சிலிக்கான் கார்பைடு பீங்கான் பூச்சு ஹீட்டர்

சீனா கால்நடை மருத்துவர்சிலிக்கான் கார்பைடு பீங்கான்பூச்சு என்பது மிகவும் கடினமான மற்றும் தேய்மான எதிர்ப்புத் திறன் கொண்ட உயர் செயல்திறன் கொண்ட பாதுகாப்பு பூச்சு ஆகும்.சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC)சிறந்த வேதியியல் அரிப்பு எதிர்ப்பு மற்றும் உயர் வெப்பநிலை நிலைத்தன்மையை வழங்கும் பொருள். குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில் இந்த பண்புகள் மிக முக்கியமானவை, எனவேசிலிக்கான் கார்பைடு பீங்கான் பூச்சுகுறைக்கடத்தி உற்பத்தி உபகரணங்களின் முக்கிய கூறுகளில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது.

வெட்-சீனாவின் குறிப்பிட்ட பங்குசிலிக்கான் கார்பைடு பீங்கான்குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில் பூச்சு பின்வருமாறு:

உபகரணங்களின் நீடித்துழைப்பை மேம்படுத்தவும்:சிலிக்கான் கார்பைடு பீங்கான் பூச்சு சிலிக்கான் கார்பைடு பீங்கான் பூச்சு அதன் மிக அதிக கடினத்தன்மை மற்றும் தேய்மான எதிர்ப்புடன் குறைக்கடத்தி உற்பத்தி உபகரணங்களுக்கு சிறந்த மேற்பரப்பு பாதுகாப்பை வழங்குகிறது. குறிப்பாக அதிக வெப்பநிலை மற்றும் அதிக அரிக்கும் செயல்முறை சூழல்களான வேதியியல் நீராவி படிவு (CVD) மற்றும் பிளாஸ்மா பொறித்தல் போன்றவற்றில், பூச்சு இரசாயன அரிப்பு அல்லது உடல் தேய்மானத்தால் உபகரணங்களின் மேற்பரப்பு சேதமடைவதை திறம்பட தடுக்கலாம், இதன் மூலம் உபகரணங்களின் சேவை ஆயுளை கணிசமாக நீட்டிக்கிறது மற்றும் அடிக்கடி மாற்றுதல் மற்றும் பழுதுபார்ப்பதால் ஏற்படும் செயலிழப்பு நேரத்தைக் குறைக்கிறது.

செயல்முறை தூய்மையை மேம்படுத்தவும்:குறைக்கடத்தி உற்பத்தி செயல்பாட்டில், சிறிய மாசுபாடு கூட தயாரிப்பு குறைபாடுகளை ஏற்படுத்தக்கூடும். சிலிக்கான் கார்பைடு பீங்கான் பூச்சுகளின் வேதியியல் செயலற்ற தன்மை, தீவிர நிலைமைகளின் கீழ் நிலையாக இருக்க அனுமதிக்கிறது, பொருள் துகள்கள் அல்லது அசுத்தங்களை வெளியிடுவதைத் தடுக்கிறது, இதன் மூலம் செயல்முறையின் சுற்றுச்சூழல் தூய்மையை உறுதி செய்கிறது. PECVD மற்றும் அயன் பொருத்துதல் போன்ற உயர் துல்லியம் மற்றும் உயர் தூய்மை தேவைப்படும் உற்பத்தி படிகளுக்கு இது மிகவும் முக்கியமானது.

வெப்ப மேலாண்மையை மேம்படுத்தவும்:விரைவான வெப்ப செயலாக்கம் (RTP) மற்றும் ஆக்சிஜனேற்ற செயல்முறைகள் போன்ற உயர்-வெப்பநிலை குறைக்கடத்தி செயலாக்கத்தில், சிலிக்கான் கார்பைடு பீங்கான் பூச்சுகளின் உயர் வெப்ப கடத்துத்திறன், உபகரணங்களுக்குள் சீரான வெப்பநிலை விநியோகத்தை செயல்படுத்துகிறது. இது வெப்பநிலை ஏற்ற இறக்கங்களால் ஏற்படும் வெப்ப அழுத்தத்தையும் பொருள் சிதைவையும் குறைக்க உதவுகிறது, இதன் மூலம் தயாரிப்பு உற்பத்தி துல்லியம் மற்றும் நிலைத்தன்மையை மேம்படுத்துகிறது.

சிக்கலான செயல்முறை சூழல்களை ஆதரிக்கவும்:ICP பொறித்தல் மற்றும் PSS பொறித்தல் செயல்முறைகள் போன்ற சிக்கலான வளிமண்டலக் கட்டுப்பாடு தேவைப்படும் செயல்முறைகளில், சிலிக்கான் கார்பைடு பீங்கான் பூச்சுகளின் நிலைத்தன்மை மற்றும் ஆக்சிஜனேற்ற எதிர்ப்பு, நீண்ட கால செயல்பாட்டில் உபகரணங்கள் நிலையான செயல்திறனைப் பராமரிப்பதை உறுதி செய்கிறது, சுற்றுச்சூழல் மாற்றங்களால் பொருள் சிதைவு அல்லது உபகரணங்கள் சேதமடையும் அபாயத்தைக் குறைக்கிறது.