सिलिकन कार्बाइड सिरेमिक कोटिंग हीटर

भेट-चीनसिलिकन कार्बाइड सिरेमिककोटिंग भनेको अत्यन्तै कडा र लगाउन प्रतिरोधीबाट बनेको उच्च-प्रदर्शन सुरक्षात्मक कोटिंग होसिलिकन कार्बाइड (SiC)सामग्री, जसले उत्कृष्ट रासायनिक जंग प्रतिरोध र उच्च-तापमान स्थिरता प्रदान गर्दछ। यी विशेषताहरू अर्धचालक उत्पादनमा महत्त्वपूर्ण छन्, त्यसैलेसिलिकन कार्बाइड सिरेमिक कोटिंगअर्धचालक उत्पादन उपकरणको प्रमुख घटकहरूमा व्यापक रूपमा प्रयोग गरिन्छ।

भेट-चीनको विशिष्ट भूमिकासिलिकन कार्बाइड सिरेमिकअर्धचालक उत्पादनमा कोटिंग निम्नानुसार छ:

उपकरणको टिकाउपन बढाउने:सिलिकन कार्बाइड सिरेमिक कोटिंग सिलिकन कार्बाइड सिरेमिक कोटिंगले अर्धचालक उत्पादन उपकरणहरूको लागि उत्कृष्ट सतह सुरक्षा प्रदान गर्दछ यसको अत्यन्त उच्च कठोरता र पहिरन प्रतिरोधको साथ। विशेष गरी उच्च-तापमान र अत्यधिक संक्षारक प्रक्रिया वातावरणमा, जस्तै रासायनिक वाष्प निक्षेपण (CVD) र प्लाज्मा इचिंगमा, कोटिंगले प्रभावकारी रूपमा उपकरणको सतहलाई रासायनिक क्षरण वा भौतिक पहिरनबाट क्षतिग्रस्त हुनबाट रोक्न सक्छ, जसले गर्दा उपकरणको सेवा जीवन उल्लेखनीय रूपमा विस्तार हुन्छ र बारम्बार प्रतिस्थापन र मर्मतको कारणले हुने डाउनटाइम कम हुन्छ।

प्रक्रिया शुद्धता सुधार गर्नुहोस्:अर्धचालक उत्पादन प्रक्रियामा, सानो प्रदूषणले उत्पादनमा दोषहरू निम्त्याउन सक्छ। सिलिकन कार्बाइड सिरेमिक कोटिंगको रासायनिक जडताले यसलाई चरम परिस्थितिहरूमा स्थिर रहन अनुमति दिन्छ, सामग्रीलाई कण वा अशुद्धताहरू छोड्नबाट रोक्छ, जसले गर्दा प्रक्रियाको वातावरणीय शुद्धता सुनिश्चित हुन्छ। यो विशेष गरी PECVD र आयन इम्प्लान्टेसन जस्ता उच्च परिशुद्धता र उच्च सफाई आवश्यक पर्ने उत्पादन चरणहरूको लागि महत्त्वपूर्ण छ।

थर्मल व्यवस्थापनलाई अनुकूलन गर्नुहोस्:द्रुत थर्मल प्रशोधन (RTP) र अक्सिडेशन प्रक्रियाहरू जस्ता उच्च-तापमान अर्धचालक प्रशोधनमा, सिलिकन कार्बाइड सिरेमिक कोटिंगको उच्च थर्मल चालकताले उपकरण भित्र एकरूप तापक्रम वितरण सक्षम बनाउँछ। यसले तापक्रमको उतारचढावका कारण हुने थर्मल तनाव र सामग्री विकृति कम गर्न मद्दत गर्दछ, जसले गर्दा उत्पादन निर्माण शुद्धता र स्थिरतामा सुधार हुन्छ।

जटिल प्रक्रिया वातावरणलाई समर्थन गर्नुहोस्:जटिल वायुमण्डल नियन्त्रण आवश्यक पर्ने प्रक्रियाहरूमा, जस्तै ICP एचिंग र PSS एचिंग प्रक्रियाहरू, सिलिकन कार्बाइड सिरेमिक कोटिंगको स्थिरता र अक्सिडेशन प्रतिरोधले उपकरणले दीर्घकालीन सञ्चालनमा स्थिर प्रदर्शन कायम राख्छ भन्ने कुरा सुनिश्चित गर्दछ, जसले गर्दा वातावरणीय परिवर्तनहरूको कारणले सामग्रीको क्षय वा उपकरणको क्षतिको जोखिम कम हुन्छ।