സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് സെറാമിക് കോട്ടിംഗ് ഹീറ്റർ

വെറ്റ്-ചൈനസിലിക്കൺ കാർബൈഡ് സെറാമിക്വളരെ കടുപ്പമുള്ളതും തേയ്മാനം പ്രതിരോധിക്കുന്നതുമായ വസ്തുക്കൾ കൊണ്ട് നിർമ്മിച്ച ഉയർന്ന പ്രകടനമുള്ള സംരക്ഷണ കോട്ടിംഗാണ് കോട്ടിംഗ്.സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് (SiC)മികച്ച രാസ നാശന പ്രതിരോധവും ഉയർന്ന താപനില സ്ഥിരതയും നൽകുന്ന മെറ്റീരിയൽ. സെമികണ്ടക്ടർ ഉൽപാദനത്തിൽ ഈ സവിശേഷതകൾ നിർണായകമാണ്, അതിനാൽസിലിക്കൺ കാർബൈഡ് സെറാമിക് കോട്ടിംഗ്സെമികണ്ടക്ടർ നിർമ്മാണ ഉപകരണങ്ങളുടെ പ്രധാന ഘടകങ്ങളിൽ വ്യാപകമായി ഉപയോഗിക്കുന്നു.

വെറ്റ്-ചൈനയുടെ പ്രത്യേക പങ്ക്സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് സെറാമിക്അർദ്ധചാലക ഉൽ‌പാദനത്തിൽ പൂശൽ ഇപ്രകാരമാണ്:

ഉപകരണങ്ങളുടെ ഈട് വർദ്ധിപ്പിക്കുക:സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് സെറാമിക് കോട്ടിംഗ് സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് സെറാമിക് കോട്ടിംഗ് അതിന്റെ ഉയർന്ന കാഠിന്യവും വസ്ത്രധാരണ പ്രതിരോധവും ഉള്ളതിനാൽ സെമികണ്ടക്ടർ നിർമ്മാണ ഉപകരണങ്ങൾക്ക് മികച്ച ഉപരിതല സംരക്ഷണം നൽകുന്നു. പ്രത്യേകിച്ച് ഉയർന്ന താപനിലയിലും രാസ നീരാവി നിക്ഷേപം (CVD), പ്ലാസ്മ എച്ചിംഗ് പോലുള്ള ഉയർന്ന നാശകരമായ പ്രക്രിയ പരിതസ്ഥിതികളിലും, രാസ മണ്ണൊലിപ്പ് അല്ലെങ്കിൽ ഭൗതിക തേയ്മാനം മൂലം ഉപകരണങ്ങളുടെ ഉപരിതലത്തിന് കേടുപാടുകൾ സംഭവിക്കുന്നത് കോട്ടിംഗിന് ഫലപ്രദമായി തടയാൻ കഴിയും, അതുവഴി ഉപകരണങ്ങളുടെ സേവന ആയുസ്സ് ഗണ്യമായി വർദ്ധിപ്പിക്കുകയും ഇടയ്ക്കിടെയുള്ള മാറ്റിസ്ഥാപിക്കലും അറ്റകുറ്റപ്പണികളും മൂലമുണ്ടാകുന്ന പ്രവർത്തനരഹിതമായ സമയം കുറയ്ക്കുകയും ചെയ്യുന്നു.

പ്രക്രിയയുടെ പരിശുദ്ധി മെച്ചപ്പെടുത്തുക:സെമികണ്ടക്ടർ നിർമ്മാണ പ്രക്രിയയിൽ, ചെറിയ മലിനീകരണം പോലും ഉൽപ്പന്ന വൈകല്യങ്ങൾക്ക് കാരണമായേക്കാം. സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് സെറാമിക് കോട്ടിംഗിന്റെ രാസ നിഷ്ക്രിയത്വം അത്യധികമായ സാഹചര്യങ്ങളിൽ സ്ഥിരത നിലനിർത്താൻ അനുവദിക്കുന്നു, ഇത് കണികകളോ മാലിന്യങ്ങളോ പുറത്തുവിടുന്നത് തടയുന്നു, അതുവഴി പ്രക്രിയയുടെ പാരിസ്ഥിതിക വിശുദ്ധി ഉറപ്പാക്കുന്നു. PECVD, അയോൺ ഇംപ്ലാന്റേഷൻ പോലുള്ള ഉയർന്ന കൃത്യതയും ഉയർന്ന ശുചിത്വവും ആവശ്യമുള്ള നിർമ്മാണ ഘട്ടങ്ങൾക്ക് ഇത് വളരെ പ്രധാനമാണ്.

താപ മാനേജ്മെന്റ് ഒപ്റ്റിമൈസ് ചെയ്യുക:റാപ്പിഡ് തെർമൽ പ്രോസസ്സിംഗ് (ആർ‌ടി‌പി), ഓക്‌സിഡേഷൻ പ്രക്രിയകൾ പോലുള്ള ഉയർന്ന താപനിലയുള്ള അർദ്ധചാലക പ്രോസസ്സിംഗിൽ, സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് സെറാമിക് കോട്ടിംഗിന്റെ ഉയർന്ന താപ ചാലകത ഉപകരണത്തിനുള്ളിൽ ഏകീകൃത താപനില വിതരണം സാധ്യമാക്കുന്നു. താപനിലയിലെ ഏറ്റക്കുറച്ചിലുകൾ മൂലമുണ്ടാകുന്ന താപ സമ്മർദ്ദവും മെറ്റീരിയൽ രൂപഭേദവും കുറയ്ക്കാൻ ഇത് സഹായിക്കുന്നു, അതുവഴി ഉൽപ്പന്ന നിർമ്മാണ കൃത്യതയും സ്ഥിരതയും മെച്ചപ്പെടുത്തുന്നു.

സങ്കീർണ്ണമായ പ്രക്രിയ പരിതസ്ഥിതികളെ പിന്തുണയ്ക്കുക:ഐസിപി എച്ചിംഗ്, പിഎസ്എസ് എച്ചിംഗ് പ്രക്രിയകൾ പോലുള്ള സങ്കീർണ്ണമായ അന്തരീക്ഷ നിയന്ത്രണം ആവശ്യമുള്ള പ്രക്രിയകളിൽ, സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് സെറാമിക് കോട്ടിംഗിന്റെ സ്ഥിരതയും ഓക്‌സിഡേഷൻ പ്രതിരോധവും ദീർഘകാല പ്രവർത്തനത്തിൽ ഉപകരണങ്ങൾ സ്ഥിരമായ പ്രകടനം നിലനിർത്തുന്നുവെന്ന് ഉറപ്പാക്കുന്നു, ഇത് പാരിസ്ഥിതിക മാറ്റങ്ങൾ മൂലമുള്ള വസ്തുക്കളുടെ നാശത്തിനോ ഉപകരണങ്ങളുടെ കേടുപാടിനോ ഉള്ള സാധ്യത കുറയ്ക്കുന്നു.