Podpora grafitových destiček PECVD

Obrázek grafitové podpěry PECVD pro wafery

Stručný popis:

Grafitový nosič destiček od společnosti VET Energy, navržený pro přesnost a výkon, je ideálním materiálem pro použití v pokročilém zpracování destiček, kde je klíčová vysoká tepelná stabilita a konzistentní výkon. Ať už pracujete s polovodičovými destičkami nebo jinými choulostivými substráty, tento vysoce kvalitní grafitový nosič zvýší spolehlivost vašich procesů a kvalitu produktů, což z něj činí nepostradatelnou součást moderní výroby.

Pošlete nám e-mail Stáhnout jako PDF

Detaily produktu

Štítky produktů

Grafitový nosič VET Energy PECVD je spotřební materiál určený pro proces PECVD (plazmově vylepšené chemické nanášení z plynné fáze). Tento produkt je vyroben z vysoce čistého grafitového materiálu s vysokou hustotou, s vynikající odolností vůči vysokým teplotám, korozi, rozměrové stabilitě a dalšími vlastnostmi, může poskytnout stabilní nosnou platformu pro proces PECVD a zajistit rovnoměrnost a rovinnost nanášení filmu.

Konstrukce „grafitového nosiče“ grafitového nosiče destičky VET Energy nejenže efektivně podpírá destičku, ale také poskytuje tepelnou stabilitu v prostředí PECVD s vysokou teplotou a vysokým tlakem, čímž zajišťuje stabilitu procesu.

Nosník z grafitových destiček vyrobených procesem VET Energy PECVD má následující vlastnosti:

▪Vysoká čistota:extrémně nízký obsah nečistot, zabraňuje kontaminaci filmu a zajišťuje tak kvalitu filmu.

▪Vysoká hustota:vysoká hustota, vysoká mechanická pevnost, odolává vysokým teplotám a vysokému tlaku v prostředí PECVD.

▪Dobrá rozměrová stabilita:malé rozměrové změny při vysoké teplotě pro zajištění stability procesu.

▪Vynikající tepelná vodivost:efektivně přenášejí teplo, aby se zabránilo přehřátí destičky.

▪Silná odolnost proti korozi:Odolává erozi způsobené různými korozivními plyny a plazmatem.

▪Služby na míru:Grafitové podpůrné stoly různých velikostí a tvarů lze přizpůsobit potřebám zákazníka.

Grafitový materiál od SGL:

Typický parametr: R6510
Index	Zkušební standard	Hodnota	Jednotka
Průměrná velikost zrna	ISO 13320	10	μm
Objemová hustota	DIN IEC 60413/204	1,83	g/cm³
Otevřená pórovitost	DIN66133	10	%
Střední velikost pórů	DIN66133	1,8	μm
Propustnost	DIN 51935	0,06	cm²/s
Tvrdost Rockwella HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Měrný elektrický odpor	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Pevnost v ohybu	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Pevnost v tlaku	DIN 51910	130	MPa
Youngův modul	DIN 51915	11,5×10³	MPa
Tepelná roztažnost (20-200 ℃)	DIN 51909	4,2x10^-6	K^-1
Tepelná vodivost (20℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Je speciálně navržen pro vysoce účinnou výrobu solárních článků a podporuje zpracování velkoformátových destiček G12. Optimalizovaná konstrukce nosičů výrazně zvyšuje propustnost, což umožňuje vyšší výtěžnost a nižší výrobní náklady.

Položka	Typ	Nosič oplatek s číslem
PEVCD Grephite boat - Řada 156	156-13 grefitová loď	144
	156-19 grefitová loď	216
	156-21 grefitová loď	240
	156-23 grafitový člun	308
PEVCD Grephite boat - Řada 125	125-15 grefitová loď	196
	125-19 grefitová loď	252
	125-21 grafitová loď	280