grijač s keramičkim premazom od silicij-karbida

Vet-Kinasilicij-karbidna keramikaPremaz je visokoučinkoviti zaštitni premaz izrađen od izuzetno tvrdog i otpornog na habanjesilicijev karbid (SiC)materijal koji pruža izvrsnu kemijsku otpornost na koroziju i stabilnost na visokim temperaturama. Ove karakteristike su ključne u proizvodnji poluvodiča, paKeramički premaz od silicijevog karbidaširoko se koristi u ključnim komponentama opreme za proizvodnju poluvodiča.

Specifična uloga Vet-China-asilicij-karbidna keramikaPremazivanje u proizvodnji poluvodiča je sljedeće:

Poboljšajte trajnost opreme:Keramički premaz od silicijevog karbida Keramički premaz od silicijevog karbida pruža izvrsnu zaštitu površine opreme za proizvodnju poluvodiča svojom izuzetno visokom tvrdoćom i otpornošću na habanje. Posebno u visokotemperaturnim i vrlo korozivnim procesnim okruženjima, kao što su kemijsko taloženje iz pare (CVD) i plazma jetkanje, premaz može učinkovito spriječiti oštećenje površine opreme kemijskom erozijom ili fizičkim habanjem, čime se značajno produžuje vijek trajanja opreme i smanjuje vrijeme zastoja uzrokovano čestim zamjenama i popravcima.

Poboljšajte čistoću procesa:U procesu proizvodnje poluvodiča, mala kontaminacija može uzrokovati nedostatke proizvoda. Kemijska inertnost keramičkog premaza od silicijevog karbida omogućuje mu da ostane stabilan u ekstremnim uvjetima, sprječavajući oslobađanje čestica ili nečistoća iz materijala, čime se osigurava ekološka čistoća procesa. To je posebno važno za proizvodne korake koji zahtijevaju visoku preciznost i visoku čistoću, kao što su PECVD i ionska implantacija.

Optimizirajte upravljanje toplinom:U visokotemperaturnoj obradi poluvodiča, kao što su brza termička obrada (RTP) i procesi oksidacije, visoka toplinska vodljivost keramičkog premaza od silicijevog karbida omogućuje ravnomjernu raspodjelu temperature unutar opreme. To pomaže u smanjenju toplinskog naprezanja i deformacije materijala uzrokovane temperaturnim fluktuacijama, čime se poboljšava točnost i konzistentnost proizvodnje proizvoda.

Podrška složenim procesnim okruženjima:U procesima koji zahtijevaju složenu kontrolu atmosfere, kao što su ICP i PSS procesi jetkanja, stabilnost i otpornost na oksidaciju silicij-karbidnog keramičkog premaza osiguravaju da oprema održava stabilne performanse u dugotrajnom radu, smanjujući rizik od degradacije materijala ili oštećenja opreme zbog promjena u okolišu.