ويٽ-چينسلڪون ڪاربائيڊ سيرامڪڪوٽنگ هڪ اعليٰ ڪارڪردگي واري حفاظتي ڪوٽنگ آهي جيڪا انتهائي سخت ۽ لباس مزاحمتي مان ٺهيل آهيسلڪون ڪاربائيڊ (SiC)مواد، جيڪو بهترين ڪيميائي سنکنرن جي مزاحمت ۽ اعليٰ درجه حرارت جي استحڪام فراهم ڪري ٿو. اهي خاصيتون سيمي ڪنڊڪٽر جي پيداوار ۾ اهم آهن، تنهن ڪريسلڪون ڪاربائيڊ سيرامڪ ڪوٽنگسيمي ڪنڊڪٽر ٺاهڻ واري سامان جي اهم حصن ۾ وڏي پيماني تي استعمال ٿيندو آهي.
ويٽ-چائنا جو مخصوص ڪردارسلڪون ڪاربائيڊ سيرامڪسيمي ڪنڊڪٽر جي پيداوار ۾ ڪوٽنگ هن ريت آهي:
سامان جي استحڪام کي وڌايو:سلڪون ڪاربائيڊ سيرامڪ ڪوٽنگ سلڪون ڪاربائيڊ سيرامڪ ڪوٽنگ سيمي ڪنڊڪٽر ٺاهڻ واري سامان لاءِ بهترين مٿاڇري جو تحفظ فراهم ڪري ٿي ان جي انتهائي سختي ۽ لباس جي مزاحمت سان. خاص طور تي اعليٰ درجه حرارت ۽ انتهائي corrosive عمل جي ماحول ۾، جهڙوڪ ڪيميائي بخارات جمع ڪرڻ (CVD) ۽ پلازما ايچنگ، ڪوٽنگ مؤثر طريقي سان سامان جي مٿاڇري کي ڪيميائي ڪٽڻ يا جسماني لباس جي ڪري نقصان پهچڻ کان روڪي سگهي ٿي، ان ڪري سامان جي سروس لائف کي خاص طور تي وڌايو وڃي ٿو ۽ بار بار متبادل ۽ مرمت جي ڪري ٿيندڙ ڊائون ٽائيم کي گهٽايو وڃي ٿو.
عمل جي پاڪائي کي بهتر بڻايو:سيمي ڪنڊڪٽر جي پيداوار جي عمل ۾، ننڍي آلودگي پيداوار جي خرابين جو سبب بڻجي سگهي ٿي. سلڪون ڪاربائيڊ سيرامڪ ڪوٽنگ جي ڪيميائي جڙت ان کي انتهائي حالتن ۾ مستحڪم رهڻ جي اجازت ڏئي ٿي، مواد کي ذرات يا نجاست ڇڏڻ کان روڪي ٿي، انهي ڪري عمل جي ماحولياتي پاڪائي کي يقيني بڻائي ٿي. اهو خاص طور تي پيداوار جي مرحلن لاءِ اهم آهي جن کي اعليٰ درستگي ۽ اعليٰ صفائي جي ضرورت هوندي آهي، جهڙوڪ PECVD ۽ آئن امپلانٽيشن.
حرارتي انتظام کي بهتر بڻايو:تيز گرمي پد واري سيمي ڪنڊڪٽر پروسيسنگ ۾، جهڙوڪ تيز حرارتي پروسيسنگ (RTP) ۽ آڪسائيڊيشن عمل، سلڪون ڪاربائيڊ سيرامڪ ڪوٽنگ جي اعلي حرارتي چالکائي سامان اندر هڪجهڙائي گرمي پد جي ورڇ کي قابل بڻائي ٿي. هي گرمي پد جي اتار چڙهاؤ جي ڪري پيدا ٿيندڙ حرارتي دٻاءُ ۽ مواد جي خرابي کي گهٽائڻ ۾ مدد ڪري ٿو، ان ڪري پيداوار جي پيداوار جي درستگي ۽ استحڪام کي بهتر بڻائي ٿو.
پيچيده عمل جي ماحول جي حمايت ڪريو:اهڙن عملن ۾ جن کي پيچيده ماحول جي ڪنٽرول جي ضرورت هوندي آهي، جهڙوڪ ICP ايچنگ ۽ PSS ايچنگ عمل، سلڪون ڪاربائيڊ سيرامڪ ڪوٽنگ جي استحڪام ۽ آڪسائيڊيشن مزاحمت يقيني بڻائي ٿي ته سامان ڊگهي مدت جي آپريشن ۾ مستحڪم ڪارڪردگي برقرار رکي، ماحولياتي تبديلين جي ڪري مواد جي تباهي يا سامان جي نقصان جي خطري کي گهٽائي.
| سي وي ڊي SiC薄膜基本物理性能 سي وي ڊي سي آءِ سي جون بنيادي جسماني خاصيتونڪوٽنگ | |
| 性质 / ملڪيت | 典型数值 / عام قدر |
| 晶体结构 / ڪرسٽل جي جوڙجڪ | ايف سي سي β مرحلو多晶، 主要为 (111). |
| 密度 / کثافت | 3.21 گرام/سينٽي ميٽر³ |
| 硬度 / سختي | 2500 维氏硬度 (500g لوڊ) |
| 晶粒大小 / اناج جي سائيز | 2 ~ 10μm |
| ههههههههههههههههههههههههههههههههههههههههههههه / ڪيميائي پاڪائي | 99.99995٪ |
| 热容 / گرمي جي گنجائش | 640 ج·ڪلوگرام-1· ڪي-1 |
| 升华温度 / ٻاڦڪاري جي درجه حرارت | 2700 ℃ |
| 抗弯强度 / لچڪدار طاقت | 415 ايم پي اي آر ٽي 4 پوائنٽ |
| 杨氏模量 / ينگ جو ماڊيولس | 430 جي پي اي 4 پوائنٽ موڙ، 1300 ℃ |
| 导热系数 / ٿرماايلچالکائي | 300 واٽ · ميٽر-1· ڪي-1 |
| 热膨胀系数 / حرارتي توسيع (سي ٽي اي) | 4.5 × 10-6K-1 |
اسان جي ڪارخاني جو دورو ڪرڻ لاءِ توهان کي دل جي گهراين سان ڀليڪار، اچو ته وڌيڪ بحث ڪريون!
