гармкунак молидани сафолї карбиди кремний

Вет-ЧинКерамики карбиди кремнийПӯшиш як қабати муҳофизатии баландсифат мебошад, ки аз хеле сахт ва ба фарсуда тобовар сохта шудаасткарбиди кремний (SiC)материал, ки муқовимати аълои зангзании химиявӣ ва устувории ҳарорати баландро таъмин мекунад. Ин хусусиятҳо дар истеҳсоли нимноқилҳо муҳиманд, бинобар инҚабати сафолии кремний карбидидар ҷузъҳои асосии таҷҳизоти истеҳсоли нимноқилҳо васеъ истифода мешавад.

Роли махсуси вет-ЧинКерамики карбиди кремнийПӯшиш дар истеҳсоли нимноқилҳо чунин аст:

Баланд бардоштани устувории таҷҳизот:Силикони карбиди керамикӣ Капиши керамикии кремнийи карбиди барои таҷҳизоти истеҳсоли нимноқилҳо бо сахтии бениҳоят баланд ва муқовимати фарсудашавӣ муҳофизати аълои сатҳи онро таъмин мекунад. Хусусан дар муҳитҳои равандҳои ҳарораташон баланд ва хеле зангзананда, аз қабили таҳшини буғи кимиёвӣ (CVD) ва пошидани плазма, пӯшиш метавонад аз осеб дидани сатҳи таҷҳизот аз эрозияи кимиёвӣ ё фарсудашавии ҷисмонӣ ба таври муассир пешгирӣ кунад ва ба ин васила мӯҳлати хидмати таҷҳизотро ба таври назаррас дароз кунад ва вақти бекористии зуд-зуд иваз ва таъмирро коҳиш диҳад.

Беҳтар кардани тозагии раванд:Дар раванди истеҳсоли нимноқилҳо ифлосшавии ночиз метавонад боиси нуқсонҳои маҳсулот гардад. Беэътибории кимиёвии Coating Ceramic Silicon Carbide ба он имкон медиҳад, ки дар шароити шадид мӯътадил боқӣ монад ва аз партови зарраҳо ё ифлосиҳо пешгирӣ кунад ва ба ин васила тозагии экологии равандро таъмин кунад. Ин махсусан барои қадамҳои истеҳсолӣ, ки дақиқии баланд ва тозагии баландро талаб мекунанд, ба монанди PECVD ва имплантатсияи ион муҳим аст.

Оптимизатсияи идоракунии гармидиҳӣ:Дар коркарди нимноқилҳои ҳарорати баланд, аз қабили коркарди босуръати гармидиҳӣ (RTP) ва равандҳои оксидшавӣ, гузариши баланди гармии Капиши керамикии кремний имкон медиҳад, ки ҳарорат дар дохили таҷҳизот тақсим карда шавад. Ин ба коҳиш додани фишори гармӣ ва деформатсияи моддӣ, ки аз тағирёбии ҳарорат ба вуҷуд омадааст, кӯмак мекунад ва ба ин васила дақиқӣ ва пайдарпайии истеҳсоли маҳсулотро беҳтар мекунад.

Дастгирии муҳити мураккаби равандҳо:Дар равандҳое, ки назорати мураккаби атмосфераро талаб мекунанд, аз қабили равандҳои etching ICP ва PSS, устуворӣ ва муқовимати оксидшавии Силикон Карбиди Керамикӣ кафолат медиҳанд, ки таҷҳизот дар кори дарозмуддат кори мӯътадилро нигоҳ дошта, хатари таназзули моддӣ ё осеби таҷҳизотро аз сабаби тағирёбии муҳити зист коҳиш медиҳад.