Thú y Trung QuốcGốm cacbua silicLớp phủ là một lớp phủ bảo vệ hiệu suất cao được làm từ vật liệu cực kỳ cứng và có khả năng chống mài mòn.cacbua silic (SiC)Vật liệu này có khả năng chống ăn mòn hóa học tuyệt vời và độ ổn định ở nhiệt độ cao. Những đặc tính này rất quan trọng trong sản xuất chất bán dẫn, vì vậyLớp phủ gốm cacbua silicĐược sử dụng rộng rãi trong các thành phần quan trọng của thiết bị sản xuất chất bán dẫn.
Vai trò cụ thể của Vet-ChinaGốm cacbua silicQuy trình phủ lớp trong sản xuất chất bán dẫn như sau:
Tăng cường độ bền của thiết bị:Lớp phủ gốm cacbua silic Lớp phủ gốm cacbua silic cung cấp khả năng bảo vệ bề mặt tuyệt vời cho thiết bị sản xuất chất bán dẫn nhờ độ cứng và khả năng chống mài mòn cực cao. Đặc biệt trong môi trường xử lý nhiệt độ cao và ăn mòn mạnh, chẳng hạn như lắng đọng hơi hóa học (CVD) và khắc plasma, lớp phủ có thể ngăn chặn hiệu quả bề mặt thiết bị bị hư hại do ăn mòn hóa học hoặc mài mòn vật lý, do đó kéo dài đáng kể tuổi thọ của thiết bị và giảm thời gian ngừng hoạt động do thay thế và sửa chữa thường xuyên.
Cải thiện độ tinh khiết của quy trình:Trong quy trình sản xuất chất bán dẫn, những tạp chất nhỏ nhất cũng có thể gây ra lỗi sản phẩm. Tính trơ hóa học của lớp phủ gốm cacbua silic cho phép nó duy trì ổn định trong điều kiện khắc nghiệt, ngăn vật liệu giải phóng các hạt hoặc tạp chất, do đó đảm bảo độ tinh khiết môi trường của quy trình. Điều này đặc biệt quan trọng đối với các bước sản xuất đòi hỏi độ chính xác và độ sạch cao, chẳng hạn như PECVD và cấy ion.
Tối ưu hóa quản lý nhiệt:Trong các quy trình chế tạo chất bán dẫn ở nhiệt độ cao, chẳng hạn như xử lý nhiệt nhanh (RTP) và các quy trình oxy hóa, độ dẫn nhiệt cao của lớp phủ gốm cacbua silic cho phép phân bố nhiệt độ đồng đều bên trong thiết bị. Điều này giúp giảm ứng suất nhiệt và biến dạng vật liệu do dao động nhiệt độ, từ đó cải thiện độ chính xác và tính nhất quán trong sản xuất sản phẩm.
Hỗ trợ môi trường quy trình phức tạp:Trong các quy trình đòi hỏi kiểm soát môi trường phức tạp, chẳng hạn như quy trình khắc ICP và khắc PSS, tính ổn định và khả năng chống oxy hóa của lớp phủ gốm Silicon Carbide đảm bảo thiết bị duy trì hiệu suất ổn định trong thời gian vận hành lâu dài, giảm nguy cơ xuống cấp vật liệu hoặc hư hỏng thiết bị do thay đổi môi trường.
| Bệnh tim mạch SiC薄膜基本物理性能 Các tính chất vật lý cơ bản của SiC CVDlớp phủ | |
| 性质 / Tài sản | 典型数值 Giá trị điển hình |
| 晶体结构 Cấu trúc tinh thể | Pha β của FCC多晶, 主要为（111)取向 |
| 密度 / Tỉ trọng | 3,21 g/cm³ |
| 硬度 Độ cứng | 2500 维氏硬度(tải 500g) |
| 晶粒大小 / Kích thước hạt | 2~10μm |
| 纯度 Độ tinh khiết hóa học | 99,99995% |
| 热容 / Dung lượng nhiệt | 640 J·kg-1·K-1 |
| 升华温度 Nhiệt độ thăng hoa | 2700℃ |
| 抗弯强度 Sức mạnh uốn cong | 415 MPa RT 4 điểm |
| 杨氏模量 Mô đun Young | Uốn cong 4 điểm, 430 GPa, 1300℃ |
| 导热系数 / ThermalĐộ dẫn điện | 300W·m-1·K-1 |
| 热膨胀系数 Hệ số giãn nở nhiệt (CTE) | 4,5×10-6K-1 |
Rất hân hạnh được đón tiếp quý khách đến thăm nhà máy của chúng tôi, hãy cùng trao đổi thêm nhé!
