Dokter Hewan-ChinaKeramik Silikon KarbidaLapisan minangka lapisan protèktif kinerja dhuwur sing digawe saka bahan sing atos banget lan tahan aussilikon karbida (SiC)bahan, sing nyedhiyakake ketahanan korosi kimia sing apik banget lan stabilitas suhu dhuwur. Karakteristik kasebut penting banget ing produksi semikonduktor, mulaLapisan Keramik Silikon Karbidadigunakake sacara wiyar ing komponen kunci peralatan manufaktur semikonduktor.
Peran khusus Vet-ChinaKeramik Silikon KarbidaPelapisan ing produksi semikonduktor kaya ing ngisor iki:
Nambah daya tahan peralatan:Lapisan Keramik Silikon Karbida Lapisan Keramik Silikon Karbida nyedhiyakake perlindungan permukaan sing apik banget kanggo peralatan manufaktur semikonduktor kanthi kekerasan lan tahan aus sing dhuwur banget. Utamane ing lingkungan proses suhu dhuwur lan korosif banget, kayata deposisi uap kimia (CVD) lan etsa plasma, lapisan kasebut bisa kanthi efektif nyegah permukaan peralatan saka kerusakan dening erosi kimia utawa aus fisik, saengga bisa ngluwihi umur layanan peralatan kanthi signifikan lan nyuda downtime sing disebabake dening panggantos lan perbaikan sing kerep.
Nambah kemurnian proses:Ing proses manufaktur semikonduktor, kontaminasi cilik bisa nyebabake cacat produk. Inertitas kimia saka Lapisan Keramik Silicon Carbide ngidini tetep stabil ing kahanan ekstrem, nyegah materi ngeculake partikel utawa rereged, saengga njamin kemurnian lingkungan saka proses kasebut. Iki penting banget kanggo langkah-langkah manufaktur sing mbutuhake presisi dhuwur lan kebersihan dhuwur, kayata PECVD lan implantasi ion.
Ngoptimalake manajemen termal:Ing pangolahan semikonduktor suhu dhuwur, kayata pangolahan termal cepet (RTP) lan proses oksidasi, konduktivitas termal sing dhuwur saka Lapisan Keramik Silikon Karbida ndadekake distribusi suhu sing seragam ing njero peralatan. Iki mbantu nyuda stres termal lan deformasi bahan sing disebabake dening fluktuasi suhu, saengga ningkatake akurasi lan konsistensi manufaktur produk.
Ndhukung lingkungan proses sing kompleks:Ing proses sing mbutuhake kontrol atmosfer sing kompleks, kayata proses etsa ICP lan etsa PSS, stabilitas lan resistensi oksidasi saka Lapisan Keramik Silikon Karbida njamin manawa peralatan kasebut njaga kinerja sing stabil ing operasi jangka panjang, nyuda risiko degradasi material utawa kerusakan peralatan amarga owah-owahan lingkungan.
| CVD (Kerusakan Jantung) SiC薄膜基本物理性能 Sifat fisik dhasar CVD SiClapisan | |
| 性质 / Properti | 典型数值 / Nilai Khas |
| 晶体结构 / Struktur Kristal | Fase β FCC多晶，主要为（111）取向 |
| 密度 Kapadhetan | 3,21 g/cm³ |
| 硬度 / Kekerasan | 2500 维氏硬度（500g beban） |
| 晶粒大小 / Ukuran Gandum | 2 ~ 10μm |
| 纯度 / Kemurnian Kimia | 99.99995% |
| 热容 Kapasitas Panas | 640 J·kg-1·K-1 |
| 升华温度 / Suhu Sublimasi | 2700℃ |
| 抗弯强度 / Kekuwatan Fleksibel | 415 MPa RT 4-titik |
| 杨氏模量 / Modulus Young | 430 Gpa 4pt tikungan, 1300℃ |
| 导热系数 / TermalKonduktivitas | 300W·m-1·K-1 |
| 热膨胀系数 / Ekspansi Termal (CTE) | 4.5×10-6K-1 |
Sugeng rawuh ing pabrik kita, ayo padha rembugan luwih lanjut!
