د سیلیکون کاربایډ سیرامیک کوټینګ هیټر

د ویټ چینسیلیکون کاربایډ سیرامیککوټینګ یو لوړ فعالیت لرونکی محافظتي کوټ دی چې د خورا سخت او اغوستلو مقاومت لرونکي څخه جوړ شوی دیسیلیکون کاربایډ (SiC)مواد، کوم چې د کیمیاوي سنکنرن مقاومت او د لوړې تودوخې ثبات چمتو کوي. دا ځانګړتیاوې د سیمیکمډکټر تولید کې خورا مهم دي، نود سیلیکون کاربایډ سیرامیک پوښپه پراخه کچه د نیمه کنډکټر تولیدي تجهیزاتو په مهمو برخو کې کارول کیږي.

د ویټ-چین ځانګړی رولسیلیکون کاربایډ سیرامیکد نیمه کنډکټر تولید کې کوټینګ په لاندې ډول دی:

د تجهیزاتو دوام لوړ کړئ:د سیلیکون کاربایډ سیرامیک کوټینګ د سیلیکون کاربایډ سیرامیک کوټینګ د سیمیکمډکټر تولید تجهیزاتو لپاره د سطحې غوره محافظت چمتو کوي د هغې خورا لوړ سختۍ او پوښاک مقاومت سره. په ځانګړي توګه د لوړې تودوخې او خورا زنګ وهونکي پروسې چاپیریالونو کې ، لکه د کیمیاوي بخار زیرمه (CVD) او پلازما ایچینګ ، کوټینګ کولی شي په مؤثره توګه د تجهیزاتو سطح د کیمیاوي تخریب یا فزیکي پوښاک له امله زیانمن کیدو مخه ونیسي ، پدې توګه د تجهیزاتو خدمت ژوند د پام وړ اوږدوي او د بار بار بدلولو او ترمیم له امله رامینځته شوي ځنډ کموي.

د پروسې پاکوالی ښه کول:د سیمیکمډکټر جوړولو په پروسه کې، کوچنۍ ککړتیا ممکن د محصول نیمګړتیاوې رامینځته کړي. د سیلیکون کاربایډ سیرامیک کوټینګ کیمیاوي غیر فعالتیا دا ته اجازه ورکوي چې په سختو شرایطو کې مستحکم پاتې شي، مواد د ذراتو یا ناپاکۍ خوشې کولو مخه نیسي، په دې توګه د پروسې چاپیریالي پاکوالي ډاډمن کوي. دا په ځانګړي ډول د تولید مرحلو لپاره مهم دی چې لوړ دقت او لوړ پاکوالي ته اړتیا لري، لکه PECVD او د آیون امپلانټیشن.

د تودوخې مدیریت غوره کړئ:د لوړ حرارت سیمیکمډکټر پروسس کولو کې، لکه د چټک حرارتي پروسس (RTP) او اکسیډیشن پروسو کې، د سیلیکون کاربایډ سیرامیک کوټینګ لوړ حرارتي چالکتیا د تجهیزاتو دننه د تودوخې یوشان ویش فعالوي. دا د تودوخې فشار او د تودوخې د بدلونونو له امله د موادو خرابوالي کمولو کې مرسته کوي، په دې توګه د محصول تولید دقت او ثبات ښه کوي.

د پیچلو پروسې چاپیریالونو ملاتړ:په هغو پروسو کې چې پیچلي اتموسفیر کنټرول ته اړتیا لري، لکه د ICP ایچنګ او PSS ایچنګ پروسې، د سیلیکون کاربایډ سیرامیک کوټینګ ثبات او اکسیډیشن مقاومت ډاډ ورکوي چې تجهیزات په اوږدمهاله عملیاتو کې باثباته فعالیت ساتي، د چاپیریال بدلونونو له امله د موادو تخریب یا تجهیزاتو زیان خطر کموي.