silīcija karbīda keramikas pārklājuma sildītājs

Vet-ChinaSilīcija karbīda keramikaPārklājums ir augstas veiktspējas aizsargpārklājums, kas izgatavots no īpaši cieta un nodilumizturīga materiālasilīcija karbīds (SiC)materiāls, kas nodrošina izcilu ķīmisko korozijas izturību un stabilitāti augstā temperatūrā. Šīs īpašības ir izšķirošas pusvadītāju ražošanā, tāpēcSilīcija karbīda keramikas pārklājumstiek plaši izmantots pusvadītāju ražošanas iekārtu galvenajās sastāvdaļās.

Vet-China īpašā lomaSilīcija karbīda keramikaPārklājums pusvadītāju ražošanā ir šāds:

Palieliniet aprīkojuma izturību:Silīcija karbīda keramikas pārklājums Silīcija karbīda keramikas pārklājums nodrošina izcilu virsmas aizsardzību pusvadītāju ražošanas iekārtām, pateicoties tā ārkārtīgi augstajai cietībai un nodilumizturībai. Īpaši augstas temperatūras un ļoti korozīvās procesa vidēs, piemēram, ķīmiskās tvaiku uzklāšanas (CVD) un plazmas kodināšanas procesā, pārklājums var efektīvi novērst iekārtu virsmas bojājumus ķīmiskas erozijas vai fiziska nodiluma dēļ, tādējādi ievērojami pagarinot iekārtu kalpošanas laiku un samazinot dīkstāves laiku, ko izraisa bieža nomaiņa un remonts.

Uzlabojiet procesa tīrību:Pusvadītāju ražošanas procesā sīks piesārņojums var izraisīt produkta defektus. Silīcija karbīda keramikas pārklājuma ķīmiskā inertitāte ļauj tam saglabāt stabilitāti ekstremālos apstākļos, novēršot daļiņu vai piemaisījumu izdalīšanos no materiāla, tādējādi nodrošinot procesa vides tīrību. Tas ir īpaši svarīgi ražošanas posmos, kuriem nepieciešama augsta precizitāte un augsta tīrība, piemēram, PECVD un jonu implantācija.

Optimizēt termisko pārvaldību:Augstas temperatūras pusvadītāju apstrādē, piemēram, ātrās termiskās apstrādes (RTP) un oksidācijas procesos, silīcija karbīda keramikas pārklājuma augstā siltumvadītspēja nodrošina vienmērīgu temperatūras sadalījumu iekārtas iekšpusē. Tas palīdz samazināt termisko spriegumu un materiāla deformāciju, ko izraisa temperatūras svārstības, tādējādi uzlabojot produktu ražošanas precizitāti un konsekvenci.

Atbalsta sarežģītas procesu vides:Procesos, kuros nepieciešama sarežģīta atmosfēras kontrole, piemēram, ICP kodināšanas un PSS kodināšanas procesos, silīcija karbīda keramikas pārklājuma stabilitāte un oksidēšanās izturība nodrošina, ka iekārta ilgstoši darbojas stabili, samazinot materiāla degradācijas vai iekārtu bojājumu risku vides izmaiņu dēļ.