראַמיקקאָוטינג אין האַלב-קאָנדוקטאָר פּראָדוקציע איז ווי גייט:

פֿאַרבעסערן די האַרטקייט פֿון עקוויפּמענט:סיליקאָן קאַרבייד קעראַמיש קאָוטינג סיליקאָן קאַרבייד קעראַמיש קאָוטינג גיט ויסגעצייכנט ייבערפלאַך שוץ פֿאַר האַלב-קאָנדוקטאָר מאַנופאַקטורינג ויסריכט מיט זיין גאָר הויך כאַרדנאַס און טראָגן קעגנשטעל. ספּעציעל אין הויך-טעמפּעראַטור און העכסט קעראָוסיוו פּראָצעס ינווייראַנמאַנץ, אַזאַ ווי כעמישער פארע דעפּאַזישאַן (CVD) און פּלאַזמע עטשינג, די קאָוטינג קענען יפעקטיוולי פאַרמייַדן די ייבערפלאַך פון די ויסריכט פון זייַענדיק דאַמידזשד דורך כעמישער עראָוזשאַן אָדער גשמיות טראָגן, דערמיט באַטייטיק יקסטענדינג די דינסט לעבן פון די ויסריכט און רידוסינג דאַונטיים געפֿירט דורך אָפט פאַרבייַט און פאַרריכטן.

פֿאַרבעסערן פּראָצעס ריינקייט:אין דעם האַלב-קאָנדוקטאָר פאַבריקאַציע פּראָצעס, קען קליינע קאָנטאַמינאַציע פאַראורזאַכן פּראָדוקט חסרונות. די כעמישע אינערטקייט פון סיליקאָן קאַרבייד קעראַמיק קאָוטינג ערלויבט עס צו בלייבן סטאַביל אונטער עקסטרעמע באדינגונגען, פאַרהיטנדיק דעם מאַטעריאַל פון מעלדונג פּאַרטיקאַלז אָדער אומריינקייטן, דערמיט ענשורינג די ענווייראָנמענטאַל ריינקייט פון דעם פּראָצעס. דאָס איז ספּעציעל וויכטיק פֿאַר פאַבריקאַציע טריט וואָס דאַרפן הויך פּינטלעכקייט און הויך ריינקייט, אַזאַ ווי PECVD און יאָן ימפּלאַנטיישאַן.

אָפּטימיזירן טערמישע פאַרוואַלטונג:אין הויך-טעמפּעראַטור האַלב-קאָנדוקטאָר פּראַסעסינג, אַזאַ ווי שנעל טערמאַל פּראַסעסינג (RTP) און אָקסידאַציע פּראַסעסאַז, די הויך טערמאַל קאַנדאַקטיוויטי פון סיליקאָן קאַרבייד קעראַמיק קאָוטינג ינייבאַלז מונדיר טעמפּעראַטור פאַרשפּרייטונג ין די ויסריכט. דאָס העלפּס רעדוצירן טערמאַל דרוק און מאַטעריאַל דעפאָרמאַציע געפֿירט דורך טעמפּעראַטור פלוקטואַציעס, דערמיט ימפּרוווינג פּראָדוקט מאַנופאַקטורינג אַקיעראַסי און קאָנסיסטענסי.

שטיצן קאָמפּלעקסע פּראָצעס סביבות:אין פּראָצעסן וואָס דאַרפן קאָמפּלעקס אַטמאָספער קאָנטראָל, אַזאַ ווי ICP עטשינג און PSS עטשינג פּראָצעסן, די פעסטקייט און אַקסאַדיישאַן קעגנשטעל פון סיליקאָן קאַרבייד קעראַמיק קאָוטינג ענשור אַז די ויסריכט מיינט סטאַביל פאָרשטעלונג אין לאַנג-טערמין אָפּעראַציע, רידוסינג די ריזיקירן פון מאַטעריאַל דעגראַדאַציע אָדער ויסריכט שעדיקן רעכט צו ינווייראַנמענאַל ענדערונגען.