ဆီလီကွန်ကာဗိုက်ကြွေအလွှာအပူပေးစက်

တိရစ္ဆာန်ဆရာဝန်-တရုတ်ဆီလီကွန်ကာဗိုက်ကြွေထည်အလွှာလွှာသည် အလွန်မာကျောပြီး ပွတ်တိုက်မှုဒဏ်ခံနိုင်သော မြင့်မားသောစွမ်းဆောင်ရည်ရှိသော အကာအကွယ်အလွှာတစ်ခုဖြစ်သည်။ဆီလီကွန်ကာဗိုက် (SiC)၎င်းသည် ဓာတုဗေဒဆိုင်ရာ ချေးခြင်းကို ခံနိုင်ရည်နှင့် အပူချိန်မြင့်မားသော တည်ငြိမ်မှုကို ပေးစွမ်းသည့် ပစ္စည်းဖြစ်သည်။ ဤဝိသေသလက္ခဏာများသည် တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်း ထုတ်လုပ်ရာတွင် အလွန်အရေးကြီးပါသည်။ဆီလီကွန်ကာဗိုက်ကြွေထည်အလွှာကို semiconductor ထုတ်လုပ်သည့် စက်ပစ္စည်းများ၏ အဓိက အစိတ်အပိုင်းများတွင် တွင်ကျယ်စွာ အသုံးပြုကြသည်။

Vet-China ရဲ့ သီးခြားအခန်းကဏ္ဍဆီလီကွန်ကာဗိုက်ကြွေထည်တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်း ထုတ်လုပ်ရာတွင် အပေါ်ယံလွှာ ပြုလုပ်ခြင်းသည် အောက်ပါအတိုင်းဖြစ်သည်။

စက်ပစ္စည်းများ၏ ကြံ့ခိုင်မှုကို မြှင့်တင်ပါ-ဆီလီကွန်ကာဗိုက်ကြွေအုပ်ခြင်း ဆီလီကွန်ကာဗိုက်ကြွေအုပ်ခြင်းသည် ၎င်း၏အလွန်မြင့်မားသောမာကျောမှုနှင့် ပွန်းပဲ့မှုခံနိုင်ရည်ရှိမှုကြောင့် တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်းထုတ်လုပ်သည့် စက်ပစ္စည်းများအတွက် မျက်နှာပြင်ကာကွယ်မှုအလွန်ကောင်းမွန်သည်။ အထူးသဖြင့် ဓာတုအငွေ့စုပုံခြင်း (CVD) နှင့် ပလာစမာထွင်းထုခြင်းကဲ့သို့သော အပူချိန်မြင့်မားပြီး အလွန်ချေးများသော လုပ်ငန်းစဉ်ပတ်ဝန်းကျင်များတွင်၊ ဤအဖုံးအလွှာသည် ဓာတုဗေဒတိုက်စားမှု သို့မဟုတ် ရုပ်ပိုင်းဆိုင်ရာပွန်းပဲ့မှုကြောင့် စက်ပစ္စည်း၏မျက်နှာပြင်ကို ပျက်စီးခြင်းမှ ထိရောက်စွာကာကွယ်ပေးနိုင်ပြီး ထို့ကြောင့် စက်ပစ္စည်း၏ဝန်ဆောင်မှုသက်တမ်းကို သိသိသာသာတိုးချဲ့ပေးပြီး မကြာခဏအစားထိုးခြင်းနှင့် ပြုပြင်ခြင်းကြောင့်ဖြစ်ပေါ်လာသော ပျက်ကွက်မှုကို လျှော့ချပေးသည်။

လုပ်ငန်းစဉ် သန့်ရှင်းစင်ကြယ်မှုကို မြှင့်တင်ပါ-တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်းထုတ်လုပ်မှုလုပ်ငန်းစဉ်တွင်၊ ညစ်ညမ်းမှုအနည်းငယ်သည် ထုတ်ကုန်ချို့ယွင်းချက်များကို ဖြစ်စေနိုင်သည်။ ဆီလီကွန်ကာဗိုက်ကြွေအုပ်ခြင်း၏ ဓာတုဗေဒဆိုင်ရာ မငြိမ်မသက်ဖြစ်မှုသည် အလွန်အမင်းအခြေအနေများတွင် တည်ငြိမ်နေစေပြီး ပစ္စည်းမှ အမှုန်အမွှားများ သို့မဟုတ် မသန့်စင်မှုများကို ထုတ်လွှတ်ခြင်းမှ ကာကွယ်ပေးသောကြောင့် လုပ်ငန်းစဉ်၏ ပတ်ဝန်းကျင်သန့်ရှင်းမှုကို သေချာစေသည်။ ၎င်းသည် PECVD နှင့် အိုင်းယွန်းထည့်သွင်းခြင်းကဲ့သို့သော မြင့်မားသောတိကျမှုနှင့် မြင့်မားသောသန့်ရှင်းမှုလိုအပ်သော ထုတ်လုပ်မှုအဆင့်များအတွက် အထူးအရေးကြီးပါသည်။

အပူချိန်စီမံခန့်ခွဲမှုကို အကောင်းဆုံးဖြစ်အောင်လုပ်ပါ-အပူချိန်မြင့်မားသော တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်း စီမံဆောင်ရွက်မှုများတွင်၊ ဥပမာအားဖြင့် မြန်ဆန်သော အပူစီမံဆောင်ရွက်မှု (RTP) နှင့် အောက်ဆီဒေးရှင်း လုပ်ငန်းစဉ်များတွင်၊ ဆီလီကွန်ကာဗိုက် ကြွေထည်အလွှာ၏ အပူစီးကူးမှု မြင့်မားခြင်းသည် စက်ပစ္စည်းအတွင်း အပူချိန်ကို တစ်ပြေးညီ ဖြန့်ဖြူးပေးပါသည်။ ၎င်းသည် အပူချိန်အတက်အကျကြောင့် ဖြစ်ပေါ်လာသော အပူဖိစီးမှုနှင့် ပစ္စည်းပုံပျက်ခြင်းကို လျှော့ချရန် ကူညီပေးပြီး ထုတ်ကုန်ထုတ်လုပ်မှု တိကျမှုနှင့် တသမတ်တည်းဖြစ်မှုကို တိုးတက်စေသည်။

ရှုပ်ထွေးသော လုပ်ငန်းစဉ်ပတ်ဝန်းကျင်များကို ပံ့ပိုးပါ-ICP etching နှင့် PSS etching လုပ်ငန်းစဉ်များကဲ့သို့သော ရှုပ်ထွေးသော လေထုထိန်းချုပ်မှု လိုအပ်သည့် လုပ်ငန်းစဉ်များတွင်၊ Silicon Carbide Ceramic Coating ၏ တည်ငြိမ်မှုနှင့် အောက်ဆီဒေးရှင်းခံနိုင်ရည်ရှိမှုသည် စက်ပစ္စည်းသည် ရေရှည်လည်ပတ်မှုတွင် တည်ငြိမ်သောစွမ်းဆောင်ရည်ကို ထိန်းသိမ်းထားကြောင်း သေချာစေပြီး၊ ပတ်ဝန်းကျင်ပြောင်းလဲမှုများကြောင့် ပစ္စည်းယိုယွင်းပျက်စီးခြင်း သို့မဟုတ် စက်ပစ္စည်းပျက်စီးမှုအန္တရာယ်ကို လျှော့ချပေးသည်။