የሲሊኮን ካርቦይድ የሴራሚክ ሽፋን ማሞቂያ

የእንስሳት ሐኪም-ቻይናሲሊከን ካርቦይድ ሴራሚክኮቲንግ እጅግ በጣም ጠንካራ እና ለአለባበስ የሚቋቋም ከፍተኛ አፈጻጸም ያለው የመከላከያ ሽፋን ነውሲሊከን ካርቦይድ (ሲሲ)እጅግ በጣም ጥሩ የኬሚካል ዝገት መቋቋም እና ከፍተኛ የሙቀት መጠን መረጋጋትን የሚሰጥ ቁሳቁስ። እነዚህ ባህሪያት በሴሚኮንዳክተር ምርት ውስጥ ወሳኝ ናቸው፣ ስለዚህየሲሊኮን ካርቦይድ ሴራሚክ ሽፋንበሴሚኮንዳክተር ማምረቻ መሳሪያዎች ቁልፍ ክፍሎች ውስጥ በስፋት ጥቅም ላይ ይውላል።

የቬት-ቻይና ልዩ ሚናሲሊከን ካርቦይድ ሴራሚክበሴሚኮንዳክተር ምርት ውስጥ ያለው ሽፋን እንደሚከተለው ነው-

የመሳሪያውን ዘላቂነት ማሻሻል;የሲሊኮን ካርባይድ የሴራሚክ ሽፋን የሲሊኮን ካርባይድ የሴራሚክ ሽፋን እጅግ በጣም ከፍተኛ ጥንካሬ እና የመልበስ መቋቋም ስላለው ለሴሚኮንዳክተር ማምረቻ መሳሪያዎች እጅግ በጣም ጥሩ የገጽታ ጥበቃ ይሰጣል። በተለይም እንደ ኬሚካል ትነት ክምችት (CVD) እና የፕላዝማ ቅርፊት ባሉ ከፍተኛ ሙቀት እና ከፍተኛ ዝገት ባላቸው የሂደት አካባቢዎች፣ ሽፋኑ የመሳሪያውን ወለል በኬሚካል መሸርሸር ወይም በአካላዊ ብልሽት እንዳይጎዳ በብቃት ይከላከላል፣ በዚህም የመሳሪያውን የአገልግሎት ዘመን በከፍተኛ ሁኔታ ያራዝማል እና በተደጋጋሚ መተካት እና ጥገና ምክንያት የሚፈጠረውን የእረፍት ጊዜ ይቀንሳል።

የሂደቱን ንፅህና ማሻሻል;በሴሚኮንዳክተር ማምረቻ ሂደት ውስጥ፣ ጥቃቅን ብክለት የምርት ጉድለቶችን ሊያስከትል ይችላል። የሲሊኮን ካርባይድ ሴራሚክ ሽፋን ኬሚካላዊ አለመጣጣም በከፍተኛ ሁኔታዎች ውስጥ እንዲረጋጋ ያስችለዋል፣ ይህም ቁሱ ቅንጣቶችን ወይም ቆሻሻዎችን እንዳይለቅ ይከላከላል፣ በዚህም የሂደቱን የአካባቢ ንፅህና ያረጋግጣል። ይህ በተለይ እንደ PECVD እና ion implantation ያሉ ከፍተኛ ትክክለኛነት እና ከፍተኛ ንፅህና የሚጠይቁ የማምረቻ ደረጃዎችን ለማካሄድ በጣም አስፈላጊ ነው።

የሙቀት አስተዳደርን ማመቻቸት;እንደ ፈጣን የሙቀት ማቀነባበሪያ (RTP) እና የኦክሳይድ ሂደቶች ባሉ ከፍተኛ የሙቀት-ሴሚኮንዳክተር ማቀነባበሪያዎች ውስጥ፣ የሲሊኮን ካርባይድ ሴራሚክ ሽፋን ከፍተኛ የሙቀት ማስተላለፊያ በመሳሪያዎቹ ውስጥ ወጥ የሆነ የሙቀት ስርጭት እንዲኖር ያስችላል። ይህ የሙቀት ውጥረትን እና በሙቀት መለዋወጥ ምክንያት የሚፈጠረውን የቁስ መበላሸት ለመቀነስ ይረዳል፣ በዚህም የምርት ማምረቻ ትክክለኛነትን እና ወጥነትን ያሻሽላል።

ውስብስብ የሂደት አካባቢዎችን ይደግፉ፦እንደ ICP etching እና PSS etching ሂደቶች ባሉ ውስብስብ የከባቢ አየር ቁጥጥር በሚያስፈልጋቸው ሂደቶች ውስጥ፣ የሲሊኮን ካርባይድ ሴራሚክ ሽፋን መረጋጋት እና ኦክሳይድ መቋቋም መሳሪያዎቹ ለረጅም ጊዜ በሚሰሩበት ጊዜ የተረጋጋ አፈፃፀም እንዲኖራቸው ያረጋግጣል፣ ይህም በአካባቢ ለውጦች ምክንያት የቁሳቁስ መበላሸት ወይም የመሳሪያዎች ጉዳት አደጋን ይቀንሳል።