heater tal-kisi taċ-ċeramika tal-karbur tas-silikon

Vet-ĊinaĊeramika tal-Karbur tas-SilikonIl-kisi huwa kisi protettiv ta' prestazzjoni għolja magħmul minn estremament iebes u reżistenti għall-użukarbur tas-silikon (SiC)materjal, li jipprovdi reżistenza eċċellenti għall-korrużjoni kimika u stabbiltà f'temperatura għolja. Dawn il-karatteristiċi huma kruċjali fil-produzzjoni tas-semikondutturi, għalhekkKisi taċ-Ċeramika tas-Silikon Karburjintuża ħafna f'komponenti ewlenin tat-tagħmir tal-manifattura tas-semikondutturi.

Ir-rwol speċifiku ta' Vet-ChinaĊeramika tal-Karbur tas-SilikonIl-kisi fil-produzzjoni tas-semikondutturi huwa kif ġej:

Ittejjeb id-durabbiltà tat-tagħmir:Kisi taċ-Ċeramika tal-Karbur tas-Silikon Il-Kisi taċ-Ċeramika tal-Karbur tas-Silikon jipprovdi protezzjoni eċċellenti tal-wiċċ għat-tagħmir tal-manifattura tas-semikondutturi bl-ebusija estremament għolja u r-reżistenza għall-użu tiegħu. Speċjalment f'ambjenti ta' proċess b'temperatura għolja u korrużivi ħafna, bħad-depożizzjoni kimika tal-fwar (CVD) u l-inċiżjoni bil-plażma, il-kisi jista' jipprevjeni b'mod effettiv li l-wiċċ tat-tagħmir jiġi mħassar minn erożjoni kimika jew użu fiżiku, u b'hekk jestendi b'mod sinifikanti l-ħajja tas-servizz tat-tagħmir u jnaqqas il-ħin ta' waqfien ikkawżat minn sostituzzjoni u tiswija frekwenti.

Ittejjeb il-purità tal-proċess:Fil-proċess tal-manifattura tas-semikondutturi, kontaminazzjoni żgħira tista' tikkawża difetti fil-prodott. L-inerzja kimika tal-Kisi taċ-Ċeramika tas-Silicon Carbide tippermettilu jibqa' stabbli taħt kundizzjonijiet estremi, u jipprevjeni li l-materjal jirrilaxxa partiċelli jew impuritajiet, u b'hekk jiżgura l-purità ambjentali tal-proċess. Dan huwa partikolarment importanti għal passi tal-manifattura li jeħtieġu preċiżjoni għolja u ndafa għolja, bħal PECVD u impjantazzjoni tal-joni.

Ottimizza l-ġestjoni termali:Fl-ipproċessar ta' semikondutturi f'temperatura għolja, bħall-ipproċessar termali rapidu (RTP) u l-proċessi ta' ossidazzjoni, il-konduttività termali għolja tal-Kisi taċ-Ċeramika tal-Karbur tas-Silikon tippermetti distribuzzjoni uniformi tat-temperatura ġewwa t-tagħmir. Dan jgħin biex jitnaqqas l-istress termali u d-deformazzjoni tal-materjal ikkawżata mill-varjazzjonijiet fit-temperatura, u b'hekk tittejjeb l-eżattezza u l-konsistenza tal-manifattura tal-prodott.

Appoġġ għal ambjenti ta' proċessi kumplessi:Fi proċessi li jeħtieġu kontroll kumpless tal-atmosfera, bħal proċessi ta' inċiżjoni ICP u inċiżjoni PSS, l-istabbiltà u r-reżistenza għall-ossidazzjoni tal-Kisi taċ-Ċeramika tal-Karbur tas-Silikon jiżguraw li t-tagħmir iżomm prestazzjoni stabbli f'operazzjoni fit-tul, u b'hekk inaqqas ir-riskju ta' degradazzjoni tal-materjal jew ħsara lit-tagħmir minħabba bidliet ambjentali.